Cov txheej txheem txav mus los uas muaj qhov tseeb heev yog qhov tseem ceeb rau kev tsim khoom siv thev naus laus zis niaj hnub no, tshwj xeeb tshaj yog hauv semiconductor lithography, wafer inspection, optical alignment, thiab nanometer-scale metrology. Lub hauv paus ntawm cov txheej txheem no yog qhov kev sib tw tseem ceeb hauv kev tsim kho: ua kom du, tsis muaj kev sib txhuam, thiab rov ua dua tau yam tsis muaj qhov yuam kev los ntawm kev sib cuag.

Kev siv tshuab cua bearing, thaum koom ua ke nrog kev ruaj khov siabcov qauv granite, muab ib qho ntawm cov kev daws teeb meem zoo tshaj plaws rau qhov teeb meem no. Lub tshuab cua granite hloov cov khoom siv dov lossis swb nrog ib zaj duab xis nyias ntawm cov cua siab, ua rau muaj kev sib txhuam ze li xoom thiab qhov tseeb geometric zoo heev.

Hauv cov chaw tsim khoom siab heev, cov tuam txhab xws li ZHHIMG sib xyaw cov hauv paus granite siab nrog cov khoom siv cua uas muaj peev xwm ua tau raws li qhov yuav tsum tau ua kom tiav cov txheej txheem txav mus los uas muaj peev xwm tswj tau qhov chaw hauv sub-micron thiab txawm tias nanometer.

1. Lub Ntsiab Cai Tseem Ceeb ntawm Kev Siv Tshuab Huab Cua

Cov kabmob cua ua haujlwm raws li lub hauv paus ntsiab lus ntawm kev sib cais ntawm cov kua dej. Tsis txhob cia ob qhov chaw khov kho sib cuag, ib txheej tswj hwm ntawm cov cua siab tau nkag mus rau nruab nrab ntawm lawv.

1.1 Kev Tsim Cov Yeeb Yaj Kiab Huab Cua

Ib qho kev siv cua tshuab ib txwm muaj xws li:

• Lub hauv paus granite ruaj khov
• Ib lub tsheb thauj khoom lossis theem
• Cov cua tshuab uas muaj qhov tseeb lossis cov khoom siv uas muaj qhov porous
• Kev tswj hwm cua txias

Cov cua uas raug nias yog nkag los ntawm cov qhov me me lossis cov khoom siv ceramic uas muaj qhov porous, tsim ib daim zaj duab xis nyias uas feem ntau yog li ntawm 2 txog 20 micrometers hauv tuab.

Cov yeeb yaj kiab cua no txhawb nqa lub nra thiab tshem tawm kev sib cuag ncaj qha.

1.2 Kev Siv Tshuab Tsis Sib Txuas Lus

Tsis zoo li cov bearings pob lossis cov linear guides, cov bearings cua ua haujlwm hauv ib qho kev tswj hwm qhov twg:

• Kev sib txhuam coefficient ze li xoom
• Kev hnav yog raug tshem tawm theoretically
• Kev txav mus los ntawm kev nplaum tsis muaj

Qhov no ua rau cov kabmob cua zoo tagnrho rau cov txheej txheem tso cai siab heev uas qhov kev kho tshuab hysteresis tsis tuaj yeem lees txais.

1.3 Kev coj cwj pwm ntawm cov dej ntws laminar

Kev ua tau zoo ntawm cov kabmob cua nyob ntawm qhov ruaj khov ntawm laminar flow. Turbulence qhia txog:

• Kev hloov pauv ntawm lub siab
• Kev tsis ruaj khov ntawm txoj haujlwm
• Suab nrov ntxiv hauv cov txheej txheem ntsuas

Yog li ntawd, kev tsim cov cua ntsawj ntshab uas raug cai yuav tsum tau muaj kev ua kom zoo dua ntawm cov kua dej hauv kev suav lej (CFD) kom ntseeg tau tias muaj kev faib tawm ruaj khov thoob plaws qhov chaw ntawm cov kabmob.

2. Lub Luag Haujlwm ntawm Granite hauv Cov Tshuab Huab Cua

Granite tsis yog tsuas yog cov khoom siv txhawb nqa xwb; nws yog ib qho khoom siv ua haujlwm ntawm lub kaw lus txav mus los.

2.1 Kev Ruaj Ntseg ntawm Cov Qauv

Cov granite dub uas muaj cov khoom siv high-density muab cov hauv qab no:

• Kev ruaj khov ntawm elasticity siab
• Kev ncaj ncees mus sij hawm ntev
• Kev tiv thaiv kev hloov pauv hauv qab kev thauj khoom

Cov khoom no tseem ceeb heev vim tias cov kabmob cua vam khom kev tswj qhov siab sib txawv thoob plaws tag nrho qhov chaw mus ncig.

2.2 Kev Ruaj Ntseg Kub thiab Kev Tswj Xyuas Kev Ntxeev Siab

Thermal drift yog ib qho ntawm cov yuam kev tseem ceeb hauv cov txheej txheem kev txav mus los.

Granite muaj cov hauv qab no:

• Cov coefficient ntawm kev nthuav dav thermal qis (~4–7 × 10⁻⁶ /°C)
• Kev kub siab inertia
• Kev nthuav dav qeeb ntawm thermal gradient

Qhov no txo ​​qis:

• Theem qaij vim cua sov tsis sib npaug
• Z-axis drift hauv kev ntsuas ntev
• Kev ua yuam kev sib phim hauv cov kab ke kho qhov muag

2.3 Kev Tiv Thaiv Kev Co

Granite lub damping ntuj txo cov kev sib kis ntawm kev co siab los ntawm cov chaw sab nraud xws li:

• Kev co hauv pem teb
• Cov khoom siv machining nyob ze
• Cov txheej txheem tswj huab cua

Qhov no yog qhov tseem ceeb rau kev tswj hwm qhov chaw ruaj khov hauv cov ntawv thov nanometer-scale.

3. Kev Tsim Kho Vaj Tse ntawm Granite Air Bearing Platforms

Ib qho kev siv tshuab cua granite feem ntau muaj cov khoom siv kho tshuab, pneumatic, thiab kev tswj hwm cov subsystems.

3.1 Cov Qauv Kho Tshuab

Cov Cheebtsam Tseem Ceeb:

• Granite platform puag
• Kev txav mus los ntawm av precision
• Cov ntaub qhwv cua (hom porous ceramic lossis hom orifice)
• Kev sib dhos theem txav mus los

Qhov tiaj tiaj ntawm lub hauv paus granite feem ntau yog tswj hwm rau micron lossis sub-micron theem nyob ntawm chav kawm ntawv thov.

3.2 Lub Tshuab Tswj Xyuas Pneumatic

Lub tshuab cua muaj xws li:

• Lub tshuab cua siab
• Cov kev tswj hwm qhov tseeb
• Cov kev txwv tsis pub ntws
• Cov chav lim dej (tshem tawm cov roj, cov dej noo, cov khoom me me)

Txawm tias muaj kev ua qias me me los kuj tseem tuaj yeem cuam tshuam rau kev ruaj khov ntawm cov kabmob.

3.3 Cov Txheej Txheem Tawm Tswv Yim thiab Kev Tswj Xyuas

Cov txheej txheem siab kawg sib xyaw ua ke:

• Cov cuab yeej ntsuas laser
• Cov encoders linear
• Cov ntsuas hloov chaw capacitive

Cov kab ke no tso cai rau kev tswj hwm kev txav mus los kaw-voj nrog qhov kev daws teeb meem nanometer.

4. Kev Ntsuas thiab Kev Ua Tau Zoo

Cov txheej txheem cua bearing raug soj ntsuam raws li ntau qhov tseem ceeb metrology.

4.1 Kev Ncaj Ncees thiab Kev Sib Tov

Cov kev ua yuam kev ncaj feem ntau tshwm sim los ntawm:

• Kev hloov pauv ntawm lub hauv paus granite
• Kev hloov pauv ntawm cov tuab ntawm zaj duab xis cua
• Kev faib khoom tsis sib xws

Cov tshuab high-end tuaj yeem ua tiav:

• Kev ncaj nraim ntawm sub-micron hla kev mus ncig ntawm lub 'meter'
• Nanometer-level repeatability hauv cov chaw tswj hwm

4.2 Qhov Chaw Tseeb

Qhov tseeb ntawm qhov chaw nyob ntawm:

• Kev daws teeb meem ntawm tus encoder
• Kev ruaj khov ntawm lub voj voog tswj
• Kev nruj ntawm zaj duab xis cua

Tsis zoo li cov tshuab kho tshuab, cov kabmob cua tshem tawm cov backlash tag nrho.

4.3 Kev Nyuaj Siab Dynamic

Dynamic stiffness txhais tau tias lub kaw lus teb rau cov zog sab nraud li cas.

Cov kabmob cua ua yeeb yam:

• Kev nruj siab ntawm cov zaus qis
• Txo qhov tawv ntawm cov zaus siab vim yog cua compressibility

Qhov kev pauv pauv no yog tswj hwm los ntawm kev tsim qauv system thiab kev ua kom zoo dua ua ntej.

5. Kev Siv Hauv Kev Lag Luam

Granite cua bearing systems yog dav siv nyob rau hauv advanced manufacturing sectors.

5.1 Kev Lag Luam Semiconductor

Cov ntawv thov muaj xws li:

• Cov theem tshuaj xyuas wafer
• Cov txheej txheem sib dhos lithography
• Kev tso duab npog ntsej muag

Cov kab ke no xav tau qhov rov ua dua ntawm nanometer.

5.2 Kev Pom Kev Zoo Tshaj Plaws

Siv rau hauv:

• Cov txheej txheem sib dhos lens
• Kev teeb tsa laser
• Kev ntsuas Interferometric

5.3 Kev Ntsuas Sib Koom Tes

Cov platform granite uas muaj cua ntsawj siv tau rau hauv:

• Cov txheej txheem CMM siab heev
• Cov tshuab ntsuas kev sib koom tes kho qhov muag
• Cov txheej txheem tshuaj xyuas ntau lub sensor

5.4 Kev Tsim Khoom Siv Siab Tshaj Plaws

Xws li:

• Cov txheej txheem micro-machining
• Femtosecond laser ua cov platforms
• Cov txheej txheem calibration ntawm kev tsim khoom ntxiv

6. Cov Teeb Meem Kev Sib Koom Ua Ke ntawm Cov Khoom Siv

Kev tsim cov txheej txheem cua granite muaj ntau yam kev lag luam engineering.

6.1 Cov Kev Xav Tau ntawm Qhov Chaw Tiaj

Cov kabmob cua xav tau qhov sib txawv ntawm huab cua sib npaug heev. Txhua qhov kev hloov pauv hauv granite flatness cuam tshuam ncaj qha rau:

• Kev faib khoom thauj khoom
• Kev txav mus los du
• Qhov tseeb ntawm qhov chaw

6.2 Kev rhiab heev ntawm cua

Kev ua haujlwm ntawm lub system yog qhov rhiab heev rau:

• Kev ruaj khov ntawm lub siab
• Kev sib npaug ntawm kev ntws
• Cov theem ntawm cov pa phem

Txawm tias cov khoom me me uas muaj qhov loj me me (micron-scale pieces) kuj tuaj yeem cuam tshuam rau cov cua tshuab.

6.3 Kev Sib Txuas Thermal-Mechanical

Kev nthuav dav ntawm cov granite thiab cov khoom siv hauv tsev yuav tsum tau ua tib zoo sib phim kom tiv thaiv:

• Kev qaij theem
• Z-axis drift
• Kev cuam tshuam geometric

7. Cov Txheej Txheem Tsim Khoom thiab Kev Ntsuas

Cov tshuab cua granite uas muaj kev ntsuas siab yuav tsum tau muaj kev tswj hwm qhov chaw tsim khoom.

Cov theem txheej txheem ib txwm muaj xws li:

1. Kev ua granite ntxhib
2. Kev ruaj khov ntawm cov voj voog thermal
3. Precision sib tsoo thiab lapping
4. Kev sib xyaw ua ke ntawm cov kabmob cua
5. Kev txheeb xyuas qhov ntsuas
6. Kev sib dhos laser calibration

Cov chaw tsim khoom siab heev xws li ZHHIMG ua haujlwm tswj hwm qhov chaw nrog qhov kub thiab txias ruaj khov feem ntau nyob hauv ± 1 ° C kom ntseeg tau tias qhov tseeb ntawm geometric rov ua dua.

8. Cov Kev Zoo Dua Li Cov Tshuab Bearing

Cov kabmob cua tshem tawm ntau qhov kev txwv tseem ceeb ntawm cov txheej txheem kho tshuab.

Xaus lus

Cov tshuab cua granite yog ib qho ntawm cov kev daws teeb meem zoo tshaj plaws rau kev tswj hwm kev txav mus los hauv kev tsim khoom niaj hnub no. Los ntawm kev sib txuas cov qauv ruaj khov ntawm cov granite siab ntom nrog cov yam ntxwv tsis sib txhuam ntawm kev sib cais zaj duab xis cua, cov kab ke no ua tiav cov qib siab ntawm qhov tseeb, rov ua dua, thiab ruaj khov mus sij hawm ntev.

Raws li kev lag luam semiconductor thiab precision engineering txuas ntxiv mus thawb mus rau nanometer thiab txawm tias sub-nanometer tolerances, granite cua bearing platforms yuav tseem yog ib qho tseem ceeb enabling technology rau tiam tom ntej metrology thiab manufacturing systems.