Hauv lub ntiaj teb ntawm kev tswj kev txav mus los uas muaj kev ntsuas siab heev, muaj ib qho khoom ua qee yam uas zoo li yuav luag tsis muaj tseeb: ib theem ntsuas uas ntab saum ib daim ntaub cua uas tuab ob peb microns xwb, txav mus los yam tsis muaj kev sib txhuam. Qhov no tsis yog kev tshawb fawb txog science fiction. Nws yog lub granite air bearing—thiab nws yog cov thev naus laus zis uas ua rau semiconductor lithography, wafer inspection, EV battery inspection, thiab yuav luag txhua yam kev siv uas xav tau nanometer-level positioning.
Lub Huab Cua Bearing Yog Dab Tsi?
Ib qho cua ua haujlwm los ntawm kev yuam cov cua uas muaj siab hla qhov chaw uas muaj qhov porous lossis orifice-fed, tsim ib lub cushion nyias nyias, txuas ntxiv ntawm ob qhov chaw uas yuav sib cuag. Lub nra hnyav - ib theem, ib lub spindle, ib lub rooj txav mus los - ntab saum daim zaj duab xis cua no, feem ntau yog qhov twg ntawm 5 thiab 20 microns tuab, nyob ntawm qhov tsim thiab qhov yuav tsum tau ua.
Vim tias tsis muaj kev sib cuag ntawm cov nto uas txav mus los thiab cov nto uas nyob ruaj khov, tsis muaj kev sib txhuam, tsis muaj kev nplaum, thiab tsis muaj kev hnav. Qhov no yog qhov xwm txheej txawv ntawm ib qhocov kabmob kho tshuab ib txwm muaj, uas—txawm tias siv tshuab zoo npaum li cas los xij—yeej ib txwm muaj qee qib kev sib txhuam, qhov chaw me me tsis sib xws, thiab maj mam hnav dhau nws lub neej ua haujlwm.
Vim li cas Granite Yog Tib Txoj Kev Xaiv Rau Cov Bearings Cua
Cov kabmob cua tuaj yeem ua tau raws li ntau yam khoom siv tiaj tus, tawv, tab sis granite tau dhau los ua tus qauv xaiv rau qhov chaw ruaj khov hauv cov ntawv thov siab.
Kev Ruaj Ntseg Ntawm Lub Sijhawm. Vim tias granite muaj kev ntxhov siab sab hauv qis heev piv rau cov hlau uas tau ua - hlau khaws cov kev ntxhov siab seem los ntawm cov txheej txheem casting thiab machining, uas tuaj yeem ua rau muaj kev hloov pauv me me, me me hauv ntau lub hlis lossis ntau xyoo - qhov chaw ntawm granite bearing feem ntau tuav nws qhov kev qhia txog kev tiaj tus ntev dua li cov hlau sib npaug. Rau cov cua bearing, qhov twg tag nrho cov kev ua tau zoo nyob ntawm kev tswj hwm qhov sib txawv, tswj tau, qhov kev ruaj khov no yog qhov tseem ceeb.
Kev Ruaj Ntseg Kub. Qhov sib txawv ntawm huab cua yog me me xwb—feem ntau yog 5–20 microns. Kev nthuav dav ntawm txoj kev qhia ua kom sov hloov qhov sib txawv no, hloov qhov kev ua tau zoo ntawm cov kabmob thiab ua rau muaj qhov yuam kev hauv qhov chaw. Granite's CTE yog kwv yees li ib nrab ntawm cov hlau thiab ib feem peb ntawm cov txhuas. Qhov no ua kom ntseeg tau tias qhov tseeb ntawm qhov chaw nanometer muaj tseeb dhau 24-teev kev ua haujlwm.
Kev Rho Tawm Kev Nqus Pa thiab Kev Co. Granite muaj peev xwm nqus pa ntuj tsim tau 10 npaug ntau dua li hlau. Thaum ua ke nrog kev nqus pa viscous ntawm cov zaj duab xis huab cua, lub kaw lus tsim cov nyhuv "double-damping" uas cais cov khoom thauj rhiab heev ntawm kev co hauv pem teb thiab suab nrov ntawm lub cev muaj zog. Qhov no yog qhov tseem ceeb rau cov ntawv thov xws li cov kab hluav taws xob thiab cov interferometers, qhov twg kev co ua rau puas tsuaj rau daim duab.
Tsis Muaj Hlau Nkaus, Hluav Taws Xob Tsis Txawj Siv. Hauv cov chaw tsim khoom siv semiconductor thiab electronics, kev zam cov teb hlau nplaum thiab kev ua hluav taws xob ze ntawm cov txheej txheem rhiab heev feem ntau yog qhov yuav tsum tau ua. Granite ua tiav qhov no yam tsis muaj kev kho ntxiv.
Qhov "Double-Damping" Effect
Nov yog qhov ua rau kev sib xyaw ua ke ntawm granite-air bearing muaj txiaj ntsig zoo. Granite nws tus kheej muab kev cuam tshuam zoo heev - txo cov lus sib tham ntawm lub tshuab txog li 10 npaug piv rau cov hlau cam khwb cia. Cov zaj duab xis cua muab kev cuam tshuam ntxiv, ua kom cov kev co siab du. Ua ke, lawv tsim cov yam uas cov engineers hu ua "double-damping" effect.
Qhov no txhais tau hais tias lub theem granite cua bearing tsis yog tsuas yog qhov tseeb xwb; nws nyob ntsiag to. Lub theem txav mus zoo, tsis muaj qhov microscopic jitter uas ua rau cov bearings puas tsuaj. Nws nyob twj ywm sai sai, tsis muaj lub suab nrov uas tuaj yeem ncua kev ntsuas. Thiab nws tswj nws qhov tseeb dhau ntau xyoo ntawm kev ua haujlwm, tsis muaj qhov hnav maj mam uas ua rau kev ua haujlwm ntawm cov bearings puas tsuaj.
Qhov twg Granite Air Bearings tau siv tiag tiag
Daim ntawv teev cov ntawv thov nyeem zoo li kev ncig xyuas cov ces kaum siab tshaj plaws ntawm kev tsim khoom niaj hnub thiab kev tshuaj xyuas:
Kev Tshawb Fawb Semiconductor Lithography thiab Wafer. Qhov rov ua dua qhov sub-nanometer positioning yog qhov yuav tsum tau ua kom cov yam ntxwv sib phim kom raug thoob plaws wafer. Granite cua bearings muab kev sib txhuam, tsis sib cuag uas ua rau muaj kev ua haujlwm raug rau kev tsim khoom chip tiam tom ntej.
Cov Tshuab Ntsuas Sib Koom Tes (CMMs). Kev sib xyaw ua ke ntawm cov lus qhia granite precision thiab cov kabmob cua yog tus qauv kub rau CMMs, qhov twg theem kev co ua rau puas tsuaj rau kev ntsuas kev daws teeb meem. Qhov tsis muaj kev sib txhuam thiab kev nplaum-slip ntawm cov kabmob cua ua rau muaj qhov chaw hauv nanometer increments.
Cov Txheej Txheem Ntsuas Raws Li Optical thiab Laser. Txhua lub txheej txheem ntsuas uas vam khom interferometry lossis optical imaging xav tau theem txav uas tsis ua rau muaj kev co lossis qhov yuam kev ntawm qhov chaw. Cov kabmob cua granite muab kev ruaj khov uas xav tau rau cov ntawv thov no.
Kev Tshuaj Xyuas Roj Teeb EV. Thaum cov roj teeb tsheb fais fab ntau zuj zus, qhov kev thov rau cov txheej txheem tshuaj xyuas ceev ceev thiab raug tau loj hlob sai heev. Cov theem cua granite muab qhov ceev thiab qhov tseeb uas xav tau rau kev tshuaj xyuas qhov loj ntawm lub roj teeb, kev sib dhos electrode, thiab lwm yam tseem ceeb.
Kev Tshawb Fawb PCB thiab Kev Taw Qhia. Kev tshawb fawb PCB ceev ceev xav tau qhov chaw sai thiab meej nrog lub sijhawm tsawg kawg nkaus. Cov kabmob cua ua rau muaj kev txav mus los sai thiab ruaj khov uas xav tau rau kev tsim khoom siab.
Dab Tsi Ua Rau ZHHIMG® Txawv
Tsis yog txhua yam khoom siv uas muaj cua ntsawj ntawm granite yog tsim los sib npaug. Qhov zoo ntawm granite, qhov tseeb ntawm kev sib tsoo, thiab kev txawj ntse ntawm cov kws ua tes ua taw txhua yam txiav txim siab seb qhov cua ntsawj puas ua tau raws li qhov tshwj xeeb.
Ntawm ZHHIMG®, peb cov granite dub ZHHIMG® ua tiav qhov ceev ntawm ≈3100 kg / m³ - siab dua li feem ntau European thiab American granites dub - ua kom muaj kev ruaj khov zoo dua thiab tiv taus kev hnav. Peb cov kws sib tsoo, nrog ntau tshaj 30 xyoo ntawm kev paub txog kev sib tsoo tes, ua tiav qhov nanometer-level flatness xav tau rau cov ntawv thov huab cua. Peb lub Hoobkas ua haujlwm kub tas li 10,000-square-meter, ua rau ntawm lub hauv paus pob zeb nyuaj ultra-tuab 1000mm nrog 2000mm-tob tiv thaiv kev co, muab qhov chaw ruaj khov tsim nyog rau kev tsim cov khoom ntawm qhov kev ua tiav no.
Thiab peb txoj kev cog lus rau qhov zoo—uas tau muab sau ua ke hauv peb txoj cai zoo, "Kev lag luam precision tsis tuaj yeem ua kom nyuaj dhau"—ua kom txhua yam khoom siv granite uas tawm hauv peb lub chaw ua haujlwm ua tau raws li cov qauv thoob ntiaj teb uas xav tau tshaj plaws.
Txawm koj tab tom tsim cov khoom siv semiconductor lithography tiam tom ntej, CMM uas muaj qhov tseeb siab, lossis lub kaw lus tshuaj xyuas roj teeb EV, kev sib xyaw ua ke ntawm cov granite precision thiab cov thev naus laus zis cua muab lub hauv paus rau kev tswj hwm kev txav mus los ntawm nanometer. Thiab ntawm ZHHIMG®, peb tau ua tus tswv ntawm qhov kev sib xyaw ua ke ntawd tau ntau xyoo lawm.
Lub sijhawm tshaj tawm: Lub Xya Hli-08-2026