Hauv qhov txuas tseem ceeb ntawm kev tsim cov chip - wafer scanning, qhov tseeb ntawm cov khoom siv txiav txim siab qhov zoo ntawm cov chip. Raws li ib qho tseem ceeb ntawm cov khoom siv, qhov teeb meem thermal expansion ntawm lub tshuab granite tau nyiam ntau lub siab.
Tus coefficient ntawm thermal expansion ntawm granite feem ntau yog ntawm 4 thiab 8 × 10⁻⁶ / ℃, uas qis dua li ntawm cov hlau thiab marble. Qhov no txhais tau tias thaum qhov kub hloov pauv, nws qhov loj me hloov pauv me ntsis. Txawm li cas los xij, nws yuav tsum tau sau tseg tias qhov thermal expansion qis tsis txhais tau tias tsis muaj thermal expansion. Nyob rau hauv qhov kub hloov pauv heev, txawm tias qhov me me nthuav dav kuj tseem yuav cuam tshuam rau qhov tseeb ntawm nanoscale ntawm wafer scanning.
Thaum lub sijhawm luam theej wafer, muaj ntau yam ua rau muaj kev nthuav dav thermal. Qhov kub hloov pauv hauv lub chaw ua haujlwm, cua sov tsim los ntawm kev ua haujlwm ntawm cov khoom siv, thiab qhov kub siab tam sim ntawd los ntawm kev ua laser yuav ua rau lub hauv paus granite "nthuav thiab cog lus vim muaj kev hloov pauv kub". Thaum lub hauv paus dhau los ntawm kev nthuav dav thermal, qhov ncaj ntawm txoj kev qhia thiab qhov tiaj tiaj ntawm lub platform yuav hloov pauv, ua rau txoj kev txav mus los tsis raug ntawm lub rooj wafer. Cov khoom txhawb nqa optical kuj tseem yuav hloov pauv, ua rau lub teeb scanning "dhau". Kev ua haujlwm tas mus li rau lub sijhawm ntev kuj tseem yuav sau cov yuam kev, ua rau qhov tseeb tsis zoo zuj zus.
Tab sis tsis txhob txhawj. Tib neeg twb muaj cov kev daws teeb meem lawm. Hais txog cov ntaub ntawv, cov leeg granite nrog cov coefficient qis dua ntawm kev nthuav dav thermal yuav raug xaiv thiab raug rau kev kho mob laus. Hais txog kev tswj qhov kub thiab txias, qhov kub ntawm lub chaw ua haujlwm raug tswj hwm ntawm 23 ± 0.5 ℃ lossis qis dua, thiab lub cuab yeej cua sov ua haujlwm kuj tseem yuav tsim rau lub hauv paus. Hais txog kev tsim qauv, cov qauv sib npaug thiab cov kev txhawb nqa yooj ywm tau txais yuav, thiab kev saib xyuas lub sijhawm tiag tiag yog ua los ntawm cov ntsuas kub. Cov yuam kev tshwm sim los ntawm kev hloov pauv thermal raug kho dynamically los ntawm algorithms.
Cov khoom siv siab heev xws li cov tshuab ASML lithography, los ntawm cov txheej txheem no, ua kom cov nyhuv thermal nthuav dav ntawm lub hauv paus granite nyob rau hauv qhov ntau me me, ua rau qhov tseeb ntawm wafer scanning mus txog qib nanometer. Yog li ntawd, tsuav yog nws raug tswj kom zoo, lub hauv paus granite tseem yog qhov kev xaiv txhim khu kev qha rau cov khoom siv wafer scanning.
Lub sijhawm tshaj tawm: Lub Rau Hli-12-2025