Vim li cas cov chaw tsim khoom siv semiconductor thiaj li teev cov hauv paus granite ntuj - 5 qhov laj thawj tseem ceeb

Hauv lub ntiaj teb kev lag luam semiconductor uas muaj kev pheej hmoo siab, qhov twg qhov loj me ntawm cov yam ntxwv raug ntsuas hauv nanometers, lub hauv paus ntawm lub tshuab tseem ceeb npaum li cov optics lossis lub tshuab nqus tsev. Txawm hais tias nws yog lub tshuab tshuaj xyuas wafer lossis lub kaw lus lithography tob-ultraviolet (DUV), cov OEMs thoob ntiaj teb ib txwm teev cov granite dub ntuj rau lawv cov hauv paus qauv.

Tiam sis vim li cas pob zeb ntuj thiaj yog tus qauv kub hauv kev lag luam uas txhais los ntawm cov khoom siv hluavtaws tshiab? Nov yog tsib qhov laj thawj vim li cas granite ntuj yog qhov kev xaiv tsis sib tham rau cov khoom siv semiconductor.

1. Kev Ruaj Ntseg Thermal Zoo Tshaj Plaws hauv Fab

Qhov chaw ib puag ncig semiconductor "Front-End" xav tau qhov sib xws tag nrho. Txawm tias ib feem me me ntawm qhov kub thiab txias hloov pauv tuaj yeem ua rau cov qauv hlau nthuav dav, ua rau muaj qhov yuam kev overlay lossis "blurring" hauv lithography.

Cov pob zeb granite ntuj muaj cov Coefficient of Thermal Expansion (CTE) qis heev. Thaum piv rau ib qholub hauv paus graniteRau lub tshuab tshuaj xyuas wafer mus rau lwm txoj hauv kev hlau lossis txhuas, cov granite tseem nyob ruaj khov txawm tias muaj kev hloov pauv me me ntawm ib puag ncig. Qhov kev kub ntxhov no ua kom ntseeg tau tias txoj kev pom kev tseem sib phim los ntawm thawj wafer ntawm kev hloov mus rau qhov kawg.

2. Kev co tshwj xeeb rau Nanometer Precision

Cov khoom siv lithography thiab cov cuab yeej metrology siab muaj kev rhiab heev rau "suab nrov" - kev co los ntawm hauv pem teb Hoobkas, cov kiv cua txias, lossis cov neeg ua haujlwm wafer robotic.

Txawm hais tias cov hlau feem ntau "nrov" (coj mus ntev tom qab muaj kev cuam tshuam), cov granite ntuj muaj peev xwm damping sab hauv siab. Nws nqus thiab dissipates lub zog kinetic sai sai. Qhov kev co damping granite rau cov khoom siv lithography no tso cai rau lub tshuab kom ruaj khov sai dua tom qab theem siab txav mus los, ua rau "Units Per Hour" (UPH) throughput ntawm lub cuab yeej ntau dua.

3. Tsis Muaj Hlau Sib Nqus Thiab Tsis Muaj Hluav Taws Xob

Cov txheej txheem semiconductor feem ntau muaj cov teeb hluav taws xob rhiab heev (E-beam) lossis cov tshuab hluav taws xob sib nqus siab. Lub hauv paus hlau tuaj yeem cuam tshuam cov teb sib nqus no lossis tsim cov hluav taws xob eddy uas cuam tshuam qhov tseeb ntawm lub sensor.

Ua ib qho khoom siv rwb thaiv tsev ntuj, granite muab lub platform metrology uas tsis yog magnetic rau cov chav huv. Nws tsis cuam tshuam rau qhov chaw electromagnetic ntawm lub cuab yeej, uas tso cai rau cov ntaub ntawv ntshiab, tsis muaj kev puas tsuaj thaum lub sijhawm wafer topography mapping lossis kev tshuaj xyuas qhov tsis zoo.

4. Kev Tiv Thaiv Kev Xeb thiab Kev Sib Tw Hauv Chav Huv Si

Hauv chav huv (Chav Kawm 1 lossis Chav Kawm 10), cov pa tawm thiab cov khoom me me yog cov yeeb ncuab ntawm cov zis. Tsis zoo li cov hlau cam khwb cia lossis hlau, cov granite ntuj tsis xeb, oxidize, lossis xav tau cov xim pleev xim thiab cov txheej uas tuaj yeem tawg lossis tawm cov pa tawm raws sijhawm.

Granite tsis muaj zog tshuaj lom neeg. Txawm tias thaum raug cov tshuaj ntxuav tshwj xeeb uas siv hauv lub Hoobkas semiconductor, nws tseem khaws nws qhov chaw kom zoo. Nws cov qauv siab (kwv yees li 3100kg / m³) ua kom nws tseem "tsis muaj cov khoom me me" thoob plaws lub neej ntawm cov khoom siv.

5. Ua tiav "Qhov tiaj tiaj tiag tiag" los ntawm kev siv tes txhuam

Hauv kev lag luam semiconductor, "tiaj tus" tsis tiaj tus txaus. Cov khoom feem ntau xav tau qhov tseeb ntawm nano-level uas CNC tshuab tsuas yog ua tsis tau.

Cov granite ntuj tso cai rau kev siv tes-lapping, ib qho txheej txheem ua kom zoo nkauj tes uas cov kws tshaj lij ua tiav qhov kev kam rau siab txog li ± 0.001 hli. Qib kev raug no yog qhov tseem ceeb rau cov theem cua-bearing siv hauv cov wafer scanners niaj hnub no, qhov twg qhov sib txawv ntawm huab cua ntawm theem thiab lub hauv paus yuav tsum nyob twj ywm zoo meej thoob plaws tag nrho cov kev mus ncig.

Qhov Zoo ntawm ZHHIMG: Kev Ntsuas Tseeb rau Lub Caij Nano

Ntawm UNPARALLELED (ZHHIMG), peb nkag siab txog qhov ruaj khov ntawm granite hauv cov khoom siv semiconductor zoo dua li lwm tus. Peb muab cov khoom siv granite uas tau tsim tshwj xeeb rau cov tuam txhab tsim khoom siv semiconductor thoob ntiaj teb, tshwj xeeb hauv:

• Cov hauv paus loj heev uas siv tau rau hauv lub tshuab nqus tsev.

• Precision beams rau high-speed gantry systems.

• Cov ntxig sib xyaw ua ke rau kev teeb tsa lub cev muaj zog linear.

Peb cov granite dub uas muaj cov khoom ntom ntom siab tau los ntawm kev nrhiav thiab ua tiav kom ua tau raws li cov lus qhia tshwj xeeb tshaj plaws ntawm daim ntawv qhia kev lag luam semiconductor thoob ntiaj teb.