Kev lag luam semiconductor thoob ntiaj teb tam sim no tab tom taug kev mus rau lub sijhawm uas tsis tau muaj dua li. Raws li qhov loj me ntawm cov yam ntxwv ntawm silicon wafers me me mus rau 2nm thiab 1nm nodes, qhov sib txawv rau qhov yuam kev hauv metrology thiab kev tshuaj xyuas tau ploj mus. Hauv qhov chaw muaj kev pheej hmoo siab no, txawm tias cov tshuab optical thiab electron-beam siab tshaj plaws tsuas yog ntseeg tau raws li cov platforms uas lawv zaum. Qhov tseeb no tau ua rau muaj kev hloov pauv loj hauv kev lag luam: kev vam khom ntxiv raugranite uas tsis yog hlau nplaum rau kev tshuaj xyuas waferua cov khoom siv tseem ceeb rau cov chaw sim siab.
Tau ntau xyoo lawm, cov granite ntuj tau yog "tus qauv kub" rau kev ua haujlwm precision vim nws qhov kev co zoo kawg nkaus thiab cov coefficient qis ntawm thermal expansion. Txawm li cas los xij, nyob rau hauv cov ntsiab lus ntawm kev tshuaj xyuas wafer niaj hnub no, tsis yog txhua granite yog tsim sib npaug. Qhov muaj cov hlau inclusions lossis magnetic minerals hauv cov pob zeb qib txheem tuaj yeem tsim kev cuam tshuam magnetic teb hauv zos. Rau cov kab ke siv electron beams lossis cov sensors magnetic rhiab heev, qhov kev cuam tshuam no yog qhov puas tsuaj loj heev, ua rau beam deflection thiab kev ntsuas tsis raug uas cuam tshuam rau tag nrho cov txheej txheem tswj xyuas zoo.
ZHHIMG tau siv ntau xyoo los txhim kho cov txheej txheem xaiv los nrhiav cov qauv geological nrog qhov qis tshaj plaws magnetic susceptibility. Los ntawm kev muab qhov tseeb tiaggranite uas tsis yog hlau nplaum rau kev tshuaj xyuas wafer, peb ua kom cov chaw tsim khoom siv tau thawb cov kev txwv ntawm kev daws teeb meem yam tsis muaj lub suab "suab nrov" uas ua rau cov khoom siv tsawg dua puas tsuaj. Qhov kev sib txawv ntawm cov txuj ci no yog qhov sib txawv ntawm cov cuab yeej tshuaj xyuas tus qauv thiab cov khoom siv ntsuas thoob ntiaj teb uas muaj peev xwm ua tau qhov rov ua dua sub-nanometer.
Ib yam li qhov xav tau ntawm cov hlau nplaum yog qhov kev thov uas tsis tuaj yeem sib tham tau rau kev ua kom huv si ntawm ib puag ncig. Hauv Fab niaj hnub no, lub platform yuav tsum ua ntau dua li tsuas yog nyob twj ywm xwb; nws yuav tsum nyob twj ywm "tsis pom" rau ib puag ncig. Qhov no yog qhov uas lub tswv yim ntawm aChav dej huv si sib xws nrog granite platformua qhov tseem ceeb. Cov ntaub ntawv lag luam ib txwm muaj feem ntau ua tsis tiav hauv qhov chaw nqus tsev lossis qhov chaw huv siab vim muaj cov pa tawm - kev tso tawm cov pa roj lossis cov organic sib xyaw uas tuaj yeem ua rau cov khoom siv optics puas tsuaj lossis poob rau ntawm qhov chaw wafer, ua rau muaj "qhov tsis zoo."
Lub tswv yim engineering ntawm ZHHIMG kho cov granite nto ua ib qho khoom ua tau zoo dua li ib lub pob zeb uas tsis hloov pauv. Peb cov txheej txheem tshwj xeeb ua kom ntseeg tau tias txhua yamChav dej huv si sib xws nrog granite platformua raws li txoj cai ntxuav thiab kaw kom nruj uas tsim los kom tshem tawm cov khoom me me uas poob tawm. Qib kev ua tiav ntawm cov khoom no yog qhov tseem ceeb rau cov cuab yeej lithography thiab cov cuab yeej tshuaj xyuas uas ua haujlwm hauv chav huv Class 1 lossis ISO 3, qhov twg txawm tias ib qho khoom me me uas ploj mus kuj tuaj yeem ua rau ntau txhiab daus las poob cov txiaj ntsig.
Tshaj li cov khoom siv lub cev ntawm lub pob zeb nws tus kheej, kev koom ua ke ntawm granite rau hauv lub tshuab dav dav xav tau kev nkag siab tob txog cov qauv dynamics. Cov thawj coj European thiab American semiconductor OEMs tsis nrhiav cov neeg muab khoom yooj yim lawm; lawv tab tom nrhiav cov neeg koom tes ua haujlwm uas nkag siab txog kev ntxhov siab thermal thiab mechanical ntawm 24/7 high-speed wafer tuav. ZHHIMG txoj kev txawj ntse hauv kev lapping precision thiab kev ntxig rau kev cai tso cai rau kev sib koom ua ke ntawm cov theem cua-bearing thiab linear motors ncaj qha mus rau hauv lub hauv paus granite, tsim kom muaj ib lub kaw lus sib koom ua ke uas txo qis qhov yuam kev stack-up.
Thaum peb saib mus rau yav tom ntej ntawm kev lag luam, lub luag haujlwm ntawm lub hauv paus qauv yuav tsuas yog loj hlob hauv qhov tseem ceeb. Nrog rau kev tshwm sim ntawm High-NA EUV lithography thiab 3D NAND scaling, qhov loj thiab kev ruaj khov ntawmgranite uas tsis yog hlau nplaum rau kev tshuaj xyuas wafercov platforms yuav tsum hloov zuj zus los tswj cov kev nrawm dua thiab cov thermal loads nyuaj dua. ZHHIMG yog tus thawj coj ntawm qhov kev hloov pauv no, nqis peev rau hauv cov cuab yeej metrology siab heev los txheeb xyuas qhov tiaj tus thiab sib luag rau kev kam rau siab uas tau xav tias tsis yooj yim sua tsuas yog kaum xyoo dhau los.
Qhov kev cog lus rau kev ua tau zoo ntawm ZHHIMG yog tsav los ntawm kev nkag siab tias nyob rau hauv lub ntiaj teb semiconductor, kev ruaj khov yog qhov ua ntej rau kev tsim kho tshiab. Kev ua tau zoo siabChav dej huv si sib xws nrog granite platformyog ntau tshaj li qhov yuav khoom; nws yog kev nqis peev rau kev ntseeg siab mus sij hawm ntev ntawm cov kab ntau lawm. Los ntawm kev tshem tawm kev cuam tshuam sib nqus thiab kev ua qias tuaj ntawm qhov chaw, ZHHIMG muab qhov chaw nyob ntsiag to, huv si, thiab ruaj khov uas cov chips ntawm tag kis xav tau.
Rau cov koom haum uas siv zog los ua kom lawv cov kev tshuaj xyuas zoo tshaj plaws thiab txo tus nqi tag nrho ntawm kev muaj lawv cov khoom siv metrology, kev xaiv cov khoom siv yog qhov kev txiav txim siab tseem ceeb tshaj plaws hauv theem tsim. ZHHIMG txuas ntxiv txhawb nqa cov thawj coj thoob ntiaj teb los ntawm kev xa cov khoom siv pob zeb uas ua tau raws li cov qauv thoob ntiaj teb nruj tshaj plaws rau kev huv thiab kev ua kom raug.
Hauv lub ntiaj teb uas txhais los ntawm qhov me me, qhov ruaj khov loj ntawm ZHHIMG granite tseem yog tus saib xyuas ntsiag to ntawm lub hnub nyoog digital. Peb caw cov kws ua haujlwm txheej txheem thiab cov neeg tsim khoom siv los tshawb nrhiav seb peb cov khoom siv tshwj xeeb tuaj yeem txhais cov ciam teb ntawm qhov lawv cov txheej txheem tshuaj xyuas tuaj yeem ua tiav li cas.
Lub sijhawm tshaj tawm: Lub Peb Hlis-05-2026