00-qib granite kuaj platform yog cov cuab yeej ntsuas siab, thiab nws cov qauv ntsuas feem ntau suav nrog cov hauv qab no:
Geometric Accuracy:
Flatness: Qhov kev ua yuam kev flatness hla tag nrho lub platform nto yuav tsum yog me me, feem ntau tswj tau mus rau qib micron. Piv txwv li, nyob rau hauv cov txheej txheem, lub flatness sib txawv yuav tsum tsis txhob ntau tshaj 0.5 microns, lub ntsiab lus ntawm lub platform nto yuav luag tag, muab ib tug ruaj khov siv rau kev ntsuas.
Parallelism: Kev sib luag siab heev yog xav tau ntawm cov chaw ua haujlwm sib txawv los xyuas kom meej qhov ntsuas qhov tseeb. Piv txwv li, qhov kev ua yuam kev sib luag ntawm ob qhov chaw ua haujlwm uas nyob ib sab yuav tsum tsawg dua 0.3 microns kom ntseeg tau cov ntaub ntawv kev ntseeg siab thaum ntsuas cov kaum sab xis lossis qhov chaw txheeb ze.
Perpendicularity: Lub perpendicularity ntawm txhua qhov chaw ua haujlwm thiab qhov chaw siv yuav tsum tau tswj nruj me ntsis. Feem ntau, qhov sib txawv ntawm qhov perpendicularity yuav tsum tsis pub dhau 0.2 microns, uas yog qhov tseem ceeb rau cov ntawv thov uas xav tau kev ntsuas ntsug, xws li kev ntsuas peb-dimensional.
Khoom siv:
Granite: Granite nrog kev ntxhib los mos thiab cov qauv ntom ntom feem ntau yog siv los ua cov khoom siv hauv paus. Nws cov hardness siab, zoo heev hnav tsis kam, thiab thermal expansion coefficient tsis tshua muaj siab ua kom lub platform qhov ruaj khov thiab tsis kam mus deformation thaum siv mus ntev. Piv txwv li, cov granite xaiv yuav tsum muaj Rockwell hardness ntawm 70 los yog siab dua los xyuas kom meej lub platform zoo heev hnav thiab khawb kuj.
Kev ruaj ntseg: 00-qib granite kuaj platforms tau txais kev kho mob hnyav thaum lub sijhawm tsim khoom kom tshem tawm cov kev ntxhov siab sab hauv, kom ntseeg tau tias kev ua haujlwm ruaj khov nyob rau hauv ib puag ncig sib txawv. Tom qab kev kho mob, lub platform qhov hloov pauv qhov hloov pauv tsis tshaj 0.001 mm / m ib xyoo, ua tau raws li qhov yuav tsum tau muaj ntawm kev ntsuas siab.
Nto Zoo:
Roughness: Lub platform lub nto roughness tsawg heev, feem ntau qis dua Ra0.05, ua rau ib daim iav zoo li smoothness. Qhov no txo cov kev sib txhuam thiab kev ua yuam kev ntawm cov cuab yeej ntsuas thiab cov khoom raug ntsuas, yog li txhim kho kev ntsuas qhov tseeb.
Gloss: Lub platform siab gloss, feem ntau siab dua 80, tsis yog tsuas yog txhim kho nws cov kev zoo nkauj tab sis kuj txhawb cov neeg siv kev soj ntsuam ntawm kev ntsuas ntsuas thiab ntsuas ntsuas.
Kev ntsuas qhov tseeb ruaj khov:
Temperature Stability: Vim hais tias kev ntsuas feem ntau yuav tsum tau ua haujlwm nyob rau hauv qhov sib txawv ntawm qhov kub thiab txias, 00-qib granite kuaj platform yuav tsum muaj qhov ntsuas kub zoo heev. Feem ntau hais lus, lub platform qhov ntsuas qhov tseeb yuav tsum tsis txhob sib txawv ntau dua 0.1 microns tshaj qhov kub ntawm -10 ° C txog + 30 ° C, kom ntseeg tau qhov ntsuas qhov tseeb hauv txhua qhov ntsuas kub.
Kev ruaj ntseg mus ntev: Lub platform qhov ntsuas qhov tseeb yuav tsum nyob ruaj khov nyob rau lub sijhawm siv sijhawm ntev, thiab tom qab siv lub sijhawm, nws qhov tseeb yuav tsum tsis txhob sib txawv tshaj li qhov tau teev tseg. Piv txwv li, nyob rau hauv ib txwm ua hauj lwm tej yam kev mob, lub platform ntsuas qhov tseeb yuav tsum tsis txhob deviate los ntawm ntau tshaj 0.2 microns nyob rau hauv ib lub sij hawm ntawm ib xyoos.
Hauv cov ntsiab lus, cov qauv muab qhab nia rau 00-qib granite kuaj platforms yog qhov nruj heev, suav nrog ntau yam xws li geometric raug, cov khoom siv, qhov zoo ntawm qhov chaw, thiab kev ntsuas qhov tseeb. Tsuas yog los ntawm kev ua tau raws li cov qauv siab no tuaj yeem ua lub luag haujlwm tseem ceeb hauv kev ntsuas qhov tseeb, muab qhov ntsuas qhov tseeb thiab txhim khu kev qha rau kev tshawb fawb, kev sim engineering, thiab kev tswj kom zoo.
Post lub sij hawm: Sep-05-2025