Qhov zoo ntawm kev xaiv granite puag rau semiconductor wafer kuaj lub rooj.

​
Hauv kev lag luam semiconductor, kev tshuaj xyuas wafer yog qhov txuas tseem ceeb los xyuas kom meej qhov zoo thiab kev ua tau zoo ntawm cov chip, thiab qhov tseeb thiab kev ruaj khov ntawm lub rooj tshuaj xyuas ua lub luag haujlwm tseem ceeb hauv cov txiaj ntsig ntawm kev kuaj pom. Lub hauv paus granite nrog nws cov yam ntxwv tshwj xeeb, dhau los ua qhov kev xaiv zoo tshaj plaws rau lub rooj tshuaj xyuas semiconductor wafer, cov hauv qab no los ntawm kev tshuaj xyuas ntau qhov ntev rau koj.

Ua ntej, qhov kev lees paub qhov tseeb
1. Qhov tiaj tiaj thiab ncaj heev: Lub hauv paus granite yog ua los ntawm cov thev naus laus zis ua tiav siab heev, thiab qhov tiaj tiaj tuaj yeem ncav cuag ± 0.001mm / m lossis txawm tias qhov tseeb dua, thiab qhov ncaj kuj zoo heev. Hauv cov txheej txheem tshuaj xyuas wafer, lub dav hlau siab muab kev txhawb nqa ruaj khov rau wafer thiab xyuas kom meej qhov sib cuag tseeb ntawm qhov kev soj ntsuam ntawm cov khoom siv tshuaj xyuas thiab cov pob qij txha ntawm qhov chaw wafer.
2. Cov coefficient ntawm thermal expansion qis heev: kev tsim khoom semiconductor yog rhiab heev rau qhov kub hloov pauv, thiab cov coefficient ntawm thermal expansion ntawm granite yog qis heev, feem ntau yog li 5 × 10⁻⁶ / ℃. Thaum lub platform nrhiav tau khiav, txawm tias qhov kub thiab txias hloov pauv, qhov loj ntawm lub hauv paus granite hloov pauv me ntsis. Piv txwv li, hauv lub rooj cob qhia kub siab thaum lub caij ntuj sov, qhov kub ntawm lub platform nrhiav tau hlau feem ntau yuav ua rau qhov chaw sib piv ntawm wafer thiab cov khoom siv nrhiav tau hloov pauv, cuam tshuam rau qhov tseeb ntawm kev nrhiav; Lub platform nrhiav tau granite tuaj yeem tswj tau qhov ruaj khov, xyuas kom meej qhov tseeb ntawm wafer thiab cov khoom siv nrhiav tau thaum lub sijhawm nrhiav tau, thiab muab ib puag ncig ruaj khov rau kev nrhiav tau qhov tseeb siab.
Qhov thib ob, qhov ruaj khov
1. Cov qauv ruaj khov thiab kev tiv thaiv kev co: Granite tom qab ntau lab xyoo ntawm cov txheej txheem geological, cov qauv sab hauv yog ntom thiab sib xws. Hauv qhov chaw nyuaj ntawm lub Hoobkas semiconductor, kev co tsim los ntawm kev ua haujlwm ntawm cov khoom siv peripheral thiab cov neeg ua haujlwm taug kev ncig tau raug txo qis los ntawm lub hauv paus granite.
2. Kev siv tau ntev: piv rau lwm cov ntaub ntawv, granite muaj qhov nyuaj siab, tiv taus kev hnav zoo, thiab Mohs hardness tuaj yeem ncav cuag 6-7. Lub hauv paus granite tsis yooj yim hnav thaum lub sijhawm thauj khoom wafer, tshem tawm thiab tshuaj xyuas. Raws li kev siv cov ntaub ntawv txheeb cais, kev siv lub rooj kuaj granite, kev ua haujlwm tas mus li tom qab 5000 teev, qhov tseeb ntawm qhov tiaj tus thiab ncaj tseem tuaj yeem tswj tau ntau dua 98% ntawm qhov tseeb thawj zaug, txo cov khoom siv vim kev hnav ntawm lub hauv paus los ntawm kev ntsuas thiab kev saib xyuas tsis tu ncua, txo cov nqi khiav lag luam, kom ntseeg tau tias kev ua haujlwm kuaj ruaj khov mus sij hawm ntev.

Qhov thib peb, huv si thiab tiv thaiv kev cuam tshuam
1. Tsis tshua muaj plua plav: qhov chaw tsim khoom semiconductor yuav tsum huv heev, thiab cov khoom siv granite nws tus kheej ruaj khov thiab tsis yooj yim tsim cov hmoov av. Thaum lub sijhawm ua haujlwm ntawm lub platform sim, cov hmoov av tsim los ntawm lub hauv paus raug zam kom ua rau lub wafer qias neeg, thiab qhov kev pheej hmoo ntawm kev luv luv thiab qhib hluav taws xob los ntawm cov hmoov av raug txo qis. Hauv thaj chaw tshuaj xyuas wafer ntawm lub chaw ua haujlwm tsis muaj plua plav, qhov concentration ntawm cov hmoov av nyob ib puag ncig lub rooj tshuaj xyuas granite hauv paus yeej ib txwm tswj hwm kom qis heev, ua tau raws li cov kev cai huv ntawm kev lag luam semiconductor.
2. Tsis muaj kev cuam tshuam los ntawm hlau nplaum: cov khoom siv kuaj pom muaj kev cuam tshuam rau qhov chaw electromagnetic, thiab granite yog cov khoom siv tsis yog hlau nplaum, uas yuav tsis cuam tshuam rau lub teeb liab hluav taws xob ntawm cov khoom siv kuaj pom. Hauv kev siv cov khoom siv electron beam nrhiav thiab lwm yam thev naus laus zis kuaj uas xav tau qhov chaw electromagnetic siab heev, lub hauv paus granite ua kom muaj kev sib kis ruaj khov ntawm lub teeb liab hluav taws xob ntawm cov khoom siv kuaj pom thiab ua kom muaj qhov tseeb ntawm cov txiaj ntsig xeem. Piv txwv li, thaum lub wafer raug kuaj rau kev ua haujlwm hluav taws xob siab, lub hauv paus granite tsis yog hlau nplaum zam kev cuam tshuam nrog cov teeb liab tam sim no thiab voltage, yog li cov ntaub ntawv kuaj pom tseeb qhia txog cov yam ntxwv hluav taws xob wafer.