1. Qhov tseeb ntawm qhov ntev
Kev tiaj tiaj: qhov tiaj tiaj ntawm qhov chaw ntawm lub hauv paus yuav tsum ncav cuag tus qauv siab heev, thiab qhov yuam kev tiaj tiaj yuav tsum tsis pub tshaj ± 0.5μm hauv txhua qhov chaw 100mm × 100mm; Rau tag nrho lub dav hlau hauv paus, qhov yuam kev tiaj tiaj yog tswj tau hauv ± 1μm. Qhov no ua kom ntseeg tau tias cov khoom tseem ceeb ntawm cov khoom siv semiconductor, xws li lub taub hau raug ntawm cov khoom siv lithography thiab lub rooj soj ntsuam ntawm cov khoom siv nrhiav pom chip, tuaj yeem ntsia tau ruaj khov thiab ua haujlwm ntawm lub dav hlau siab, xyuas kom meej qhov tseeb ntawm txoj kev kho qhov muag thiab kev sib txuas ntawm lub voj voog ntawm cov khoom siv, thiab zam kev hloov pauv ntawm cov khoom los ntawm lub dav hlau tsis sib xws ntawm lub hauv paus, uas cuam tshuam rau kev tsim khoom semiconductor chip thiab kev nrhiav pom tseeb.
Kev Ncaj: Qhov ncaj ntawm txhua ntug ntawm lub hauv paus yog qhov tseem ceeb heev. Hauv qhov ntev, qhov yuam kev ncaj yuav tsum tsis pub tshaj ± 1μm ib 1m; Qhov yuam kev ncaj ntawm kab pheeb ces kaum yog tswj tau hauv ± 1.5μm. Piv txwv li, thaum lub rooj txav mus raws txoj kev qhia ntawm lub hauv paus, qhov ncaj ntawm ntug ntawm lub hauv paus cuam tshuam ncaj qha rau qhov tseeb ntawm lub rooj. Yog tias qhov ncaj tsis raws li tus qauv, tus qauv lithography yuav raug cuam tshuam thiab deformed, ua rau txo qis ntawm cov khoom tsim tawm.
Kev Sib Npaug: Qhov yuam kev sib npaug ntawm qhov chaw sab saud thiab sab hauv qab ntawm lub hauv paus yuav tsum tau tswj hwm hauv ± 1μm. Kev sib npaug zoo tuaj yeem ua kom muaj kev ruaj khov ntawm qhov chaw nruab nrab ntawm lub ntiajteb txawj nqus tom qab kev teeb tsa cov khoom siv, thiab lub zog ntawm txhua qhov khoom sib xws. Hauv cov khoom siv tsim khoom semiconductor wafer, yog tias qhov chaw sab saud thiab sab hauv qab ntawm lub hauv paus tsis sib luag, lub wafer yuav qaij thaum lub sijhawm ua tiav, cuam tshuam rau qhov sib xws ntawm cov txheej txheem xws li etching thiab txheej, thiab yog li cuam tshuam rau kev ua haujlwm ntawm cov chip.
Qhov thib ob, cov yam ntxwv ntawm cov khoom siv
Kev Nyuaj Siab: Qhov nyuaj ntawm cov khoom siv granite hauv paus yuav tsum ncav cuag Shore hardness HS70 lossis siab dua. Qhov nyuaj siab tuaj yeem tiv taus qhov hnav los ntawm kev txav mus los thiab kev sib txhuam ntawm cov khoom thaum lub sijhawm ua haujlwm ntawm cov khoom siv, kom ntseeg tau tias lub hauv paus tuaj yeem tswj tau qhov loj me siab tom qab siv ntev. Hauv cov khoom siv ntim khoom, lub caj npab neeg hlau feem ntau tuav thiab muab lub nti tso rau ntawm lub hauv paus, thiab qhov nyuaj siab ntawm lub hauv paus tuaj yeem ua kom qhov chaw tsis yooj yim los tsim cov khawb thiab tswj qhov tseeb ntawm kev txav mus los ntawm caj npab neeg hlau.
Qhov Ceev: Qhov ceev ntawm cov khoom siv yuav tsum nyob nruab nrab ntawm 2.6-3.1 g/cm³. Qhov ceev tsim nyog ua rau lub hauv paus muaj kev ruaj khov zoo, uas tuaj yeem ua kom muaj kev ruaj khov txaus los txhawb cov khoom siv, thiab yuav tsis coj teeb meem rau kev teeb tsa thiab kev thauj mus los ntawm qhov hnyav ntau dhau. Hauv cov khoom siv tshuaj xyuas semiconductor loj, qhov ceev ruaj khov ntawm lub hauv paus pab txo qhov kev co thaum lub sijhawm ua haujlwm ntawm cov khoom siv thiab txhim kho qhov tseeb ntawm kev kuaj pom.
Kev ruaj khov thermal: tus coefficient nthuav dav linear tsawg dua 5 × 10⁻⁶ / ℃. Cov khoom siv semiconductor muaj kev nkag siab zoo rau kev hloov pauv kub, thiab kev ruaj khov thermal ntawm lub hauv paus yog ncaj qha cuam tshuam rau qhov tseeb ntawm cov khoom siv. Thaum lub sijhawm lithography, qhov kub thiab txias hloov pauv tuaj yeem ua rau kev nthuav dav lossis kev cog lus ntawm lub hauv paus, ua rau muaj kev hloov pauv ntawm qhov loj me ntawm cov qauv raug. Lub hauv paus granite nrog tus coefficient nthuav dav linear qis tuaj yeem tswj qhov kev hloov pauv loj hauv qhov ntau me me thaum qhov kub ua haujlwm ntawm cov khoom siv hloov pauv (feem ntau 20-30 ° C) kom ntseeg tau tias qhov tseeb ntawm lithography.
Qhov thib peb, qhov zoo ntawm qhov chaw
Qhov Roughness: Qhov roughness Ra ntawm lub hauv paus tsis pub tshaj 0.05μm. Qhov nto du heev tuaj yeem txo qhov kev nqus ntawm cov hmoov av thiab cov khoom tsis huv thiab txo qhov cuam tshuam rau qhov huv ntawm qhov chaw tsim khoom semiconductor chip. Hauv lub chaw ua haujlwm tsis muaj hmoov av ntawm kev tsim khoom chip, cov khoom me me tuaj yeem ua rau muaj qhov tsis zoo xws li luv luv ntawm lub chip, thiab qhov chaw du ntawm lub hauv paus pab tswj kom muaj qhov chaw huv ntawm lub chaw ua haujlwm thiab txhim kho cov txiaj ntsig ntawm lub chip.
Qhov tsis zoo ntawm lub tshuab me me: Qhov chaw ntawm lub hauv paus tsis pub muaj qhov tawg pom, qhov xuab zeb, qhov hws thiab lwm yam tsis zoo. Ntawm qib microscopic, tus lej ntawm qhov tsis zoo nrog lub cheeb loj dua 1μm ib square centimeter yuav tsum tsis pub tshaj 3 los ntawm electron microscopy. Cov qhov tsis zoo no yuav cuam tshuam rau lub zog ntawm cov qauv thiab qhov tiaj tiaj ntawm lub hauv paus, thiab tom qab ntawd cuam tshuam rau kev ruaj khov thiab qhov tseeb ntawm cov khoom siv.
Plaub, kev ruaj khov thiab kev poob siab tsis kam
Kev ruaj khov dynamic: Hauv qhov chaw ua haujlwm ntawm kev co uas tsim los ntawm kev ua haujlwm ntawm cov khoom siv semiconductor (qhov zaus co 10-1000Hz, qhov loj 0.01-0.1mm), qhov kev hloov pauv ntawm kev co ntawm cov ntsiab lus tseem ceeb ntawm lub hauv paus yuav tsum tau tswj hwm hauv ± 0.05μm. Piv txwv li, yog tias lub cuab yeej lub zog thiab qhov chaw ib puag ncig kev co raug xa mus rau lub hauv paus thaum lub sijhawm ua haujlwm, qhov tseeb ntawm lub teeb liab xeem yuav raug cuam tshuam. Kev ruaj khov dynamic zoo tuaj yeem ua kom ntseeg tau tias cov txiaj ntsig xeem txhim khu kev qha.
Kev tiv thaiv av qeeg: Lub hauv paus yuav tsum muaj kev ua tau zoo heev rau kev tiv thaiv av qeeg, thiab tuaj yeem txo qhov kev co ntawm lub zog thaum nws raug kev co sab nraud tam sim ntawd (xws li kev co ntawm nthwv dej av qeeg), thiab xyuas kom meej tias qhov chaw sib piv ntawm cov khoom tseem ceeb ntawm cov khoom siv hloov pauv hauv ± 0.1μm. Hauv cov chaw tsim khoom semiconductor hauv thaj chaw uas muaj av qeeg, cov hauv paus tiv thaiv av qeeg tuaj yeem tiv thaiv cov khoom siv semiconductor kim, txo qhov kev pheej hmoo ntawm kev puas tsuaj ntawm cov khoom siv thiab kev cuam tshuam kev tsim khoom vim kev co.
5. Kev ruaj khov tshuaj lom neeg
Kev tiv thaiv xeb: Lub hauv paus granite yuav tsum tiv taus qhov xeb ntawm cov tshuaj lom neeg feem ntau hauv cov txheej txheem tsim khoom semiconductor, xws li hydrofluoric acid, aqua regia, thiab lwm yam. Tom qab tsau hauv hydrofluoric acid kua nrog feem pua ntawm 40% rau 24 teev, qhov poob zoo ntawm qhov chaw yuav tsum tsis pub tshaj 0.01%; tsau hauv aqua regia (qhov ntim piv ntawm hydrochloric acid rau nitric acid 3: 1) rau 12 teev, thiab tsis muaj qhov pom tseeb ntawm xeb ntawm qhov chaw. Cov txheej txheem tsim khoom semiconductor cuam tshuam nrog ntau yam tshuaj etching thiab ntxuav cov txheej txheem, thiab qhov kev tiv thaiv xeb zoo ntawm lub hauv paus tuaj yeem ua kom ntseeg tau tias kev siv mus sij hawm ntev hauv ib puag ncig tshuaj lom neeg tsis raug eroded, thiab qhov tseeb thiab kev ncaj ncees ntawm cov qauv raug tswj hwm.
Kev Tiv Thaiv Kev Ua Phem: Cov khoom siv hauv paus muaj kev nqus tsawg heev ntawm cov pa phem hauv qhov chaw tsim khoom semiconductor, xws li cov pa roj organic, cov hlau ions, thiab lwm yam. Thaum muab tso rau hauv ib puag ncig uas muaj 10 PPM ntawm cov pa roj organic (piv txwv li, benzene, toluene) thiab 1 ppm ntawm cov hlau ions (piv txwv li, cov tooj liab ions, hlau ions) rau 72 teev, qhov kev hloov pauv kev ua tau zoo los ntawm kev nqus cov pa phem ntawm qhov chaw hauv paus yog qhov tsis tseem ceeb. Qhov no tiv thaiv cov pa phem los ntawm kev tsiv teb tsaws chaw los ntawm qhov chaw hauv paus mus rau thaj chaw tsim khoom thiab cuam tshuam rau qhov zoo ntawm cov chip.
Lub sijhawm tshaj tawm: Lub Peb Hlis-28-2025