Hauv kev ntsuas qhov tseeb, granite precision platform nrog nws qhov ruaj khov zoo heev, siab hardness thiab zoo hnav tsis kam, tau dhau los ua lub hauv paus zoo tshaj plaws rau ntau qhov kev ntsuas qhov tseeb. Txawm li cas los xij, qhov kub thiab txias hloov pauv ntawm cov yam ntxwv ib puag ncig, zoo li "precision killer" zais rau hauv qhov tsaus ntuj, muaj qhov cuam tshuam tsis tseem ceeb rau qhov tseeb ntawm kev ntsuas ntawm granite precision platform. Nws yog qhov tseem ceeb heev rau kev tshawb nrhiav qhov cuam tshuam tob rau kev ua kom ntseeg tau qhov tseeb thiab kev ntseeg siab ntawm kev ntsuas.
Txawm hais tias granite paub txog nws qhov ruaj khov, nws tsis tiv thaiv kev hloov pauv kub. Nws cov khoom tseem ceeb yog quartz, feldspar thiab lwm yam minerals, uas yuav tsim cov thermal nthuav dav thiab contraction phenomenon ntawm ntau qhov kub thiab txias. Thaum qhov kub thiab txias nce siab, lub granite precision platform raug cua sov thiab nthuav dav, thiab qhov loj ntawm lub platform yuav hloov me ntsis. Thaum qhov kub poob qis, nws yuav ntsws rov qab mus rau nws lub xeev qub. Cov kev hloov pauv me me zoo li tuaj yeem ua kom loj dua rau hauv cov yam tseem ceeb uas cuam tshuam rau cov txiaj ntsig ntsuas hauv cov xwm txheej ntsuas qhov tseeb.
Piv txwv li, siv cov cuab yeej ntsuas sib koom ua ke uas phim granite platform, hauv kev ntsuas qhov tseeb siab, qhov yuav tsum tau ua kom raug feem ntau ncav cuag qib micron lossis siab dua. Nws xav tias ntawm qhov kub thiab txias ntawm 20 ℃, ntau yam kev ntsuas ntawm lub platform nyob rau hauv lub xeev zoo tagnrho, thiab cov ntaub ntawv tseeb tuaj yeem tau txais los ntawm kev ntsuas qhov workpiece. Thaum qhov kub thiab txias hloov pauv, qhov xwm txheej txawv heev. Tom qab ntau cov ntaub ntawv sim thiab kev tshuaj xyuas theoretical, nyob rau hauv qhov xwm txheej ib txwm muaj, qhov kub thiab txias ib puag ncig hloov pauv ntawm 1 ℃, qhov nthuav dav lossis kev cog lus ntawm granite precision platform yog li 5-7 × 10⁻⁶ / ℃. Qhov no txhais tau tias rau lub platform granite nrog sab ntev ntawm 1 meter, sab ntev tuaj yeem hloov pauv los ntawm 5-7 microns yog tias qhov kub hloov pauv los ntawm 1 ° C. Hauv kev ntsuas qhov tseeb, qhov kev hloov pauv loj no txaus los ua rau muaj qhov yuam kev ntsuas dhau qhov ntau yam uas tau txais.
Rau kev ntsuas ua haujlwm uas xav tau los ntawm ntau qib kev raug, qhov cuam tshuam ntawm qhov kub hloov pauv kuj txawv. Hauv kev ntsuas qhov tseeb ib txwm muaj, xws li kev ntsuas qhov loj ntawm cov khoom siv kho tshuab, yog tias qhov yuam kev ntsuas tau tso cai yog nyob rau hauv ± 20 microns, raws li kev suav cov coefficient nthuav dav saum toj no, qhov kub hloov pauv yuav tsum tau tswj hwm hauv qhov ntau ntawm ± 3-4 ℃, txhawm rau tswj qhov yuam kev ntsuas los ntawm kev hloov pauv loj ntawm lub platform ntawm qib uas tau txais. Hauv cov cheeb tsam uas muaj qhov yuav tsum tau ua kom raug, xws li kev ntsuas cov txheej txheem lithography hauv kev tsim khoom semiconductor chip, qhov yuam kev raug tso cai hauv ± 1 micron, thiab qhov kub hloov pauv yuav tsum tau tswj hwm nruj me ntsis hauv ± 0.1-0.2 ° C. Thaum qhov kub hloov pauv ntau dua qhov ntsuas no, qhov thermal nthuav dav thiab kev cog lus ntawm lub platform granite yuav ua rau muaj kev hloov pauv hauv cov txiaj ntsig ntsuas, uas yuav cuam tshuam rau cov txiaj ntsig ntawm kev tsim khoom chip.
Yuav kom daws tau qhov cuam tshuam ntawm qhov kub thiab txias hloov pauv ntawm qhov ntsuas qhov tseeb ntawm granite precision platform, ntau yam kev ntsuas feem ntau raug siv rau hauv kev ua haujlwm. Piv txwv li, cov khoom siv kub siab tsis tu ncua tau teeb tsa hauv qhov chaw ntsuas kom tswj tau qhov kub thiab txias hloov pauv hauv qhov me me; Kev them nyiaj kub tau ua tiav rau cov ntaub ntawv ntsuas, thiab cov txiaj ntsig ntsuas tau kho los ntawm software algorithm raws li cov coefficient nthuav dav thermal ntawm lub platform thiab kev hloov pauv kub tiag tiag. Txawm li cas los xij, tsis hais txog kev ntsuas dab tsi, kev nkag siab meej txog qhov cuam tshuam ntawm qhov kub thiab txias hloov pauv ntawm qhov ntsuas qhov tseeb ntawm granite precision platform yog lub hauv paus ntawm kev ua kom ntseeg tau tias kev ua haujlwm ntsuas raug thiab txhim khu kev qha.
Lub sijhawm tshaj tawm: Plaub Hlis-03-2025