Nyob rau ntawm ciam teb ntawm kev tsim khoom raug thiab kev tshawb fawb txog kev tshawb fawb, qhov kev thov rau kev tswj hwm kev txav mus los ultra-precision nce ntxiv txhua hnub. Raws li cov khoom siv tseem ceeb los ua kom tiav qhov kev txav mus los linear precision siab, qhov kev ua tau zoo ntawm ultra-precision ib-axis cua floating module ncaj qha cuam tshuam rau qhov zoo ntawm cov khoom kawg thiab qhov tseeb ntawm cov txiaj ntsig kev tshawb fawb. Ntawm ntau yam cuam tshuam, daim ntawv thov ntawm granite puag muab nws qhov zoo sib xws thiab dhau los ua lub hauv paus tseem ceeb los xyuas kom meej qhov tseeb zoo heev.
Granite, tom qab ntau lab xyoo ntawm kev hloov pauv geological, cov qauv sab hauv yog qhov ntom thiab sib xws. Nws feem ntau yog tsim los ntawm quartz, feldspar thiab lwm yam minerals, cov khoom siv tshwj xeeb no muab cov khoom zoo heev rau granite. Thaum siv ua lub hauv paus ntawm ib qho axis air float ultra-precision motion module, granite ua ntej qhia tau tias muaj kev ruaj khov siab heev. Piv nrog rau cov khoom siv hlau, granite bases qhia tau tias muaj zog deformation tiv thaiv thaum muaj kev cuam tshuam sab nraud, xws li kev hloov pauv kub thiab kev co tshuab. Hauv cov txheej txheem ntawm kev tsim khoom siv hluav taws xob, qhov tseeb ntawm cov chip lithography yog qhov yuav tsum tau ua kom ncav cuag qib nanometer. Hauv khw muag khoom, kev co tsim los ntawm kev ua haujlwm ntawm cov khoom siv loj thiab kev hloov pauv me ntsis hauv qhov kub thiab txias yuav cuam tshuam rau qhov tseeb ntawm cov khoom siv lithography. Ib qho axis air floating ultra-precision motion module nrog granite base tuaj yeem ua kom zoo dua qhov kev co sab nraud thiab txo qhov vibration amplitude xa mus rau lub module txav los ntawm ntau dua 80%. Tib lub sijhawm, nws cov coefficient qis heev ntawm thermal expansion ua rau qhov loj ntawm lub hauv paus hloov me ntsis thaum qhov kub hloov pauv, xyuas kom meej tias lub tshuab cua ntab tseem tuaj yeem tswj tau qhov tseeb ntawm kev txav mus los hauv ib puag ncig nyuaj, muab qhov chaw tseeb rau kev luam theej duab, thiab txhim kho cov txiaj ntsig ntawm kev tsim khoom nti.
Tsis tas li ntawd xwb, granite muaj kev tiv thaiv kev hnav zoo. Thaum lub sijhawm ua haujlwm rov qab ntawm lub ultra-precision ib-axis air float module, txawm hais tias muaj cov roj zaj duab xis txhawb nqa ntawm lub air float slider thiab lub hauv paus, kev siv mus sij hawm ntev yuav tsim qee yam kev sib txhuam. Lub hauv paus granite, nrog nws cov yam ntxwv siab hardness, tuaj yeem tiv taus kev hnav los ntawm kev sib txhuam no thiab txuas lub neej ua haujlwm ntawm lub module txav mus los. Hauv chav kuaj kev tshawb fawb ntawm cov tsev kawm qib siab, cov khoom siv sim siv rau kev tshawb pom cov khoom me me xav tau lub ultra-precision motion module ntawm uniaxial air flotation kom khiav ruaj khov rau lub sijhawm ntev kom tau txais ntau cov ntaub ntawv sim raug. Kev tiv thaiv kev hnav siab ntawm lub hauv paus granite ua kom ntseeg tau tias qhov tseeb ntawm lub module txav mus los tseem tuaj yeem tswj tau ntawm qib siab pib tom qab siv sijhawm ntev, muab kev lees paub txhim khu kev qha rau kev ua haujlwm txuas ntxiv thiab raug ntawm kev tshawb fawb, thiab pab cov kws tshawb fawb tshawb nrhiav qhov tsis paub meej ntawm lub ntiaj teb microscopic.
Lub tshuab ua kom pom tseeb ib txoj kab uas muaj huab cua ntab nrog lub hauv paus granite zoo li lub "navigator" uas meej rau kev tsim khoom thiab kev tshawb fawb. Lub hauv paus granite nrog nws qhov ruaj khov zoo heev, tsis yooj yim hnav, rau qhov kev txav mus los siab ntawm lub tshuab ua kom pom tseeb muab kev txhawb nqa zoo, hauv kev tsim khoom semiconductor, kev tsim khoom siv kho qhov muag, kev tshawb fawb qib siab thiab ntau lwm yam kev xav tau ntawm thaj chaw, ua lub luag haujlwm tseem ceeb, txhawb kev lag luam kom muaj kev ntsuas siab dua, kev coj ua zoo dua.
Lub sijhawm tshaj tawm: Plaub Hlis-07-2025