Kev nrhiav kev ua kom raug ntawm nanometer-level hauv kev tsim khoom semiconductor thiab kev tshuaj xyuas qhov muag loj tau tso cov kev xav tau tsis tau muaj dua rau cov kab ke tswj kev txav mus los. Cov kws ua haujlwm feem ntau ntsib nrog kev xaiv tsim qauv tseem ceeb: qhov kev zoo nkauj tsis muaj kev sib txhuam ntawm cov theem huab cua lossis qhov muaj zog, kev co-damping kev ntseeg siab ntawm cov theem kho tshuab granite. Ntawm ZHHIMG Group, peb lees paub tias qhov kev daws teeb meem zoo tshaj plaws feem ntau nyob ntawm qhov kev sib tshuam ntawm cov khoom siv thiab cov kua dej dynamics.
Kev Sib Cav Sib Ceg Tseem Ceeb: Cov Theem Uas Muaj Huab Cua vs Cov Theem Granite
Yuav kom nkag siab txog qhov txawv, ib tug yuav tsum saib cov txheej txheem ntawm kev sib cuag. Cov theem granite ib txwm muaj feem ntau siv cov kabmob kho tshuab siab-xws li cov menyuam hla lossis cov pob swb-sib xyaw ncaj qha rau hauv ib qholub hauv paus graniteCov kab ke no muaj nqis rau lawv lub peev xwm thauj khoom siab thiab qhov ruaj khov tshwj xeeb. Cov khoom siv ntuj tsim ntawm granite ua kom ntseeg tau tias txhua qhov kev co ntawm lub cev muaj zog lossis ib puag ncig raug tshem tawm sai sai, ua rau lawv yog ib qho tseem ceeb hauv kev ntsuas hnyav.
Qhov sib txawv, cov theem cua bearing sawv cev rau qhov siab tshaj plaws ntawm kev du. Los ntawm kev txhawb nqa lub carriage txav mus los ntawm ib daim nyias nyias ntawm cov cua pressed - feem ntau tsuas yog ob peb microns tuab - cov theem no tshem tawm kev sib cuag lub cev. Qhov tsis muaj kev sib txhuam no txhais tau tias xoom kev sib txhuam thiab xoom hnav, tso cai rau qhov ceev tas mus li uas xav tau hauv kev siv scanning. Txawm hais tias cov cua bearing muab qhov tseeb geometric zoo dua, lawv xav tau cua huv, qhuav thiab feem ntau muaj kev cuam tshuam ntau dua rau kev thauj khoom eccentric piv rau lawv cov khoom siv kho tshuab.
Kev Tshawb Fawb Txog Hom Theem Optical rau Cov Ntawv Thov Tshwj Xeeb
Kev ua haujlwm ntawm qhov muag pom kev xav tau cov qauv txav tshwj xeeb, ua rau muaj ntau theem kho qhov muag. Kev xaiv hom zoo nyob ntawm qib kev ywj pheej xav tau thiab qhov chaw ntawm kev tshuaj xyuas.
Cov theem teeb pom kev zoo linear tej zaum yog qhov feem ntau, siv cov ntsia hlau lead rau lub zog siab lossis cov motors linear rau kev nrawm siab. Thaum xav tau qhov ncaj ntawm nanometer dhau kev mus ncig ntev, cov theem teeb pom kev zoo uas muaj cua feem ntau yog ua ke nrog laser interferometers rau kev tawm tswv yim.
Cov theem teeb pom kev zoo tig tau yog qhov tseem ceeb rau kev ntsuas raws li lub kaum sab xis, xws li goniometry lossis kuaj xyuas qhov chaw nruab nrab ntawm cov khoom siv lens. Cov theem teeb pom kev zoo tig tau los ntawm huab cua yog qhov zoo tshaj plaws ntawm no, vim tias lawv qhia txog qhov ze li ntawm xoom axial thiab radial runout, kom ntseeg tau tias qhov axis teeb pom kev zoo tseem sib phim zoo thaum lub sijhawm tig.
Cov txheej txheem ntau-axis, xws li XY lossis XYZ stacks, feem ntau siv rau hauv kev tshuaj xyuas wafer tsis siv neeg. Hauv cov kev teeb tsa no, kev xaiv ntawm lub hauv paus granite tsis tuaj yeem sib tham tau. Lub granite muab qhov hnyav thiab thermal inertia tsim nyog los tiv thaiv kev txav ntawm ib qho axis los ntawm kev cuam tshuam qhov tseeb ntawm lwm qhov.
Kev sib koom ua ke ntawm Granite thiab Air Bearings
Nws yog ib qho kev nkag siab yuam kev uas cov theem cua thiabcov theem graniteyog sib txawv. Qhov tseeb, cov txheej txheem txav mus los siab tshaj plaws yog kev sib xyaw ntawm ob qho. Cov theem cua siab kawg yuav luag tsuas yog siv granite ua qhov chaw coj. Qhov laj thawj yog nyob rau hauv granite lub peev xwm kom raug lapped rau sub-micron flatness hla thaj chaw loj - ib qho kev ua tiav nyuaj rau ua tiav nrog txhuas lossis hlau.
Vim tias cov kabmob cua "nruab nrab" qhov tsis sib xws ntawm qhov chaw ntawm qhov kev taw qhia, qhov tiaj tiaj ntawm lub nqaj granite ZHHIMG ua rau cov zaj duab xis cua nyob ruaj khov thoob plaws hauv kev mus ncig. Qhov kev sib koom ua ke no ua rau muaj cov txheej txheem txav uas muab qhov zoo tshaj plaws ntawm ob lub ntiaj teb: kev txav mus los ntawm huab cua tsis muaj kev sib txhuam thiab kev ruaj khov ntawm pob zeb granite.
Kev Txij Nkawm thiab Kev Xav Txog Ib puag ncig
Kev siv cov txheej txheem no yuav tsum tau tswj hwm ib puag ncig nruj heev. Cov theem granite tshuab muaj zog heev tab sis xav tau kev lubrication thiab kev ntxuav cov kab bearing kom tsis txhob muaj cov khib nyiab sib sau ua ke. Cov txheej txheem cua bearing, thaum tsis tas yuav saib xyuas hauv cov nqe lus ntawm kev lubrication, yog nyob ntawm qhov zoo ntawm cov khoom siv pneumatic. Txhua yam dej noo lossis roj hauv cov kab cua tuaj yeem ua rau "orifice plugging," uas tuaj yeem ua rau cov zaj duab xis cua thiab ua rau muaj kev sib cuag ntawm qhov chaw loj heev.
Tsis tas li ntawd xwb, kev tswj cua sov yog qhov tseem ceeb heev. Ob lub tshuab tau txais txiaj ntsig los ntawm qhov kub siab ntawm granite, uas ua haujlwm ua lub dab dej kub rau cov motors linear. Txawm li cas los xij, hauv cov ntawv thov nanometer-scale, txawm tias qhov kev hloov pauv ib-degree Celsius tuaj yeem ua rau muaj kev nthuav dav tseem ceeb. Cov chaw kuaj mob feem ntau siv cov ntaub thaiv granite tshwj xeeb los tswj kom muaj huab cua ruaj khov nyob ib puag ncig theem.
Xaus Lus: Xaiv Lub Hauv Paus Zoo Rau Koj Txoj Kev Tsim Kho Tshiab
Txawm hais tias koj daim ntawv thov xav tau lub peev xwm thauj khoom siab ntawm lub tshuab granite theem lossis qhov kev tswj hwm ceev ceev ntawm lub tshuab cua, lub hauv paus tseem yog qhov tseem ceeb tshaj plaws. Ntawm ZHHIMG, peb tsis tsuas yog muab cov theem; peb muab qhov tseeb geological thiab mechanical xav tau rau koj cov haujlwm loj tshaj plaws. Raws li cov lag luam semiconductor thiab optical txav mus rau qhov kev kam rau siab dua, peb txoj kev cog lus rau cov khoom siv zoo tshaj plaws thiab kev tsim khoom meej meej ua kom koj lub kaw lus tswj kev txav mus los yuav tsis yog qhov txwv hauv koj txoj kev tshawb fawb lossis kev tsim khoom.
Lub sijhawm tshaj tawm: Lub Ib Hlis-22-2026