Raws li kev lag luam semiconductor nrhiav kev ua haujlwm sub-2nm process nodes, qhov sib txawv ntawm qhov yuam kev ntawm cov khoom siv tau ploj mus. Hauv qhov chaw muaj kev pheej hmoo siab no, qhov ruaj khov ntawm chav ua haujlwm tsis yog qhov kev txhawj xeeb thib ob lawm; nws yog qhov tseem ceeb rau kev tsim khoom. Ntawm ZHHIMG, peb tab tom pom qhov kev hloov pauv tseem ceeb hauv kev uas cov OEMs thoob ntiaj teb mus cuag kev ncaj ncees ntawm cov khoom siv semiconductor.
Lub Physics ntawm Silence: Cov Txuj Ci Kev Tiv Thaiv Kev Cob Qhia Siab Tshaj Plaws
Hauv kev tsim cov wafer niaj hnub no, kev co uas ib zaug tau suav hais tias yog "suab nrov tom qab" tam sim no yog qhov puas tsuaj loj heev. Txawm hais tias nws yog qhov me me-oscillations los ntawm lub chaw HVAC system lossis qhov inertia sab hauv ntawm theem scanning ceev ceev, lub zog tsis tswj hwm ncaj qha txhais tau tias muaj qhov yuam kev overlay thiab cov qauv tsis meej.
Cov txheej txheem tiv thaiv kev co tam sim no hauv kev tsim khoom semiconductor tau hloov zuj zus mus rau hauv ntau txheej txheem. Txawm hais tias kev tiv thaiv kev co passive - siv cov khoom siv loj xws li cov khoom siv casting lossis precision granite - tseem yog lub hauv paus, peb pom muaj kev nce ntxiv hauv kev koom ua ke ntawm kev tiv thaiv kev co.
Cov txheej txheem nquag siv cov piezoelectric actuators thiab cov sensors tiag tiag los "tso tseg" kev co los ntawm kev tsim cov zaus rov qab. Txawm li cas los xij, qhov ua tau zoo ntawm cov txheej txheem nquag yog txwv los ntawm cov khoom siv hauv paus qhov piv txwv damping. Qhov no yog qhov uas ZHHIMG txoj kev txawj ntse hauv cov ntaub ntawv tsim kho siab-damping dhau los ua qhov tseem ceeb. Los ntawm kev sib txuas cov khoom siv hluav taws xob nquag nrog cov granite inert ntuj lossis cov hauv paus sib xyaw, peb muab "Thaj Chaw Nyob ntsiag to" qhov twg nano-positioning tuaj yeem tshwm sim yam tsis muaj kev cuam tshuam.
Kev Sawv Ntxov ntawm Kev Txav Tsis Muaj Kev Sib Txhuam: Kev Siv Tshuab Huab Cua
Qhov kev thov rau kev siv zog ntau dua tau thawb cov kabmob kho tshuab ib txwm mus rau lawv cov kev txwv. Kev sib txhuam ua rau muaj cua sov, thiab cua sov ua rau muaj kev nthuav dav thermal - tus yeeb ncuab ntawm kev ua haujlwm raug. Qhov no tau ua rau muaj kev saws txais dav dav ntawmKev siv tshuab cua rau cov theem ua kom raug.
Cov kabmob cua txhawb nqa lub nra hnyav rau ntawm ib daim nyias nyias ntawm cov cua uas muaj siab, feem ntau tsuas yog ob peb microns tuab xwb. Vim tias tsis muaj kev sib cuag lub cev, tsis muaj kev sib txhuam zoo li qub (stiction). Qhov no tso cai rau:
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Kev Txav Tsis Muaj Hysteresis: Xyuas kom meej tias theem rov qab mus rau tib qho nanometer coordinate txhua lub sijhawm.
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Kev Ceev Ceev Tsis Tu Ncua: Tseem ceeb rau kev siv scanning xws li kev tshuaj xyuas E-beam qhov twg txawm tias qhov "cogging" me me ntawm cov kabmob kho tshuab yuav ua rau daim duab puas tsuaj.
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Lub Neej Ntev Tshaj Plaws: Vim tias tsis muaj qhov kov, tsis muaj kev hnav thiab tsis muaj cov khoom me me, ua rau lawv zoo tagnrho rau Chav Kawm 1 chav huv.
Ntawm ZHHIMG, peb tsim cov granite surfaces uas tiaj tiaj heev uas ua haujlwm ua cov kev taw qhia rau cov air bearings no. Yuav kom ua haujlwm tau zoo, cov surfaces no yuav tsum tau lapped kom tiaj tiaj ntsuas hauv cov feem ntawm lub teeb wavelength.
Cov Qauv Hauv Cov Khoom Siv Semiconductor Capital: 2026 thiab Dhau Mus
Thaum peb mus txog xyoo 2026, covCov qauv hauv cov khoom siv semiconductor peevtau piav qhia los ntawm "Peb Lub Ncej": Modularization, Sustainability, thiab Thermal Control.
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Tsim Lub Platform Modular: Cov OEMs tab tom nrhiav cov modules "plug-and-play". Es tsis txhob tsim lub hauv paus tshiab rau txhua lub cuab yeej, lawv siv cov qauv ZHHIMG precision foundations uas tuaj yeem hloov kho rau lithography, metrology, lossis etching.
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Kev Tswj Xyuas Kub: Raws li EUV (Extreme Ultraviolet) lub teeb ci tsim kom muaj cua sov loj heev, lub hauv paus tshuab yuav tsum ua haujlwm ua lub dab dej kub loj heev. Peb tab tom koom ua ke cov kav dej txias sib xyaw ncaj qha rau hauv peb cov khoom siv hauv av thiab granite kom tswj tau qhov delta ntawm $ <0.01^\circ\text{C}$.
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Kev Sib Haum Xeeb Hauv Lub Tshuab Nqus Tsev: Thaum muaj ntau cov txheej txheem txav mus rau hauv qhov chaw muaj cua tshuab ntau, cov ntaub ntawv siv yuav tsum tsis muaj pa tawm. Peb cov txheej txheem granite thiab ceramic tshwj xeeb ua kom ntseeg tau tias qhov kev ua haujlwm ntawm lub tshuab nqus tsev yeej tsis raug cuam tshuam los ntawm lub hauv paus qauv.
Kev Koom Tes Ua Lag Luam nrog ZHHIMG
ZHHIMG tsis yog tsuas yog lub chaw tsim khoom siv xwb; peb yog tus khub koom tes zoo hauv kev tswj kev txav mus los. Peb lub chaw hauv Suav teb ua haujlwm sib koom tes nrog cov pab pawg engineering hauv Silicon Valley thiab Eindhoven los daws cov teeb meem kev ruaj khov nyuaj tshaj plaws hauv kev lag luam.
Los ntawm kev siv peb cov txheej txheem lapping tshwj xeeb thiab peb txoj kev nkag siab tob txogcov txheej txheem kev co damping, peb pab kom peb cov neeg siv khoom thawb cov ciam teb ntawm Moore's Law. Txawm hais tias koj tab tom tsim cov cuab yeej ALD (Atomic Layer Deposition) tiam tom ntej lossis lub tshuab ntsuas wafer ceev ceev, lub hauv paus pib nrog ZHHIMG.
Xaus lus
Kev hloov zuj zus ntawm kev tsim khoom siv semiconductor yog kev sib tw tawm tsam txoj cai ntawm physics. Thaum kev lag luam txav mus rau xyoo 2026, qhov kev tsom mus rau qhov tseeb ntawm huab cua thiab kev cuam tshuam siab heev yuav tsuas yog nce ntxiv. Kev nyob ua ntej ntawm cov qauv no xav tau lub hauv paus - ob qho tib si tiag tiag thiab piv txwv - ua los ntawm kev txawj ntse thiab kev tsim kho tshiab.
Lub sijhawm tshaj tawm: Lub Ib Hlis-26-2026