Hauv cov teb xws li kev tsim khoom siv semiconductor thiab cov cuab yeej ntsuas qhov tseeb, qhov tseeb ntawm cov platform granite precision ncaj qha txiav txim siab qhov ua haujlwm zoo ntawm cov khoom siv. Txhawm rau kom ntseeg tau tias qhov tseeb ntawm lub platform ua tau raws li cov qauv, yuav tsum tau ua los ntawm ob qho: kev tshawb pom cov cim tseem ceeb thiab kev ua raws li cov qauv.
Kev tshawb pom qhov qhia tseem ceeb: Kev tswj hwm ntau qhov tseeb
Kev kuaj pom qhov tiaj tiaj: Txheeb xyuas qhov " tiaj tiaj" ntawm lub dav hlau siv
Qhov tiaj tiaj yog qhov qhia tseem ceeb ntawm cov platform granite precision, thiab nws feem ntau ntsuas los ntawm laser interferometers lossis electronic levels. Lub laser interferometer tuaj yeem ntsuas qhov me me ntawm qhov chaw platform los ntawm kev tso tawm lub teeb laser thiab siv lub hauv paus ntsiab lus ntawm lub teeb cuam tshuam, nrog qhov tseeb ncav cuag qib sub-micron. Lub theem hluav taws xob ntsuas los ntawm kev txav ntau zaus thiab kos daim ntawv qhia contour peb-seem ntawm qhov chaw platform kom pom seb puas muaj qhov protrusions hauv zos lossis depressions. Piv txwv li, cov platform granite siv hauv cov tshuab semiconductor photolithography yuav tsum muaj qhov tiaj tiaj ntawm ± 0.5μm / m, txhais tau tias qhov siab sib txawv hauv 1-meter ntev yuav tsum tsis pub tshaj ib nrab ntawm micrometer. Tsuas yog los ntawm cov khoom siv kuaj pom tseeb siab tuaj yeem ua kom tus qauv nruj no tau lees paub.
2. Kev kuaj pom qhov ncaj: Xyuas kom meej tias "qhov ncaj" ntawm kev txav mus los
Rau cov platform uas nqa cov khoom txav mus los uas raug, qhov ncaj yog qhov tseem ceeb heev. Cov txheej txheem siv rau kev ntes yog txoj kev xaim lossis lub laser collimator. Txoj kev xaim cuam tshuam nrog kev dai cov hlau hlau siab thiab sib piv qhov sib txawv ntawm qhov chaw ntawm lub platform thiab cov hlau hlau kom paub qhov ncaj. Lub laser collimator siv cov yam ntxwv linear propagation ntawm laser los ntes qhov yuam kev linear ntawm qhov chaw teeb tsa ntawm lub platform guide rail. Yog tias qhov ncaj tsis ua raws li tus qauv, nws yuav ua rau cov khoom siv hloov pauv thaum lub sijhawm txav mus los, cuam tshuam rau kev ua lossis kev ntsuas qhov tseeb.
3. Kev kuaj pom qhov roughness ntawm qhov chaw: Xyuas kom meej tias "fineness" ntawm kev sib cuag
Qhov roughness ntawm lub platform cuam tshuam rau qhov haum ntawm kev teeb tsa khoom. Feem ntau, siv lub stylus roughness meter lossis lub optical microscope los ntes. Lub stylus hom ntsuas qhov siab hloov pauv ntawm cov qauv microscopic los ntawm kev sib cuag nrog lub platform nto nrog lub probe me me. Optical microscopes tuaj yeem saib ncaj qha cov qauv ntawm qhov chaw. Hauv cov ntawv thov siab, qhov roughness ntawm qhov chaw ntawm granite platforms yuav tsum tau tswj ntawm Ra≤0.05μm, uas yog sib npaug rau qhov cuam tshuam zoo li daim iav, kom ntseeg tau tias cov khoom precision haum nruj thaum lub sijhawm teeb tsa thiab zam kev co lossis kev hloov chaw los ntawm qhov sib txawv.
Cov qauv kev ua kom raug raws li: cov qauv thoob ntiaj teb thiab kev tswj hwm sab hauv ntawm lub tuam txhab
Tam sim no, thoob ntiaj teb, ISO 25178 thiab GB / T 24632 cov qauv feem ntau siv ua lub hauv paus rau kev txiav txim siab qhov tseeb ntawm cov platform granite, thiab muaj cov kev faib tawm meej rau cov cim xws li qhov tiaj tus thiab ncaj. Tsis tas li ntawd, cov tuam txhab tsim khoom siab feem ntau teeb tsa cov qauv tswj hwm sab hauv nruj dua. Piv txwv li, qhov yuav tsum tau ua kom tiaj tus rau lub platform granite ntawm lub tshuab photolithography yog 30% siab dua li tus qauv thoob ntiaj teb. Thaum ua qhov kev sim, cov ntaub ntawv ntsuas yuav tsum tau piv nrog cov qauv sib xws. Tsuas yog cov platforms uas ua raws li cov qauv tag nrho tuaj yeem ua kom muaj kev ua tau zoo ruaj khov hauv cov khoom siv precision.
Kev tshuaj xyuas qhov tseeb ntawm cov granite precision platforms yog ib qho project systematic. Tsuas yog los ntawm kev sim cov cim qhia tseem ceeb xws li flatness, straightness, thiab surface roughness, thiab ua raws li cov qauv thoob ntiaj teb thiab cov qauv lag luam, tuaj yeem lav qhov tseeb siab thiab kev ntseeg siab ntawm lub platform, tso lub hauv paus ruaj khov rau cov teb tsim khoom siab xws li semiconductors thiab precision instruments.
Lub sijhawm tshaj tawm: Tsib Hlis-21-2025