Yuav ua li cas sib sau ua ke, sim thiab calibrate Granite tshuab puag rau Wafer Processing Equipment khoom

Cov hauv paus tshuab granite siv ntau heev hauv cov khoom siv ua wafer vim lawv cov khoom zoo xws li kev ruaj khov siab, kev ruaj khov, thiab kev ua kom raug. Kev sib sau ua ke, kev sim, thiab kev kho kom raug lub hauv paus tshuab granite yog ib qho txheej txheem tseem ceeb uas xav tau kev saib xyuas kom meej, kev ua kom raug, thiab kev ua kom raug. Hauv tsab xov xwm no, peb yuav tham txog cov txheej txheem ib kauj ruam zuj zus ntawm kev sib sau ua ke, kev sim, thiab kev kho kom raug lub hauv paus tshuab granite rau cov khoom siv ua wafer.

Sib dhos ua ke

Kauj ruam thawj zaug yog npaj lub phaj granite, lub hauv paus, thiab kem rau kev sib dhos. Xyuas kom tseeb tias tag nrho cov nto huv si, qhuav, thiab tsis muaj cov khib nyiab, hmoov av, lossis roj. Ntxig cov studs leveling rau hauv lub hauv paus thiab muab lub phaj nto rau saum nws. Kho cov studs leveling kom lub phaj nto yog kab rov tav thiab tiaj tus. Xyuas kom tseeb tias lub phaj nto yog sib npaug nrog lub hauv paus thiab kem.

Tom qab ntawd, muab lub kem tso rau ntawm lub hauv paus thiab siv cov ntsia hlau los khi kom ruaj. Siv lub cuab yeej ntswj kom nruj cov ntsia hlau kom raws li tus nqi ntswj uas lub chaw tsim khoom pom zoo. Xyuas kom lub kem tiaj thiab kho cov ntsia hlau kom tiaj yog tias tsim nyog.

Thaum kawg, muab lub spindle sib dhos rau saum lub kem. Siv lub wrench torque los ntswj cov bolts kom nruj raws li tus nqi torque uas lub chaw tsim khoom pom zoo. Xyuas seb lub spindle sib dhos puas tiaj thiab kho cov leveling studs yog tias tsim nyog.

Kev kuaj xyuas

Tom qab sib sau ua ke lub hauv paus tshuab, kauj ruam tom ntej yog sim nws txoj haujlwm thiab qhov tseeb. Txuas lub hwj chim thiab qhib lub tshuab. Xyuas kom tseeb tias tag nrho cov khoom xws li lub cev muaj zog, iav, siv, thiab cov kabmob ua haujlwm zoo thiab tsis muaj qhov tsis zoo lossis suab nrov txawv txawv.

Yuav kom paub tseeb tias lub tshuab ua haujlwm tau zoo, siv lub ntsuas qhov tseeb los ntsuas qhov khiav tawm ntawm lub spindle. Muab lub ntsuas qhov ntsuas tso rau ntawm lub phaj saum npoo, thiab tig lub spindle. Qhov khiav tawm ntau tshaj plaws uas tso cai yuav tsum tsawg dua 0.002 hli. Yog tias qhov khiav tawm ntau dua li qhov txwv uas tso cai, kho cov ntsia hlau qib thiab xyuas dua.

Kev kho kom raug

Kev kho kom raug yog kauj ruam tseem ceeb hauv kev ua kom lub hauv paus ntawm lub tshuab muaj qhov tseeb thiab meej. Cov txheej txheem kho kom raug suav nrog kev sim thiab kho cov yam ntxwv ntawm lub tshuab, xws li qhov ceev, qhov chaw, thiab qhov tseeb, kom ntseeg tau tias lub tshuab ua tau raws li cov lus qhia ntawm lub chaw tsim khoom.

Yuav kom calibrate lub tshuab, koj yuav tsum tau ib lub cuab yeej calibration, uas muaj xws li laser interferometer, laser tracker, lossis ballbar. Cov cuab yeej no ntsuas lub tshuab txoj kev txav mus los, qhov chaw, thiab kev sib dhos nrog qhov tseeb siab.

Pib los ntawm kev ntsuas lub tshuab cov kab ncaj thiab cov kab ncaj. Siv cov cuab yeej calibration los ntsuas lub tshuab txoj kev txav mus los thiab qhov chaw hla qhov deb lossis lub kaum sab xis uas tau teev tseg. Piv cov nqi ntsuas nrog cov lus qhia ntawm lub chaw tsim khoom. Yog tias muaj qhov sib txawv, kho cov kev teeb tsa ntawm lub tshuab, xws li cov motors, iav, thiab cov tsav, kom coj cov nqi ntsuas hauv cov kev txwv uas tso cai.

Tom ntej no, sim lub tshuab txoj kev sib hloov ncig. Siv cov cuab yeej calibration los tsim ib txoj kev ncig thiab ntsuas lub tshuab txoj kev txav thiab qhov chaw. Dua li no, piv cov nqi ntsuas nrog cov lus qhia ntawm lub chaw tsim khoom thiab kho cov kev teeb tsa yog tias tsim nyog.

Thaum kawg, sim seb lub tshuab puas rov ua dua tau. Ntsuas qhov chaw ntawm lub tshuab ntawm ntau qhov chaw sib txawv dhau lub sijhawm teev tseg. Muab cov nqi ntsuas piv rau thiab xyuas seb puas muaj qhov sib txawv. Yog tias muaj qhov sib txawv, kho cov kev teeb tsa ntawm lub tshuab thiab rov ua qhov kev sim dua.

Xaus lus

Kev sib sau ua ke, sim, thiab kho lub hauv paus tshuab granite rau cov khoom siv ua wafer yog ib qho txheej txheem tseem ceeb uas xav tau kev ua siab ntev, kev saib xyuas kom meej, thiab kev ua kom raug. Los ntawm kev ua raws li cov kauj ruam no, koj tuaj yeem ua kom ntseeg tau tias lub tshuab ua tau raws li cov lus qhia thiab kev ua haujlwm ntawm cov chaw tsim khoom nrog qhov tseeb, ruaj khov, thiab kev ua kom raug.

kev txiav txim siab granite03


Lub sijhawm tshaj tawm: Lub Kaum Ob Hlis-28-2023