Kev tsim cov khoom siv ua vaj tse uas muaj qhov tseeb heev xav tau ntau dua li cov tshuab CNC siab heev. Yog tsis muaj kev cais tawm ntawm kev co ntawm huab cua thiab kev co ntawm kev lag luam, kev ua tiav qhov kev kam rau siab ntawm cov duab geometric hauv qab micron tsis yooj yim sua. Txhua lub tsheb hla dhau, lub crane saum toj ze, thiab lub tshuab cua txias ua rau muaj cov nthwv dej me me uas tuaj yeem ua rau puas tsuaj rau kev sib tsoo thiab kev ntsuas ntawm cov granite puag, cov kabmob cua, thiab cov khoom siv ceramic.
Yuav kom txo qhov no, cov chaw ua haujlwm hauv kev lag luam yuav tsum kho lub plag tsev tsim khoom ua ib feem ntawm lub kaw lus ntsuas.
Lub Physics ntawm Foundation Rigidization
Cov plag tsev ua los ntawm cov pob zeb ua kev lag luam feem ntau yog tuab li ntawm 150 hli txog 300 hli. Txawm hais tias txaus rau kev thauj khoom thiab kev sib dhos hnyav, lawv tsis txaus rau kev tsim khoom hauv qib nanometer. Hauv qab cov khoom thauj dynamic, cov plag tsev ua haujlwm zoo li lub diaphragm, xa cov kev co hauv pem teb qis mus rau hauv cov khoom ua haujlwm.
Yuav kom tshem tawm qhov yuam kev no, cov chaw tsim khoom siab heev siv cov tswv yim ntau txheej txheem:
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Lub Hauv Paus Qib Tub Rog Uas Tuab Heev: Kev nchuav cov pob zeb ua kom ruaj khov mus rau qhov tob tsawg kawg nkaus 1000 hli muab ib qho thaiv inertial loj heev. Qhov hnyav no ua rau cov nthwv dej qis qis (1 - 10 Hz) ua ntej lawv mus txog cov tshuab.
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Cov Qhov Dej Ruaj Khoov Ib Ncigs: Kev txiav cov qhov dej tshwj xeeb uas cais kev co nyob ib puag ncig thaj chaw tsim khoom—nrog rau qhov ntev meej xws li 500 hli dav thiab 2000 hli tob—ua rau thaj chaw tsim khoom raug cai sib cais ntawm lwm qhov chaw. Cov qhov dej no puv nrog cov khoom siv elastomeric tshwj xeeb uas nqus tau lub zog los txo cov suab nrov sab nraud.
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Kev Ua Kom Suab Nrov thiab Kev Ua Kom Suab Nrov: Cov cranes saum taub hau thiab cov hoists gantry yog qhov tseem ceeb ntawm lub suab nrov qis thiab kev co ntawm cov qauv. Kev siv cov txheej txheem taug kev saum taub hau uas muaj cov khoom siv rwb thaiv suab nrov, uas khiav ntsiag to tiv thaiv cov nthwv dej siab ntawm lub suab kom tsis txhob ua rau cov theem hluav taws xob rhiab heev thiab cov laser interferometers tsis ruaj khov thaum lub sijhawm ntsuas.
Kev Sib Txuas Lus Ib puag ncig: Kub thiab Av noo
Kev nthuav dav ntawm thermal yog qhov ua rau muaj qhov yuam kev geometric loj tshaj plaws hauvkev txiav txim siab granitethiab kev tsim cov khoom siv av nplaum. Kev hloov pauv kub ntawm tsuas yog 0.5 ℃ tuaj yeem ua rau lub txaj granite 5000 hli khoov dhau qhov kev kam rau siab.
Yuav kom ua tiav qhov tseeb sib xws, qhov chaw ua haujlwm thiab sib dhos yuav tsum ua raws li cov kev cai nruj:
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Kev Tiv Thaiv Ib Puag Ncig Tag Nrho: Kev tsim khoom yuav tsum tshwm sim hauv cov chav loj, kaw (piv txwv li, 10,000㎡) qhov twg qhov kub thiab txias raug kaw ntawm 20 ℃ ± 0.2 ℃ thiab qhov av noo raug tswj hwm nruj.
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Kev Tswj Xyuas Qhov Ceev ntawm Huab Cua: Cov tshuab cua laminar yuav tsum tau tsim los kom tsis txhob muaj cua ntsawj ncaj qha, ceev heev rau ntawm cov chaw granite, tiv thaiv kev hloov pauv kub hauv zos.
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Kev Sim Ua Chav Huv Si Semiconductor: Kev sib dhos zaum kawg ntawm ntau-axis granite gantries, linear motor stages, thiab ultra-precision air bearings xav tau cov chaw tshwj xeeb, tsis muaj plua plav uas ua raws li tus neeg siv kawg lub semiconductor fab. Qhov no ua kom ntseeg tau tias tsis muaj cov khoom me me cuam tshuam rau cov qhov sib txawv ntawm huab cua, uas feem ntau ntsuas ntawm 5μm thiab 15μm.
Kev Txheeb Xyuas
Kev tsim khoom uas muaj qhov tseeb heev tsis tuaj yeem muaj nyob rau hauv ib puag ncig kev lag luam ib txwm muaj. Kev ruaj khov ntawm lub hauv paus Hoobkas, kev sib cais ntawm cov qauv ntawm lub hauv paus, thiab kev tswj hwm tag nrho ntawm cov thermodynamics hauv chav huv yog lub hauv paus ntawm kev muaj peev xwm ntsuas. Kev nqis peev rau hauv cov hauv paus loj heev thiab kev sib cais ntawm qhov chaw yog tib txoj kev uas tau ua pov thawj los xyuas kom meej tias kev tsim khoom hauv sub-micron tseem ruaj khov, rov ua dua, thiab taug qab tau.
Lub sijhawm tshaj tawm: Lub Rau Hli-15-2026