Hauv lub ntiaj teb kev tsim khoom semiconductor, kev sim tsis ua puas tsuaj ntawm cov wafers yog qhov txuas tseem ceeb los xyuas kom meej qhov zoo ntawm cov chips. Lub hauv paus granite uas zoo li tsis tseem ceeb yog qhov tseeb "tus phab ej tsis tau paub" uas txiav txim siab qhov tseeb ntawm kev kuaj pom. Nws cuam tshuam li cas rau cov txiaj ntsig ntawm kev xeem? Tsab xov xwm no yuav ua qhov kev tshuaj xyuas tob tob los ntawm qhov ntev xws li cov khoom siv thiab kev tsim qauv.
1. Lub Hauv Paus Ruaj Khoov: Cov txiaj ntsig ntuj ntawm granite tso lub hauv paus ruaj khov rau kev ua kom raug
1. Kev ua tau zoo heev ntawm av qeeg
Thaum lub sijhawm ua haujlwm ntawm cov khoom siv kuaj wafer uas tsis ua rau puas tsuaj, kev tig ntawm lub cev muaj zog thiab kev txav ntawm cov khoom siv kho tshuab yuav tsim kev co. Yog tias cov kev co no tsis raug tswj hwm zoo, lawv yuav cuam tshuam loj heev rau qhov tseeb ntawm kev kuaj. Sab hauv ntawm granite yog sib xyaw nrog cov pob zeb siv lead ua xws li quartz thiab feldspar. Nws cov qauv tshwj xeeb muab nws nrog lub peev xwm nqus tau kev co ntuj, muaj peev xwm nqus tau ntau dua 90% ntawm lub zog co ntawm cov khoom siv. Cov ntaub ntawv ntsuas tiag tiag ntawm ib lub tuam txhab tsim khoom semiconductor qhia tau tias tom qab siv lub hauv paus granite, qhov loj ntawm kev co ntawm cov khoom siv kuaj tau raug txo los ntawm 12μm mus rau 2μm, zoo zam kev hloov pauv ntawm lub teeb liab kuaj los ntawm kev co.
2. Cov coefficient qis heev ntawm kev nthuav dav thermal
Thaum lub sijhawm kuaj pom, cov yam xws li cov khoom siv cua sov thiab kev hloov pauv ntawm qhov kub thiab txias ib puag ncig yuav cuam tshuam rau kev ruaj khov ntawm lub hauv paus tshuab. Cov khoom siv ib txwm nthuav dav heev thaum cua sov, tab sis qhov coefficient ntawm thermal expansion ntawm granite tsuas yog 1/5 ntawm cov hlau. Txawm tias qhov kub thiab txias ib puag ncig hloov pauv los ntawm 10 ℃, nws qhov deformation tuaj yeem tsis quav ntsej. Qhov no ua rau lub hauv paus granite muab lub platform ruaj khov rau cov khoom siv tshuaj xyuas, xyuas kom meej tias qhov chaw sib piv ntawm qhov kev tshuaj xyuas thiab lub wafer tseem raug txhua lub sijhawm thiab zam kev ua yuam kev tshuaj xyuas los ntawm thermal deformation.
Qhov thib ob, kev tsim qauv meej: Kev txhim kho cov qauv ntxiv ua rau kev ntseeg tau ntawm kev kuaj pom zoo dua
Kev ua tiav siab thiab kev lav phib xaub
Lub hauv paus granite zoo yog ua los ntawm kev siv tshuab CNC txuas tsib-axis siab heev, nrog qhov tiaj tiaj ntawm ± 0.5μm / m, muab qhov siv rau kev teeb tsa ultra-flat rau cov khoom siv tshuaj xyuas. Hauv kev tshuaj xyuas wafer, qhov ntsug thiab qhov sib npaug ntawm cov cuab yeej tshuaj xyuas yog qhov tseem ceeb rau cov txiaj ntsig tshuaj xyuas. Lub hauv paus granite siab-precision tuaj yeem ua kom ntseeg tau tias qhov chaw ntawm cov cuab yeej tshuaj xyuas raug, ua rau cov ntaub ntawv tshuaj xyuas raug dua thiab txhim khu kev qha.
2. Kev hloov kho raws li qhov xav tau
Cov hauv paus tshuab granite tuaj yeem hloov kho rau ntau yam khoom siv kuaj tsis puas tsuaj thiab cov txheej txheem xav tau. Piv txwv li, kom ua tau raws li qhov xav tau ntawm cov khoom siv tshuaj xyuas qhov muag rau kev cuam tshuam lub teeb, qhov chaw ntawm lub hauv paus tshuab tuaj yeem kho tshwj xeeb; Txhawm rau kom ua tau raws li qhov xav tau ntawm kev teeb tsa ntawm cov khoom siv kuaj ultrasonic, lub hauv paus tuaj yeem ua ntej nrog cov qhov teeb tsa meej thiab cov tais cable, ua rau kev teeb tsa sai thiab raug ntawm cov khoom siv thiab txo qhov kev sib txawv ntawm kev kuaj pom los ntawm qhov yuam kev teeb tsa.
Iii. Kev ruaj khov mus sij hawm ntev: Txo qhov kev poob ntawm qhov tseeb uas tshwm sim los ntawm kev saib xyuas cov khoom siv
Granite muaj qhov nyuaj siab thiab muaj zog tiv taus kev hnav, nrog rau Mohs hardness ntawm 6 txog 7, uas yog peb npaug ntawm qhov tsis kam hnav ntawm cov hlau ib txwm. Thaum lub sijhawm tshuaj xyuas ntev, qhov chaw ntawm lub hauv paus tshuab tsis yooj yim hnav thiab tuaj yeem tswj tau qhov tseeb zoo. Qhov sib txawv, cov hauv paus ua los ntawm lwm cov ntaub ntawv yuav ua rau muaj kev hloov pauv hauv qhov kev siv ntawm cov khoom siv vim yog kev hnav thiab tsim kua muag, yog li cuam tshuam rau qhov tseeb ntawm kev kuaj pom thiab xav tau kev ntsuas thiab kev saib xyuas ntau zaus. Lub neej ua haujlwm ntev thiab kev ruaj khov siab ntawm lub hauv paus granite zoo txo qhov zaus ntawm kev saib xyuas cov khoom siv thiab txo qhov kev pheej hmoo ntawm kev poob qhov tseeb uas yuav tshwm sim thaum lub sijhawm saib xyuas.
Txij li kev tiv taus kev co, kev tiv taus cua sov mus rau kev tsim qauv meej, txhua yam ntawm lub hauv paus granite yog tiv thaiv qhov tseeb ntawm kev sim tsis ua puas tsuaj ntawm cov wafers. Nyob rau hauv lub caij nyoog tsim khoom semiconductor niaj hnub no uas nrhiav kev ua kom raug qhov kawg, kev xaiv lub hauv paus granite zoo zoo li ntxiv ib txheej kev pov hwm rau qhov tseeb thiab kev ntseeg siab ntawm cov txiaj ntsig sim.
Lub sijhawm tshaj tawm: Lub Rau Hli-18-2025