Cov khoom siv granite yog siv dav hauv kev tsim khoom precision, qhov tiaj tiaj ua qhov ntsuas tseem ceeb, ncaj qha cuam tshuam rau nws cov kev ua tau zoo thiab cov khoom zoo. Cov hauv qab no yog cov lus qhia ntxaws ntxaws txog txoj kev, cov khoom siv thiab cov txheej txheem ntawm kev ntes qhov tiaj tiaj ntawm cov khoom granite.
I. Cov txheej txheem nrhiav pom
1. Txoj kev cuam tshuam ntawm cov siv lead ua tiaj tiaj: tsim nyog rau kev kuaj pom qhov tiaj tiaj ntawm cov khoom siv granite, xws li lub hauv paus ntsuas qhov muag, lub platform ntsuas qhov tseeb, thiab lwm yam. Cov siv lead ua tiaj tiaj (cov iav kho qhov muag uas muaj qhov tiaj tiaj siab heev) tau txuas nrog cov khoom siv granite kom kuaj xyuas ntawm lub dav hlau, siv lub hauv paus ntsiab lus ntawm kev cuam tshuam nthwv dej, thaum lub teeb hla dhau cov siv lead ua tiaj tiaj thiab qhov chaw ntawm cov khoom siv granite los tsim cov kab cuam tshuam. Yog tias lub dav hlau ntawm tus tswv cuab tiaj tiaj, cov kab cuam tshuam yog cov kab ncaj nraim nrog qhov sib nrug sib npaug; Yog tias lub dav hlau yog concave thiab convex, cov ntug yuav khoov thiab deform. Raws li qib khoov thiab qhov sib nrug ntawm cov ntug, qhov yuam kev tiaj tiaj yog xam los ntawm cov mis. Qhov tseeb tuaj yeem txog li nanometers, thiab qhov sib txawv ntawm lub dav hlau me me tuaj yeem raug kuaj pom.
2. Txoj kev ntsuas qib hluav taws xob: feem ntau siv rau hauv cov khoom granite loj, xws li lub txaj cuab yeej tshuab, lub platform ua haujlwm loj, thiab lwm yam. Lub theem hluav taws xob raug muab tso rau ntawm qhov chaw ntawm cov khoom granite kom xaiv qhov ntsuas thiab txav mus raws txoj kev ntsuas tshwj xeeb. Lub theem hluav taws xob ntsuas qhov kev hloov pauv ntawm lub kaum sab xis ntawm nws tus kheej thiab qhov kev taw qhia ntawm lub ntiajteb txawj nqus hauv lub sijhawm tiag tiag los ntawm lub sensor sab hauv thiab hloov nws mus rau hauv cov ntaub ntawv sib txawv ntawm qib. Thaum ntsuas, nws yog qhov tsim nyog los tsim ib daim phiaj ntsuas, xaiv cov ntsiab lus ntsuas ntawm qhov deb ntawm qee qhov hauv X thiab Y cov lus qhia, thiab sau cov ntaub ntawv ntawm txhua qhov. Los ntawm kev tshuaj xyuas cov software ua cov ntaub ntawv, qhov tiaj tiaj ntawm cov khoom granite tuaj yeem haum, thiab qhov tseeb ntawm kev ntsuas tuaj yeem ncav cuag micron theem, uas tuaj yeem ua tau raws li qhov xav tau ntawm cov khoom loj-loj flatness nrhiav hauv feem ntau qhov chaw lag luam.
3. Txoj kev nrhiav CMM: kev nrhiav qhov tiaj tiaj tag nrho tuaj yeem ua tiav rau ntawm cov khoom granite nyuaj, xws li granite substrate rau cov pwm tshwj xeeb. CMM txav mus rau hauv qhov chaw peb-seem los ntawm kev soj ntsuam thiab kov qhov chaw ntawm cov khoom granite kom tau txais cov kev sib koom ua ke ntawm cov ntsiab lus ntsuas. Cov ntsiab lus ntsuas tau faib sib npaug ntawm lub dav hlau ntawm cov khoom, thiab lub lattice ntsuas tau tsim. Lub cuab yeej khaws cov ntaub ntawv sib koom ua ke ntawm txhua qhov taw tes. Kev siv cov software ntsuas kev tshaj lij, raws li cov ntaub ntawv sib koom ua ke los xam qhov yuam kev tiaj tiaj, tsis yog tsuas yog tuaj yeem ntes qhov tiaj tiaj, tab sis kuj tuaj yeem tau txais qhov loj me ntawm cov khoom, cov duab thiab qhov chaw kam rau siab thiab lwm yam ntaub ntawv ntau-seem, qhov tseeb ntawm kev ntsuas raws li cov khoom siv raug sib txawv, feem ntau ntawm ob peb microns txog kaum microns, muaj kev ywj pheej siab, haum rau ntau hom kev nrhiav cov khoom granite.
II. Kev npaj cov khoom siv kuaj
1. Cov siv lead ua tiaj tiaj uas muaj qhov tseeb siab: Xaiv cov siv lead ua tiaj tiaj uas muaj qhov tseeb raws li qhov yuav tsum tau ua kom raug ntawm cov khoom granite, xws li kev kuaj pom ntawm nanoscale flatness yuav tsum xaiv cov siv lead ua tiaj tiaj uas muaj qhov yuam kev tiaj tiaj hauv ob peb nanometers, thiab lub taub hau tiaj tiaj yuav tsum loj dua qhov tsawg kawg nkaus ntawm cov khoom granite uas yuav tsum tau kuaj xyuas, kom ntseeg tau tias muaj kev npog tag nrho ntawm thaj chaw kuaj pom.
2. Qib hluav taws xob: Xaiv qib hluav taws xob uas qhov ntsuas tau raws li qhov xav tau ntawm kev kuaj pom, xws li qib hluav taws xob nrog qhov ntsuas tau ntawm 0.001mm / m, uas haum rau kev kuaj pom qhov tseeb siab. Tib lub sijhawm, lub hauv paus sib nqus sib phim tau npaj los pab txhawb qib hluav taws xob kom nqus tau zoo rau ntawm qhov chaw ntawm cov khoom granite, nrog rau cov xov hlau txais cov ntaub ntawv thiab cov software txais cov ntaub ntawv hauv computer, kom ua tiav cov ntaub ntawv ntsuas thiab ua tiav cov ntaub ntawv ntsuas.
3. Cov cuab yeej ntsuas sib koom ua ke: Raws li qhov loj ntawm cov khoom granite, qhov nyuaj ntawm cov duab kom xaiv qhov loj me ntawm cov cuab yeej ntsuas sib koom ua ke. Cov khoom loj xav tau cov ntsuas stroke loj, thaum cov duab nyuaj xav tau cov khoom siv nrog cov probes siab thiab cov software ntsuas muaj zog. Ua ntej kuaj pom, CMM raug calibrated kom ntseeg tau tias qhov tseeb ntawm probe thiab qhov chaw sib koom ua ke raug.
III. Cov txheej txheem sim
1. Cov txheej txheem interferometry tiaj tus siv lead ua:
◦ Ntxuav qhov chaw ntawm cov khoom granite uas yuav tsum tau kuaj xyuas thiab qhov chaw tiaj tiaj ntawm cov siv lead ua, so nrog anhydrous ethanol kom tshem tawm cov hmoov av, roj thiab lwm yam tsis huv, kom ntseeg tau tias ob qho sib haum xeeb yam tsis muaj qhov sib txawv.
Maj mam muab cov siv lead ua tiaj tiaj tso rau saum npoo ntawm cov khoom siv granite, thiab nias maj mam kom ob qho sib cuag tag nrho kom tsis txhob muaj npuas lossis tilting.
◦ Hauv chav tsaus ntuj, siv lub teeb monochromatic (xws li lub teeb sodium) los ci lub pob zeb tiaj tiaj, saib cov ciam teb cuam tshuam los ntawm saum toj no, thiab sau cov duab, kev coj thiab qib ntawm qhov nkhaus ntawm cov ciam teb.
◦ Raws li cov ntaub ntawv cuam tshuam, xam qhov yuam kev ntawm qhov tiaj tiaj siv cov mis sib xws, thiab piv rau qhov yuav tsum tau ua kom tiaj tiaj ntawm cov khoom kom txiav txim siab seb nws puas tsim nyog.
2. Cov txheej txheem ntsuas qib hluav taws xob:
◦ Ib daim phiaj ntsuas raug kos rau ntawm qhov chaw ntawm cov khoom granite los txiav txim siab qhov chaw ntawm qhov ntsuas, thiab qhov sib nrug ntawm cov ntsiab lus ntsuas sib ze raug teeb tsa raws li qhov loj me thiab qhov tseeb ntawm cov khoom, feem ntau yog 50-200 hli.
◦ Muab ib lub ntsuas hluav taws xob tso rau ntawm lub rooj sib nqus thiab txuas rau qhov chaw pib ntawm daim phiaj ntsuas. Pib lub ntsuas hluav taws xob thiab sau qhov ntsuas pib tom qab cov ntaub ntawv ruaj khov.
◦ Txav cov theem hluav taws xob mus rau ib qho zuj zus raws txoj kev ntsuas thiab sau cov ntaub ntawv qib ntawm txhua qhov ntsuas kom txog thaum ntsuas tag nrho cov ntsuas.
◦ Ntshuam cov ntaub ntawv ntsuas rau hauv cov software ua cov ntaub ntawv, siv txoj kev tsawg kawg nkaus thiab lwm cov algorithms kom haum rau qhov tiaj tiaj, tsim cov ntawv qhia txog qhov yuam kev tiaj tiaj, thiab soj ntsuam seb qhov tiaj tiaj ntawm cov khoom puas ua raws li tus qauv.
3. Kev tshawb nrhiav ntawm CMM:
◦ Muab cov khoom granite tso rau ntawm lub rooj ua haujlwm CMM thiab siv lub cuab yeej los kho nws kom ruaj khov kom ntseeg tau tias cov khoom tsis txav thaum lub sijhawm ntsuas.
◦ Raws li cov duab thiab qhov loj ntawm cov khoom, txoj kev ntsuas tau npaj rau hauv software ntsuas kom txiav txim siab qhov faib ntawm cov ntsiab lus ntsuas, xyuas kom meej tias tag nrho cov dav hlau yuav tsum tau kuaj xyuas thiab kev faib cov ntsiab lus ntsuas sib xws.
◦ Pib lub CMM, txav lub probe raws li txoj kev npaj tseg, kov cov ntsiab lus ntsuas qhov chaw ntawm granite, thiab cia li sau cov ntaub ntawv sib koom ua ke ntawm txhua qhov chaw.
◦ Tom qab kev ntsuas tiav lawm, cov software ntsuas yuav tshuaj xyuas thiab ua cov ntaub ntawv sib koom ua ke, xam qhov yuam kev ntawm qhov tiaj tiaj, tsim cov ntawv qhia kev sim, thiab txiav txim siab seb qhov tiaj tiaj ntawm cov khoom puas ua tau raws li tus qauv.
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Lub sijhawm tshaj tawm: Lub Peb Hlis-28-2025