Hauv kev tsim khoom siab heev thiab kev tshawb fawb txog kev tshawb fawb tshiab, lub tshuab ua kom pom tseeb ntawm lub tshuab ua pa tau dhau los ua cov khoom siv tseem ceeb rau kev ua haujlwm zoo thiab kev ntsuas nrog nws qhov kev ua tau zoo heev. Lub hauv paus granite precision, ua lub hauv paus txhawb nqa, muaj cov kev cai nruj rau qhov chaw ua haujlwm, thiab cov xwm txheej ib puag ncig tsim nyog yog lub hauv paus los xyuas kom meej tias nws ua haujlwm ruaj khov thiab qhov zoo tshaj plaws.
Ua ntej, kev tswj kub: precision "stabilizer"
Txawm hais tias granite paub txog nws qhov ruaj khov, nws tsis yog lub cev tiv thaiv kab mob rau qhov kub thiab txias hloov pauv. Txawm hais tias nws cov coefficient ntawm thermal expansion qis, feem ntau 5-7 × 10⁻⁶ / ℃, hauv cov xwm txheej tswj kev txav mus los ultra-precision, qhov kub hloov pauv me me tseem tuaj yeem ua rau muaj kev hloov pauv thiab cuam tshuam rau qhov tseeb ntawm module. Hauv lub rooj cob qhia semiconductor chip, cov txheej txheem lithography xav tau qhov tseeb ntawm qhov chaw danami, thiab qhov kub thiab txias hloov pauv los ntawm 1 ° C, thiab lub hauv paus granite nrog sab ntev ntawm 1 'meter' tuaj yeem tsim cov kab nthuav dav lossis kev cog lus ntawm 5-7 microns. Qhov kev hloov pauv me me no yog xa los ntawm ultra-precision motion module ntawm lub ntab huab cua, uas txaus los ua rau cov qauv lithography sib txawv thiab txo qhov txiaj ntsig zoo. Yog li ntawd, nruab nrog granite precision base ntawm huab cua floating ultra-precision motion module, qhov kub zoo tshaj plaws yuav tsum tau tswj ntawm 20 ° C ± 1 ° C, nrog kev pab los ntawm cov khoom siv kub siab, xws li qhov kub thiab txias tas li, kev saib xyuas tas li thiab kev hloov kho qhov kub thiab txias, kom ntseeg tau tias qhov kub hloov pauv hauv qhov ntau me me, tswj qhov loj me ntawm lub hauv paus, kom ntseeg tau tias lub module ua haujlwm siab.
Qhov thib ob, kev tswj cov av noo: tus yuam sij rau kev tiv thaiv cov av noo "pob zeb"
Qhov av noo yog lwm yam tseem ceeb uas cuam tshuam rau kev ua haujlwm ntawm lub hauv paus granite precision. Hauv qhov chaw uas muaj av noo ntau, granite yooj yim nqus cov dej noo, uas yuav ua rau cov dej noo ntawm qhov chaw, uas tsis tsuas yog cuam tshuam rau kev sib txuas ruaj khov ntawm granite thiab lub zog txav ntawm lub ntab huab cua xwb, tab sis kuj tseem yuav ua rau qhov chaw puas tsuaj thiab txo qhov ci thiab qhov tseeb hauv lub sijhawm ntev. Hauv lub chaw sib tsoo lens optical, yog tias qhov av noo siab dua 60% RH ntev, cov dej noo uas nqus rau ntawm qhov chaw ntawm lub hauv paus granite yuav cuam tshuam rau kev txav ntawm lub slider roj ntab, yog li qhov tseeb ntawm kev sib tsoo lens raug txo qis, thiab qhov chaw tsis zoo. Yog li ntawd, qhov av noo ntawm qhov chaw ua haujlwm yuav tsum tau tswj hwm nruj ntawm 40% -60% RH, uas tuaj yeem saib xyuas thiab kho tau tiag tiag los ntawm kev teeb tsa cov tshuab ziab khaub ncaws, cov cuab yeej ntsuas av noo thiab lwm yam khoom siv kom tsis txhob muaj kev puas tsuaj rau lub hauv paus granite vim muaj av noo ntau, thiab xyuas kom meej tias kev ua haujlwm du ntawm lub zog txav ntawm lub ntab huab cua.
Qhov thib peb, kev lav phib xaub: tus "tus saib xyuas" ntawm qhov tseeb
Qhov kev puas tsuaj ntawm cov hmoov av rau lub hauv paus granite precision ntawm ultra-precision motion module ntawm huab cua flotation tsis tuaj yeem kwv yees tau. Thaum cov hmoov av me me nkag mus rau hauv qhov sib txawv ntawm cov roj zaj duab xis ntawm cov roj ntab slider thiab lub hauv paus granite, lawv tuaj yeem ua rau puas tsuaj rau qhov sib xws ntawm cov roj zaj duab xis, ua rau muaj kev sib txhuam ntau ntxiv, thiab txawm tias khawb qhov chaw ntawm lub hauv paus, ua rau txo qhov tseeb ntawm kev txav mus los. Hauv lub chaw ua haujlwm ultra-precision machining ntawm cov khoom aerospace, yog tias cov hmoov av hauv huab cua poob rau ntawm lub hauv paus granite, txoj kev txav mus los ntawm cov cuab yeej machining yuav raug deviated, cuam tshuam rau qhov tseeb ntawm cov khoom. Yog li ntawd, thaj chaw ua haujlwm yuav tsum tau khaws cia kom huv si, ncav cuag 10,000 lossis ntau dua qib ntawm cov qauv kev huv, los ntawm kev teeb tsa cov khoom siv lim cua, xws li cov lim cua ua haujlwm siab (HEPA), lim cov hmoov av hauv huab cua, tib lub sijhawm, cov neeg ua haujlwm yuav tsum hnav khaub ncaws tsis muaj hmoov av, khau npog, thiab lwm yam, kom txo cov hmoov av uas tib neeg coj los. Tswj hwm qhov chaw ua haujlwm siab precision ntawm granite puag thiab huab cua ntab ultra-precision motion module.
Plaub, kev rho tawm kev co: kev ua haujlwm du ntawm "kev co ncoo"
Qhov kev co sab nraud yog tus yeeb ncuab ntawm qhov tseeb ntawm lub ultra-precision motion module ntawm lub air float. Txawm hais tias lub precision granite base muaj qee qhov kev co attenuation peev xwm, qhov kev co siab zog tseem tuaj yeem tawg nws qhov txwv buffer. Qhov kev co tsim los ntawm kev khiav tsheb nyob ib puag ncig lub Hoobkas thiab kev ua haujlwm ntawm cov khoom siv loj yog xa mus rau lub granite base los ntawm hauv av, uas yuav cuam tshuam rau qhov tseeb ntawm kev txav ntawm ultra-precision motion module ntawm lub air float. Hauv high-end CMM, kev co yuav ua rau qhov kev sib cuag ntawm qhov ntsuas thiab qhov workpiece kom tsis ruaj khov, ua rau muaj kev hloov pauv ntawm cov ntaub ntawv ntsuas. Txhawm rau daws qhov teeb meem no, nws yog qhov tsim nyog los siv cov kev ntsuas kev co zoo, xws li tso cov ntaub so ntswg kev co hauv thaj chaw teeb tsa khoom siv, tsim lub hauv paus kev co, lossis siv lub kaw lus kev co nquag los cuam tshuam kev co sab nraud, thiab tsim kom muaj qhov chaw ua haujlwm ntsiag to thiab ruaj khov rau lub granite precision base thiab lub air float ultra-precision motion module.
Tsuas yog los ntawm kev ua tiav tag nrho cov kev xav tau ib puag ncig ntawm qhov kub thiab txias, av noo, kev huv thiab kev tswj kev co, lub hauv paus granite precision ntawm ultra-precision motion module ntawm lub dav hlau ntab tuaj yeem muab kev ua si tag nrho rau nws cov txiaj ntsig kev ua tau zoo, muab kev lees paub txhim khu kev qha rau kev ua haujlwm ultra-precision hauv ntau qhov chaw, thiab pab kev lag luam txav mus rau qib siab dua ntawm kev tsim khoom thiab kev tshawb fawb.
Lub sijhawm tshaj tawm: Plaub Hlis-08-2025