Hauv kev tsim khoom siv precision thiab kev tshawb fawb txog kev tshawb fawb, qhov tiaj tiaj ntawm cov granite precision platforms yog qhov tseem ceeb qhia kom paub tseeb tias cov khoom siv raug. Cov hauv qab no yog cov lus qhia ntxaws ntxaws txog ntau txoj hauv kev nrhiav pom thiab lawv cov txheej txheem ua haujlwm rau koj.
I. Txoj kev nrhiav kom pom kev cuam tshuam laser
Lub laser interferometer yog lub cuab yeej zoo tshaj plaws rau kev kuaj pom qhov tiaj tiaj siab. Piv txwv li, siv ZYGO GPI XP laser interferometer, nws qhov kev daws teeb meem tuaj yeem ncav cuag 0.1nm. Thaum ua qhov kev kuaj pom, ua ntej teeb tsa lub teeb ntawm lub interferometer nrog lub platform thiab faib lub platform nto rau hauv 50mm × 50mm grid cheeb tsam. Tom qab ntawd, cov ntaub ntawv cuam tshuam tau sau los ntawm cov ntsiab lus, thiab cov ntaub ntawv tau teeb tsa thiab tshuaj xyuas siv Zernike polynomial kom tau txais qhov yuam kev tiaj tiaj. Txoj kev no siv tau rau cov platforms siab thiab tuaj yeem kuaj pom qhov yuam kev tiaj tiaj ntawm ≤0.5μm / m². Nws feem ntau siv rau kev kuaj pom cov tshuab photolithography thiab cov tshuab ntsuas peb-coordinate siab.
II. Txoj Kev Teeb tsa Qib Hluav Taws Xob
Qhov kev nrhiav pom theem hluav taws xob yooj yim rau kev khiav lag luam thiab ua haujlwm tau zoo heev. Lub TESA A2 theem hluav taws xob (nrog qhov kev daws teeb meem ntawm 0.01μm/m) tau raug xaiv thiab teeb tsa hauv 9 × 9 array raws li X/Y axis kev taw qhia ntawm lub platform. Los ntawm kev sau cov ntaub ntawv inclination ntawm txhua theem thiab tom qab ntawd siv txoj kev tsawg kawg nkaus rau kev xam, tus nqi flatness tuaj yeem tau txais qhov tseeb. Txoj kev no tuaj yeem txheeb xyuas cov xwm txheej hauv zos concavity thiab convexity ntawm lub platform. Piv txwv li, qhov kev hloov pauv ntawm 0.2μm hauv 50mm ntau yam kuj tuaj yeem ntes tau, uas yog qhov tsim nyog rau kev ntes sai hauv kev tsim khoom loj.
III. Txoj Kev Siv Crystal Flat Optical
Txoj kev siv lub teeb pom kev zoo no yog qhov tsim nyog rau kev nrhiav pom cov platform me me. Muab lub teeb pom kev zoo no txuas rau ntawm qhov chaw uas yuav tsum tau kuaj ntawm lub platform thiab saib cov kab sib tshuam uas tsim los ntawm lawv nyob rau hauv lub teeb pom kev zoo monochromatic (xws li lub teeb sodium). Yog tias cov kab txaij yog cov kab txaij ncaj nraim, nws qhia tias nws tiaj tus zoo. Yog tias cov kab txaij nkhaus tshwm sim, xam qhov yuam kev ntawm qhov tiaj tus raws li qib ntawm qhov nkhaus ntawm cov kab txaij. Txhua kab txaij nkhaus sawv cev rau qhov sib txawv ntawm qhov siab ntawm 0.316μm, thiab cov ntaub ntawv tiaj tus tuaj yeem tau txais los ntawm kev hloov pauv yooj yim.
Plaub. Peb-kev ntsuas tshuab sib koom tes txoj kev tshuaj xyuas
Lub tshuab ntsuas peb-coordinate tuaj yeem ua tiav qhov kev ntsuas siab hauv qhov chaw peb-seem. Muab lub platform granite tso rau ntawm lub rooj ua haujlwm ntawm lub tshuab ntsuas thiab siv lub probe los sau cov ntaub ntawv los ntawm ntau qhov ntsuas ntawm qhov chaw ntawm lub platform. Lub tshuab ntsuas system ua thiab tshuaj xyuas cov ntaub ntawv no los tsim cov ntawv qhia txog qhov tiaj tiaj ntawm lub platform. Txoj kev no tsis tsuas yog tuaj yeem ntes qhov tiaj tiaj xwb, tab sis kuj tuaj yeem tau txais lwm cov qauv geometric ntawm lub platform tib lub sijhawm, thiab nws tsim nyog rau kev ntes tag nrho ntawm cov platform granite loj.
Kev paub txog cov txheej txheem kuaj pom no tuaj yeem pab koj ntsuas qhov tiaj tiaj ntawm lub platform granite precision thiab muab kev lees paub txhim khu kev qha rau kev ua haujlwm ruaj khov ntawm cov khoom siv precision.
Lub sijhawm tshaj tawm: Tsib Hlis-29-2025