Lub Caij Nyoog Precision hauv kev tsim khoom semiconductor: Thaum granite ntsib micron technology
1.1 Cov kev tshawb pom tsis tau xav txog hauv kev tshawb fawb txog cov ntaub ntawv
Raws li daim ntawv qhia xyoo 2023 ntawm SEMI International Semiconductor Association, 63% ntawm cov tuam txhab tsim khoom siab heev hauv ntiaj teb tau pib siv cov hauv paus granite es tsis txhob siv cov hlau ib txwm muaj. Cov pob zeb ntuj no, uas yog los ntawm magma condensation tob hauv ntiaj teb, tab tom rov sau dua keeb kwm ntawm kev tsim khoom semiconductor vim nws cov khoom tshwj xeeb:
Qhov zoo ntawm thermal inertia: qhov thermal expansion coefficient ntawm granite 4.5 × 10⁻⁶ / ℃ tsuas yog 1/5 ntawm cov hlau tsis xeb, thiab qhov ruaj khov ntawm ± 0.001 hli yog tswj hwm hauv kev ua haujlwm tas mus li ntawm lub tshuab lithography
Cov yam ntxwv ntawm kev co damping: qhov coefficient sab hauv kev sib txhuam yog 15 npaug siab dua li ntawm cov hlau cam khwb cia, zoo nqus cov khoom siv micro-vibration
Xoom magnetization xwm: tshem tawm tag nrho cov yuam kev magnetic hauv kev ntsuas laser
1.2 Txoj kev hloov pauv ntawm kuv li mus rau fab
Piv txwv li, siv ZHHIMG lub hauv paus tsim khoom ntse hauv Shandong, ib daim granite nyoos yuav tsum tau ua raws li hauv qab no:
Kev ua haujlwm siab heev: tsib-axis txuas machining chaw rau 200 teev ntawm kev sib txuas tas mus li, qhov roughness ntawm qhov chaw txog li Ra0.008μm
Kev kho mob laus dag: 48 teev ntawm kev tso tawm kev ntxhov siab ntuj hauv qhov chaw ua haujlwm kub thiab av noo tas li, uas txhim kho kev ruaj khov ntawm cov khoom los ntawm 40%.
Qhov thib ob, tawg rau qhov teeb meem precision ntawm semiconductor manufacturing "pob zeb daws teeb meem"
2.1 Txoj kev txo qis ntawm kev tawg ntawm cov wafer
Kev ua qauv qhia: Tom qab lub tuam txhab ua chip hauv lub teb chaws Yelemees tau txais peb lub platform granite floating roj:
| Lub taub hau ntawm lub wafer | txo tus nqi ntawm cov chip | kev txhim kho qhov tiaj tiaj |
| 12 nti | 67% | ≤0.001 hli |
| 18 nti | 82% | ≤0.0005 hli |
2.2 Txoj kev txheeb xyuas qhov tseeb ntawm kev sib dhos lithographic
Lub kaw lus them nyiaj kub: lub sensor ceramic uas muab tso rau hauv lub cuab yeej saib xyuas cov duab hloov pauv hauv lub sijhawm tiag tiag thiab kho qhov kev xav ntawm lub platform
Cov ntaub ntawv ntsuas: nyob rau hauv qhov kev hloov pauv ntawm 28 ℃ ± 5 ℃, qhov tseeb ntawm kev teeb tsa hloov pauv tsawg dua 0.12μm
Lub sijhawm tshaj tawm: Lub Peb Hlis-24-2025