Lub platform granite, ua ib qho cuab yeej siv rau kev ntsuas thiab ua tiav, nws qhov kev saib xyuas qhov tseeb ncaj qha cuam tshuam rau qhov zoo ntawm cov khoom. Cov hauv qab no muab ib txoj kev npaj txij nkawm uas suav nrog kev tswj hwm ib puag ncig, kev saib xyuas txhua hnub thiab kev ntsuas kev tshaj lij kom ntseeg tau tias lub platform tswj tau qhov tseeb ntawm nanometer ntev.
1. Kev Tswj Xyuas Ib Puag Ncig: Tsim kom muaj ib daim thaiv kev tiv thaiv kom raug
Kev tswj kub thiab av noo
Qhov kub ntawm qhov chaw ua haujlwm yuav tsum tau ruaj khov ntawm 20 ± 1 ℃. Txhua qhov kev hloov pauv 1 ℃ yuav ua rau lub platform granite thermal deformation ntawm 0.5-1μm / m. Lub kaw lus kub tas li tuaj yeem ntsia tau hauv lub chaw ua haujlwm kom tiv thaiv cov cua txias los ntawm kev tshuab ncaj qha rau ntawm lub platform.
Yuav tsum tswj cov av noo ntawm 40% thiab 60%. Cov av noo ntau dhau tuaj yeem ua rau xeb ntawm cov hlau, thaum cov av noo tsawg dhau tuaj yeem ua rau muaj hluav taws xob static cuam tshuam rau kev ntsuas.
Kev rho tawm kev co
Lub platform yuav tsum tau khaws cia kom deb ntawm cov chaw co xws li cov tshuab stamping thiab cov tshuab milling. Nws raug pom zoo kom tswj qhov deb ntau tshaj 3 meters ntawm cov khoom siv co.
Yog tias kev co tsis tuaj yeem zam tau, cov cua caij nplooj ntoos hlav poob siab tuaj yeem ntsia tau rau hauv qab ntawm lub platform kom txo qhov cuam tshuam ntawm kev co ib puag ncig ntawm qhov tiaj tus ntawm lub platform (uas tuaj yeem txo qhov kev co sab nraud ntau dua 80%).
2. Kev Txij Nkawm Txhua Hnub: Kev Tswj Xyuas Zoo Txij Li Kev Ntxuav Mus Txog Kev Tiv Thaiv
Kev qhia txog kev ntxuav qhov chaw
Tshem tawm cov plua plav: So qhov chaw nrog daim tawv mos mos lossis daim ntaub tsis muaj plaub txhua hnub kom tiv thaiv cov hmoov av (≥5μm) kom tsis txhob khawb lub platform. Cov xim tawv ncauj tuaj yeem so maj mam nrog anhydrous ethanol (purity ≥99.7%). Yuav tsum tsis txhob siv cov tshuaj yaj muaj zog xws li acetone.
Kev Tshem Tawm Roj: Yog tias nws kov cov roj av, so nws nrog cov tshuaj ntxuav uas tsis muaj roj, tom qab ntawd yaug nrog dej deionized thiab ziab kom qhuav kom tiv thaiv cov roj av kom tsis txhob nkag mus rau hauv cov qhov me me ntawm lub platform.
Kev tiv thaiv kev thauj khoom thiab kev sib tsoo
Lub peev xwm thauj khoom ntawm lub platform yuav tsum tau tswj hwm hauv 70% ntawm qhov ntsuas thauj khoom (piv txwv li, rau lub platform 1000kg, nws raug pom zoo kom lub thauj khoom yuav tsum ≤700kg) kom tsis txhob muaj kev hloov pauv mus tas li los ntawm kev thauj khoom hauv zos.
Txwv tsis pub ntaus cov khoom ua haujlwm ntawm lub platform. Thaum tuav cov cuab yeej, hnav hnab looj tes mos mos kom tiv thaiv cov khoom ntse los ntawm khawb qhov chaw (kos nrog qhov tob tshaj 20μm yuav cuam tshuam rau kev ntsuas ntawm txoj kev teeb pom kev zoo).
3. Kev Ntsuas Kev Ua Haujlwm: Lub hauv paus ntawm kev tswj hwm qhov tseeb raws li kev tshawb fawb
Kev teeb tsa lub voj voog calibration
Cov xwm txheej siv ib txwm muaj: Calibrate ib zaug txhua peb lub hlis twg thiab siv lub laser interferometer los ntes qhov tiaj tiaj (nrog qhov tseeb ntawm ± 0.5μm / m).
Kev siv zaus siab lossis ib puag ncig hnyav: Kev ntsuas txhua hli, nrog rau kev tsom mus rau kev saib xyuas cov cheeb tsam uas rhiab heev rau qhov kub (xws li ntug ntawm lub platform ze ntawm cov chaw kub).
Kev ua tiav tom qab calibration
Yog tias pom qhov sib txawv ntawm qhov tiaj tiaj (xws li > ± 1μm/m), nws yuav tsum tau sib tsoo thiab kho los ntawm tus kws tshaj lij siv W1.5 micro-hmoov. Kev sib tsoo nws tus kheej nrog ntawv xuab zeb yog txwv tsis pub ua.
Tom qab kev kho kom raug, cov ntaub ntawv yuav tsum tau sau tseg thiab khaws cia, thiab yuav tsum tsim kom muaj qhov nkhaus ntawm qhov tseeb ntawm lub platform los kwv yees qhov yuav tsum tau ua ntej.
4. Kev Khaws Cia thiab Kev Thauj Mus Los: Tsis txhob muab qhov tseeb zais cia poob
Cov ntsiab lus tseem ceeb rau kev khaws cia mus sij hawm ntev
Thaum khaws cia, nws yuav tsum tau npog nrog lub hau uas tsis muaj dej noo thiab tsis muaj plua plav. Hauv qab yuav tsum tau txhawb nqa los ntawm peb lub ntsiab lus (qhov chaw txhawb nqa nyob ntawm 2/9 ntawm qhov ntev ntawm lub platform) kom tiv thaiv kev khoov deformation los ntawm lub ntiajteb txawj nqus (lub platform 1-meter yuav sag los ntawm 0.3μm vim yog kev txhawb nqa ib qho ntev).
Tsiv qhov chaw ntawm cov ntsiab lus txhawb nqa platform tsis tu ncua (txhua hli) kom tsis txhob muaj kev nyuaj siab hauv zos mus sij hawm ntev.
Txoj kev npaj tiv thaiv kev thauj mus los
Kev thauj mus los luv luv: Qhwv nrog ua npuas dej uas nqus tau kev co, kho rau hauv lub thav duab khov kho, thiab ua kom qhov kev nrawm tsis pub dhau 2g.
Kev thauj mus los deb: Yuav tsum tau ntim rau hauv lub tshuab nqus tsev thiab muab cov nitrogen qhuav ntim rau hauv. Tom qab tuaj txog, yuav tsum cia nws nyob li 24 teev kom txog thaum qhov kub sib npaug ua ntej muab cov khoom tawm kom tiv thaiv cov dej noo kom tsis txhob cuam tshuam rau qhov tseeb.
5. Kev Kwv Yees Qhov Txhaum: Cov Txheej Txheem rau Kev Txheeb Xyuas Cov Teeb Meem Thaum Ntxov
Kev Tshuaj Xyuas Pom: Siv lub iav tsom iav loj 40x los saib xyuas qhov chaw tas li. Yog tias pom muaj khawb tas li lossis pom qhov ci ntsa iab tsawg zuj zus, qhov no yuav qhia tau tias qhov tseeb tsis raug.
Kev kuaj suab: Maj mam kov lub platform. Yog tias lub suab qis dhau los ua suab qis (feem ntau nws yuav tsum yog lub suab meej), tej zaum yuav muaj cov kab nrib pleb me me sab hauv. Tsum tsis txhob siv nws tam sim ntawd rau kev kuaj.
Los ntawm txoj kev saib xyuas no, lub platform granite ZHHIMG® tuaj yeem tswj tau qhov tiaj tiaj ntawm ± 1μm / m rau 10 xyoo, uas yog ntau dua peb zaug ntev dua li lub neej ua haujlwm ntawm cov platforms uas tsis tau saib xyuas kom zoo. Kev xyaum tau ua pov thawj tias tom qab ib lub Hoobkas semiconductor tau txais cov kev daws teeb meem no, qhov zaus ntawm kev kho platform tau txo qis 50%, thiab tus nqi saib xyuas txhua xyoo tau txuag ntau dua 150,000 yuan.
Lub sijhawm tshaj tawm: Lub Rau Hli-18-2025