Hauv kev lag luam kev tsim khoom thiab kev tshawb nrhiav kev tshawb fawb tshiab, granite platform nrog nws cov kev ua tau zoo heev ntawm seismic tau dhau los ua cov khoom siv tseem ceeb los xyuas kom meej tias muaj kev txhim kho zoo ntawm ntau yam kev ua haujlwm siab. Nws cov qauv ntsuas kev poob siab nruj muab kev lees paub txhim khu kev qha rau ntau qhov xwm txheej ua haujlwm uas muaj kev cuam tshuam loj heev rau kev co.
Ua ntej, lub hauv paus txiav txim siab ntawm qib av qeeg pov thawj ntawm granite platform
Cov yam ntxwv ntawm cov khoom siv: Lub platform granite yog ua los ntawm cov granite ntuj, tom qab ntau lab xyoo ntawm cov txheej txheem geological, cov qauv siv lead ua sab hauv tau teeb tsa zoo thiab sib xws heev. Cov qauv tshwj xeeb no muab granite tus nqi qis heev ntawm kev hloov pauv elastic modulus, thaum raug kev poob siab, piv nrog lwm cov ntaub ntawv xws li hlau, tuaj yeem tswj nws cov elastic deformation hauv qhov me me heev. Raws li kev txiav txim siab ntawm cov tsev kuaj mob, qhov elastic deformation ntawm granite hauv qhov chaw kuaj kev co tus qauv tsuas yog 1 / 10-1 / 20 ntawm cov ntaub ntawv hlau ib txwm muaj, uas tso lub hauv paus khoom siv khov kho rau kev ua haujlwm siab ntawm lub platform.
Kev Tsim Qauv: Los ntawm qhov pom ntawm cov qauv loj, lub platform granite yog tsim nrog cov duab geometric zoo tshaj plaws thiab kev txhawb nqa. Qhov sib piv ntawm qhov ntev-dav-qhov siab ntawm lub platform yog xam kom zoo kom ntseeg tau tias qhov chaw ruaj khov ntawm lub ntiajteb txawj nqus thiab txo qhov kev pheej hmoo ntawm kev co los ntawm kev co. Tib lub sijhawm, kev faib tawm ntawm cov ntsiab lus txhawb nqa yog npaj raws li cov ntsiab cai ntawm mechanics, uas tuaj yeem faib qhov hnyav ntawm cov khoom tso rau ntawm lub platform thiab lub zog cuam tshuam los ntawm kev co sab nraud. Piv txwv li, hauv lub platform granite loj, cov qauv txhawb nqa ntau lub ntsiab lus yog siv, thiab qhov yuam kev deb ntawm cov ntsiab lus txhawb nqa sib ze yog tswj hwm hauv ± 0.05 hli, uas ua rau tsis muaj kev ntxhov siab hauv zos thiab txhim kho qhov muaj peev xwm seismic ntawm lub platform.
2. Cov qhia ntxaws thiab cov xwm txheej ntawm txhua qib kev poob siab
Qib I tus qauv tiv taus kev co (qhov xwm txheej xav tau qhov tseeb siab heev)
Kev ntsuas qhov kev co ntawm lub zog: Hauv qhov ntau ntawm qhov zaus ntawm kev co ntawm lub zog ntawm lub zog (0.1Hz-100Hz), qhov siab tshaj plaws ntawm kev co ntawm txhua qhov chaw ntawm lub platform tsis pub tshaj 0.001 hli. Thaum qhov kev co qis uas tsim los ntawm kev ua haujlwm ntawm cov tshuab loj nyob ib puag ncig (xws li kev co ntawm cov cuab yeej siv tshuab hnyav ntawm qhov zaus ntawm li 1Hz-10Hz) raug cuam tshuam, cov cuab yeej ntsuas qhov muag pom tseeb uas muab tso rau ntawm lub platform, xws li lub tshuab microscopy atomic force, qhov kev hloov pauv ntawm qhov ntsuas ntawm qhov ntsuas thiab cov qauv ntsuas tsis tseem ceeb, ua kom ntseeg tau tias qhov tseeb ntawm kev ntsuas ntawm nanoscale tsis cuam tshuam.
Daim ntawv thov scenario: Nws yog siv rau hauv cov txheej txheem lithography ntawm semiconductor chip manufacturing. Chip manufacturing xav tau qhov tseeb ntawm lithographic siab heev, thiab qhov dav ntawm kab tau mus txog qib nanometer. Hauv cov txheej txheem lithography, lub platform granite yuav tsum muab kev txhawb nqa ruaj khov rau lub tshuab lithography, cais cov kev co uas tsim los ntawm kev ua haujlwm ntawm lwm cov khoom siv hauv lub rooj cob qhia, thiab xyuas kom meej tias qhov kev hloov pauv ntawm cov qauv lithography raug, yog li txhim kho qhov txiaj ntsig ntawm kev tsim khoom chip. Raws li cov ntaub ntawv kev lag luam, kev siv cov kab tsim khoom chip uas ua tau raws li thawj theem kev poob siab-txheej txheem granite platform tau nce qhov txiaj ntsig los ntawm 15% -20% piv rau kev siv cov platforms ib txwm muaj.
Qib 2 tiv thaiv kev poob siab tus qauv (qhov xwm txheej siab)
Kev ntsuas qhov kev co ntawm lub cev: nyob rau hauv qhov zaus ntawm kev co ntawm 0.1Hz-100Hz, qhov siab tshaj plaws ntawm qhov kev co ntawm lub platform nto yog tswj tau hauv 0.005mm. Rau kev sim kuaj pom cov khoom me me uas tau ua hauv cov chaw soj ntsuam kev tshawb fawb hauv cov tsev kawm qib siab, xws li kev sim scanning tunneling microscope (STM), qib kev ua tau zoo no tuaj yeem ua kom ntseeg tau tias qhov chaw sib piv ntawm qhov kawg ntawm STM thiab cov qauv ruaj khov txawm tias muaj qee qhov chaw co xws li cov neeg ua haujlwm txav mus los hauv chav kuaj thiab cov khoom siv txav mus los hauv chav kuaj. Yog li, cov ntaub ntawv quantum state ntawm cov khoom me me raug ntes tau raug, uas muab kev lees paub rau cov kws tshawb fawb kom tau txais cov ntaub ntawv sim raug.
Cov xwm txheej ntawm daim ntawv thov: Siv dav hauv kev tsim cov cuab yeej siv high-precision, xws li kev tsim cov txheej txheem debugging ntawm kev sib npaug hluav taws xob. Cov nyiaj sib npaug hluav taws xob muaj kev cuam tshuam heev rau kev co, thiab txawm tias kev co me me tuaj yeem ua rau muaj kev hloov pauv hauv cov txiaj ntsig ntsuas. Lub platform granite, uas ua tau raws li tus qauv tiv thaiv kev co theem ob, tuaj yeem muab ib puag ncig ruaj khov rau kev ntsuas thiab kev ua haujlwm ntawm cov nyiaj sib npaug hluav taws xob, xyuas kom meej tias qhov ntsuas qhov tseeb ntawm qhov sib npaug mus txog qib microgram, thiab ua tau raws li kev lag luam xav tau rau qhov ntsuas qhov hnyav siab xws li kev txheeb xyuas tshuaj thiab cov hniav nyiaj hniav kub.
Peb theem kev tiv thaiv kev poob siab (qhov xwm txheej siab precision)
Kev ntsuas qhov kev co ntawm lub zog: nyob rau hauv qhov ntau zaus ntawm kev co ntawm 0.1Hz-100Hz, qhov siab tshaj plaws ntawm kev co ntawm lub platform tsis pub tshaj 0.01 hli. Thaum ntsib kev co uas tsim los ntawm kev ua haujlwm ntawm cov khoom siv nruab nrab uas feem ntau siv hauv lub Hoobkas kev cob qhia (qhov zaus ntawm kev co feem ntau yog 10Hz-50Hz), cov khoom siv ntsuas ib txwm muab tso rau ntawm lub platform granite, xws li cov cuab yeej ntsuas kev sib koom tes, tuaj yeem tswj tau qhov tseeb ntawm kev ntsuas, thiab qhov sib txawv ntawm cov ntaub ntawv ntsuas raug tswj hwm hauv qhov ntau me me.
Daim ntawv thov: Haum rau kev ntsuas qhov tseeb hauv kev tsim khoom siv hauv tsheb. Qhov tseeb ntawm kev ua haujlwm ntawm lub cav lub tog raj kheej, lub iav kis thiab lwm yam khoom cuam tshuam ncaj qha rau kev ua tau zoo thiab kev ntseeg siab ntawm lub tsheb. Hauv kev ntsuas cov khoom no, lub platform granite ntawm peb qhov kev ua tau zoo tiv thaiv kev co tuaj yeem cais cov khoom siv hauv chaw ua haujlwm khiav kev co, kom ntseeg tau tias cov cuab yeej ntsuas sib koom tes ntsuas qhov loj me ntawm cov khoom, cov duab thiab qhov chaw kam rau siab thiab lwm yam kev ntsuas, los muab kev txhawb nqa zoo rau kev tswj hwm qhov zoo ntawm cov khoom siv hauv tsheb, txhim kho kev tsim khoom ntawm cov khoom siv hauv tsheb dhau tus nqi.
Peb, kev kuaj xyuas zoo kom ntseeg tau tias qib av qeeg ua tau raws li tus qauv
Yuav kom ntseeg tau tias txhua lub platform granite tuaj yeem ua tau raws li cov qauv qib av qeeg uas tiv taus av qeeg, peb tau tsim ib pawg txheej txheem kev tshuaj xyuas zoo thiab zoo meej. Hauv cov txheej txheem tsim khoom, kev sim khoom siv tag nrho yog ua rau txhua daim granite raw khoom kom ntseeg tau tias nws cov qauv sab hauv yog sib xws thiab tsis muaj qhov tsis zoo. Tom qab ua tiav lub platform, cov khoom siv simulation vibration siab heev siv los sim ntau yam kev co nyuaj los sim lub platform. Los ntawm lub tshuab ntsuas laser displacement siab, kev saib xyuas lub sijhawm tiag tiag ntawm kev hloov pauv ntawm txhua qhov chaw ntawm qhov chaw ntawm lub platform thaum lub sijhawm co, thiab cov ntaub ntawv raug xa mus rau lub kaw lus ua cov ntaub ntawv tshaj lij rau kev tshuaj xyuas. Tsuas yog thaum cov cim qhia kev co ntawm lub platform ua raws li cov qauv qib tiv taus av qeeg, lawv raug tso cai rau kev muag khoom.
Hauv kev xaus lus, granite platform nrog nws cov qauv qib kev tiv thaiv kev co, kev ua tau zoo heev thiab kev tswj xyuas zoo, rau kev tsim khoom lag luam thiab kev tshawb fawb hauv kev ua haujlwm siab-precision los muab kev txhawb nqa ruaj khov tseem ceeb, yog kev nrhiav qhov tseeb thiab kev ntseeg siab ntawm qhov kev xaiv.
Lub sijhawm tshaj tawm: Lub Peb Hlis-28-2025