Hauv kev sib ntaus sib tua kawg ntawm "nanoprecision" hauv kev tsim khoom semiconductor, txawm tias qhov yuam kev me me hauv cov khoom siv txiav wafer tuaj yeem ua rau lub chip ua pov tseg. Lub hauv paus granite yog tus phab ej tsis muaj npe uas tswj hwm qhov tseeb ntawm ± 5um rov ua dua, rov sau cov cai ntawm kev tsim khoom precision nrog nws peb qhov xav tsis thoob ntuj.
Tus "ruaj khov anchor" tiv thaiv thermal deformation: Tus coefficient ntawm thermal expansion ntawm granite yog qis li 5-7 × 10⁻⁶ / ℃, uas tsuas yog ib feem peb ntawm cov khoom siv hlau. Nyob rau hauv qhov cuam tshuam cua sov tsim los ntawm kev ua haujlwm ceev ceev ntawm cov khoom siv txiav wafer, cov khoom siv ib txwm yuav deform vim thermal nthuav dav thiab contraction, ua rau qhov chaw ntawm lub taub hau txiav hloov. Txawm li cas los xij, lub hauv paus granite tuaj yeem nyob twj ywm "tsis txav", tshem tawm qhov sib txawv ntawm qhov chaw los ntawm thermal deformation thiab tso lub hauv paus ruaj khov rau kev raug.
Lub "tshuab thaiv ntsiag to" ntawm kev nqus kev co: Lub suab nrov ntawm cov cuab yeej siv tshuab thiab kev co tas li ntawm cov khoom siv hauv lub chaw ua haujlwm tuaj yeem suav tias yog "kev tua neeg tuag taus" rau qhov tseeb. Cov qauv siv lead ua tshwj xeeb ntawm granite zoo li lub zog nqus dej ntuj, muaj peev xwm hloov pauv sai sai cov kev co sab nraud thiab kev co tshuab tsim los ntawm kev ua haujlwm ntawm cov khoom siv mus rau hauv lub zog cua sov rau kev tshem tawm. Thaum lwm lub hauv paus tseem "swaying" vim yog kev co, lub hauv paus granite tau tsim lub platform ruaj khov rau lub taub hau txiav uas tseem tsis txav, ua rau ± 5um qhov tseeb ua tau.
"Lub Rooj Vag Nyob Mus Ib Txhis" uas tsis yooj yim xeb: Cov chaw ua haujlwm semiconductor puv nrog cov tshuaj xeb xws li cov tshuaj etching thiab cov tshuaj ntxuav acid thiab alkali. Hauv qhov chaw zoo li no, cov hlau yuav maj mam xeb thiab deform. Granite, nrog nws cov tshuaj ruaj khov, tsis tshua muaj tshuaj lom neeg. Txawm tias siv pes tsawg xyoo los xij, nws tuaj yeem tswj tau qhov kev ua kom zoo thiab ua kom muaj kev txiav siab.
Txij li cov khoom siv txawj ntse mus rau kev ua tiav qhov tseeb heev, lub hauv paus granite tau ua pov thawj nrog nws lub zog tias tsis yog txhua yam khoom siv tuaj yeem ua tau raws li cov teeb meem nyuaj ntawm kev tsim khoom semiconductor. Nws yog vim muaj cov txiaj ntsig ntuj tsim uas tsis muaj qhov hloov pauv tau uas cov hauv paus granite tau dhau los ua qhov tseem ceeb rau cov khoom siv txiav wafer kom ua tiav qhov tseeb rov ua dua ntawm ± 5um, thiab tau tsav tsheb ntxiv rau kev lag luam semiconductor kom txuas ntxiv mus rau qhov tseeb dua!
Lub sijhawm tshaj tawm: Tsib Hlis-14-2025