Hauv kev lag luam precision machining, qhov kev txav mus los du thiab qhov tseeb ntawm XYZT precision gantry txav platform yog qhov tseem ceeb heev. Tom qab siv cov khoom granite, lub platform tau ua tiav qhov kev dhia zoo hauv ob qho no, muab kev lees paub zoo rau kev ua tiav siab.
Cov yam ntxwv ntuj tsim uas tiv thaiv kev co
Cov qauv sab hauv ntawm granite qhia txog kev teeb tsa siv lead ua tshwj xeeb, uas ua rau nws muaj kev ua haujlwm zoo damping. Thaum lub platform txav mus los, tshwj xeeb tshaj yog thaum lub zog ceev ceev, kev co uas tsim los ntawm lub cev muaj zog, kev sib kis, thiab lwm yam, yuav ua rau muaj kev sib tw rau qhov du ntawm kev txav mus los. Cov khoom siv granite zoo li "shock master" zoo, uas tuaj yeem nqus thiab txo cov zog co no. Kev tshawb fawb qhia tau tias piv rau cov khoom siv hlau ib txwm muaj, cov khoom siv granite tuaj yeem txo qhov loj ntawm lub platform los ntawm 60% -80%. Hauv qhov xwm txheej ua tiav, xws li kev ua haujlwm milling ceev ceev ntawm 3C cov khoom lag luam, XYZT platform muaj cov khoom siv granite, uas tuaj yeem txo qhov kev co ntawm cov cuab yeej hauv cov txheej txheem txiav, txo qhov roughness ntawm machining los ntawm 30% -50%, thiab ua rau qhov chaw ua haujlwm du, txhim kho qhov zoo ntawm cov khoom.
Kev ruaj khov siab ua kom muaj kev txav mus los zoo
Kev txav mus los sai sai yuav tsum muaj kev ruaj khov ntawm cov khoom siv hauv platform. Granite muaj kev ruaj khov zoo heev, lub zog compressive txog li 200-300MPa, thaum lub platform txav los ntawm lub zog inertia loj heev thiab kev cuam tshuam, yuav luag tsis muaj kev hloov pauv. Thaum lub platform tig rov qab sai sai, cov khoom siv ib txwm yuav ua rau muaj kev hloov pauv me ntsis vim yog lub zog, ua rau kev txav mus los qeeb thiab cuam tshuam rau qhov tseeb ntawm txoj kev taug kev. Cov khoom siv granite, nrog kev ruaj khov siab, tuaj yeem ua kom muaj kev ua haujlwm ruaj khov ntawm cov khoom txav mus los ntawm lub platform thiab tswj qhov ceev thiab kev coj ntawm kev txav mus los. Piv txwv li, thaum ua cov iav tsom iav kho qhov muag, XYZT platform yuav tsum tsav cov cuab yeej sib tsoo kom muaj kev txav mus los sai sai, cov khoom siv granite kom ntseeg tau tias lub platform tig rov qab ntau zaus, qhov kev hloov pauv ntawm txoj kev taug kev raug tswj hauv ± 0.01 hli, kev tswj hwm qhov tseeb ntawm lub zog sib tsoo thiab qhov chaw, kom qhov du ntawm qhov chaw ntawm lub lens kom ua tiav qhov tseeb nanoscale, kom ua tau raws li cov cuab yeej kho qhov muag qhov xav tau siab rau lub lens.
Kev sib txuas ntawm kev sib kis tau zoo thiab kev ruaj khov ntawm cov qauv
Cov qauv ntawm cov khoom granite yog compact thiab sib xws, uas tsis yooj yim rau kev puas tsuaj los ntawm kev qaug zog hauv kev siv ntev, thiab muab lub hauv paus ruaj khov thiab txhim khu kev qha rau lub platform lub cev xa xov. Thaum lub sijhawm ceev ceev reciprocating txav, cov khoom xa xov ntawm lub platform xws li cov ntsia hlau txhuas thiab cov lus qhia kev tsheb ciav hlau ua haujlwm ua ke nrog cov khoom granite. Vim yog qhov ruaj khov ntawm cov khoom granite, kev sib txuas ntawm cov khoom xa xov yog du dua, txo qhov tshwm sim ntawm stuttering los ntawm kev hloov pauv ntawm qhov sib phim. Hauv cov txheej txheem slating ntawm semiconductor chip manufacturing, XYZT platform yuav tsum tau ua tiav kev txav mus los ceev thiab nquag txiav hauv thaj chaw me me heev. Cov khoom granite ua kom ntseeg tau tias kev ua haujlwm raug ntawm lub cev xa xov, thiab qhov tseeb ntawm qhov chaw txiav tuaj yeem ncav cuag ± 0.005 hli, zoo zam cov teeb meem xws li dislocation thiab ntug tawg hauv cov txheej txheem txiav chip, thiab txhim kho cov txiaj ntsig ntawm kev tsim chip.
Lub sijhawm tshaj tawm: Plaub Hlis-15-2025