Hauv lub ntiaj teb uas muaj ntau yam tshuab ua haujlwm tau zoo heev—qhov twg cov tshuab pom kev ua haujlwm tau ntau lab cov ntaub ntawv ib ob thiab cov cav linear nrawm nrawm raws cov kabmob cua—qhov tseem ceeb tshaj plaws yog qhov ruaj khov ntawm cov duab geometric. Txhua lub tshuab siab heev, txij li cov khoom siv tshuaj xyuas wafer mus rau cov tshuab txiav laser loj, yuav tsum taug qab nws keeb kwm rov qab mus rau kab thiab lub dav hlau uas tuaj yeem txheeb xyuas tau. Qhov kev xav tau tseem ceeb no yog vim li cas cov cuab yeej ntsuas tshwj xeeb, tshwj xeeb yog cov kav hlau granite ncaj nrog 2 qhov chaw precision, cov cai granite linear, thiabcov cai sib luag ntawm granite plane, tseem yog cov qauv tseem ceeb hauv kev tsim khoom siv high-tech.
Cov cuab yeej no tsis yog tsuas yog cov pob zeb uas tau ci ntsa iab xwb; lawv yog cov qauv ntawm cov qauv thoob ntiaj teb, muab cov ntaub ntawv tsis hloov pauv uas siv cov tshuab niaj hnub no los txhais, txheeb xyuas, thiab them rov qab.
Lub Physics ntawm Qhov Tseeb ntawm Qhov Ntev
Qhov kev vam khom granite txuas ntxiv mus rau hauv lub sijhawm nanometer yog lub hauv paus tob hauv cov khoom siv physics, qhov twg cov ntaub ntawv engineering ib txwm muaj xws li hlau lossis cam khwb cia hlau tsuas yog ua tsis tau raws li cov qauv ruaj khov.
Tus yeeb ncuab tseem ceeb ntawm kev ua kom raug yog thermal drift. Cov hlau muaj Coefficient of Thermal Expansion (CTE) siab, txhais tau tias qhov kub thiab txias me ntsis ua rau muaj kev hloov pauv loj. Qhov sib piv, cov granite dub tshwj xeeb muaj CTE qis dua thiab thermal inertia siab. Cov cuab yeej no tso cai rau cov cuab yeej granite kom ruaj khov tiv thaiv kev hloov pauv kub ib puag ncig, muab cov kab siv lossis lub dav hlau uas kwv yees tau thiab yuav luag tsis cuam tshuam rau suab nrov ib puag ncig.
Tsis tas li qhov kub thiab txias, kev ua kom lub tshuab nqus dej yog qhov tseem ceeb heev. Granite muaj peev xwm nqus dej sab hauv siab heev, ua rau nws nqus tau lub zog tshuab sai sai thiab tshem tawm kev co. Ib lub ntsuas hlau, thaum raug cuam tshuam, feem ntau yuav ua rau lub suab nrov, ua rau qhov yuam kev kis mus rau hauv lub kaw lus uas raug ntsuas. Txawm li cas los xij, lub ntsuas ncaj ntawm granite sai sai poob qis, ua kom ntseeg tau tias qhov kev ntsuas qhia txog qhov tseeb ntawm lub hom phiaj, tsis yog kev co ntawm lub cuab yeej ntsuas nws tus kheej. Qhov no yog qhov tseem ceeb tshwj xeeb thaum cuam tshuam nrog cov kab ke mus ncig ntev lossis kev sib dhos kho qhov muag siab.
Txhais Linearity: Tus Kav Hlau Ncaj Qha Granite nrog 2 Qhov Chaw Uas Muaj Kev Ntsuas Tseeb
Qhov yuav tsum tau ua kom ncaj tshaj plaws thiab tseem ceeb tshaj plaws hauv kev tsim tshuab yog qhov ncaj. Txhua txoj kev qhia, lub cev tsheb thauj khoom, thiab theem txhais lus vam khom txoj kab ncaj nraim. Tus pas ntsuas ncaj granite nrog 2 qhov chaw raug yog lub zog ua haujlwm ntawm cov txheej txheem no, muab cov ntug ncaj uas tau lees paub thiab, qhov tseem ceeb, lub dav hlau sib luag.
Muaj ob lub ntsej muag uas muaj qhov tseeb siab thiab sib txawv ua rau tus pas ntsuas siv tsis yog rau kev txheeb xyuas qhov ncaj ncaj ntawm lub teeb lossis qib hluav taws xob raws ntug ua haujlwm sab saud xwb, tab sis kuj rau kev ua qhov kev kuaj xyuas zoo ntawm kev sib luag thiab kev ntswj hauv cov txaj tshuab. Piv txwv li, thaum teeb tsa cov khoom sib dhos loj lossis cov thav duab tshuab ntev, ob lub ntsej muag sib luag tso cai rau tus kws kho tshuab kom paub tseeb tias ob txoj hlua khi sib cais sib luag rau ib leeg thiab rau lub dav hlau siv tseem ceeb (zoo li lub phaj saum npoo). Qhov kev ua haujlwm ntau yam no ua kom yooj yim rau cov kauj ruam sib dhos tseem ceeb, ua kom ntseeg tau tias lub tshuab tau tsim plaub fab thiab tseeb txij thaum pib mus txog.
Cov nplaim ntawm cov kav no yuav tsum ua tau raws li cov qauv nruj heev, feem ntau tau ntawv pov thawj rau kev kam rau siab ntsuas hauv microns lossis feem pua ntawm lawv, xav tau qib ntawm qhov tiav ntawm qhov chaw uas tsuas yog ua tiav los ntawm cov txheej txheem lapping uas tswj tau zoo.
Kev Ntsuas Ntau Yam: Cov Cai Granite Linear
Cov cai granite linear feem ntau yog ib pawg dav dav rau cov cuab yeej tsim los muab cov ntaub ntawv pov thawj ncaj nraim hla qhov deb tseem ceeb. Cov cai no yog qhov tseem ceeb rau cov haujlwm loj hauv kev lag luam, xws li:
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Kev Qhia Txog Qhov Yuam Kev: Siv ua ke nrog laser interferometers lossis auto-collimators los qhia qhov yuam kev ncaj nraim raws txoj kev mus ncig ntawm lub tshuab axis. Qhov linearity ntawm txoj cai granite muab qhov static baseline uas xav tau rau cov kev ntsuas dynamic rhiab heev no.
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Kev Sib Dhos Ua Ke: Ua haujlwm ua cov jigs ib ntus, tau ntawv pov thawj kom ntseeg tau tias cov khoom loj (xws li cov nqaj choj lossis cov caj npab gantry) tau sib dhos ncaj nraim ua ntej raug khi ruaj khov mus tas li.
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Kev Kho Kom Zoo Dua Cov Cuab Yeej Qib Qis Dua: Muab cov ntaub ntawv tseem ceeb uas siv rau cov cuab yeej qib qis dua, cov cuab yeej ncaj lossis cov lus qhia.
Qhov ua tau ntev thiab ruaj khov ntawm granite txhais tau tias thaum ib txoj cai granite linear tau ntawv pov thawj, nws cov geometric integrity yuav khaws cia ntev dua li ntawm cov cuab yeej hlau sib npaug, txo qhov zaus thiab tus nqi ntawm kev rov kho dua.
Tsim kom muaj lub dav hlau zoo meej: Cov Cai Sib Piv ntawm Granite Plane
Cov cai sib luag ntawm lub tiaj tiaj ntawm granite yog tsim tshwj xeeb los daws qhov xav tau ntawm lub thaiv uas muaj ntawv pov thawj nrog ob lub ntsej muag ua haujlwm sib luag thiab tiaj tus. Thaum cov kav ncaj tsom mus rau qhov ncaj, cov cai sib luag tsom mus rau qhov sib npaug ntawm qhov siab thiab tiaj tus thoob plaws lawv thaj chaw ua haujlwm.
Cov cai no tseem ceeb heev rau:
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Kev Ntsuas thiab Qhov Sib Nrug: Siv ua cov qhov sib nrug meej lossis cov kev txhawb nqa qhov twg qhov siab sib npaug thiab sib luag ntawm ob lub ntsiab lus sib txawv yuav tsum yog qhov tseeb, xws li thaum teeb tsa cov khoom siv kho qhov muag lossis kho qhov siab ntsuas.
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Kev Tshawb Xyuas Lub Rooj Tilt thiab Planarity: Siv rau ntawm cov phaj nto kom paub tseeb tias thaj chaw sib txawv ntawm lub phaj tswj qhov siab sib npaug.
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Kev Ntsuas Qhov Tseeb: Siv rau hauv kev sib dhos ua haujlwm qhov twg qhov kev ncua deb ntawm ob qho sib luag yuav tsum tau tuav rau qhov kev kam rau siab sub-micron, vam khom txoj cai lav qhov sib luag ntawm nws ob lub ntsej muag loj.
Kev tsim cov granite plane parallel rules kom zoo yuav tsum tau tswj hwm qhov kev sib tsoo thiab lapping txheej txheem, kom ntseeg tau tias ob lub ntsej muag tsis yog tsuas yog muaj qhov sib txawv me me xwb tab sis kuj sib npaug zoo meej ntawm txhua qhov chaw hla lawv qhov chaw.
Tus Txheej Txheem Zoo Thoob Ntiaj Teb
Lub hwj chim tom qab cov cuab yeej yooj yim no yog nyob rau hauv lawv daim ntawv pov thawj. Cov chaw tsim khoom ua haujlwm ntawm qhov siab tshaj plaws ntawm kev lag luam precision yuav tsum ua raws li thiab tshaj ntau tus qauv thoob ntiaj teb metrology (xws li DIN, ASME, JIS, thiab GB). Qhov kev mob siab rau kev ua raws li ntau tus qauv yog kev lees paub ncaj qha rau cov neeg siv khoom thoob ntiaj teb - los ntawm cov chaw tsim khoom tsheb German mus rau cov tuam txhab aerospace Asmeskas - tias qhov tseeb geometric txhais los ntawm tus pas ntsuas ncaj qha granite nrog 2 qhov chaw precision yog qhov tseeb thoob ntiaj teb.
Ntxiv mus, cov txheej txheem pov thawj no xav tau kev coj noj coj ua ntawm qhov zoo tshaj plaws. Qhov no txhais tau tias txhua qhov khoom kawg qhov tseeb tsis yog tsuas yog qhov tshwm sim ntawm cov khoom siv txiav siab heev, tab sis ntawm qhov kov kawg uas muab los ntawm cov kws tshaj lij tes-lapping. Cov kws txawj ua tes no, feem ntau muaj ntau tshaj peb caug xyoo ntawm kev paub dhau los, siv lawv cov txuj ci kov kom tshem tawm cov khoom ntawm qib ib-micron, coj cov granite mus rau nws qhov kawg geometry. Cov txuj ci tib neeg no, ua ke nrog kev txheeb xyuas los ntawm cov txheej txheem ntsuas tsis sib cuag zoo li laser interferometers, yog qhov uas muab cov cuab yeej granite no lawv qhov kawg, tsis lees paub txoj cai hauv ntiaj teb ntawm ultra-precision.
Qhov yooj yim, tsis hloov pauv ntawm pob zeb, ua kom zoo tshaj plaws los ntawm cov qauv nruj ntawm kev ntsuas niaj hnub no, tseem yog qhov tseem ceeb hauv lub ntiaj teb nanometer manufacturing uas maj mam thiab muaj zog.
Lub sijhawm tshaj tawm: Lub Kaum Ob Hlis-08-2025