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Hauv kev lag luam ntawm semiconductor manufacturing, tsis siv neeg kho qhov muag tshuaj xyuas (AOI) cov cuab yeej ua lub luag haujlwm tseem ceeb hauv kev ua kom cov chips zoo. Txawm tias kev txhim kho me ntsis hauv nws qhov kev tshawb pom qhov tseeb tuaj yeem ua rau muaj kev hloov pauv loj rau tag nrho kev lag luam. Cov cuab yeej siv hauv paus, ua ib feem tseem ceeb, muaj kev cuam tshuam loj heev rau kev tshawb pom qhov tseeb. Nyob rau hauv xyoo tas los no, kev hloov pauv hauv cov ntaub ntawv hauv paus tau dhau los ntawm kev lag luam. Granite, nrog nws cov kev ua tau zoo ntawm kev vibration, tau maj mam hloov cov khoom siv hlau cam khwb cia thiab dhau los ua qhov nyiam tshiab ntawm AOI tshuaj xyuas cov khoom. Nws cov kev vibration suppression efficiency tau nce 92% piv rau cam khwb cia hlau. Dab tsi thev naus laus zis thiab kev hloov pauv kev lag luam nyob tom qab cov ntaub ntawv no? cov
Cov kev cai nruj rau kev vibration hauv semiconductor AOI tshuaj xyuas cov khoom
Kev tsim cov txheej txheem ntawm semiconductor chips tau nkag mus rau nanoscale era. Thaum lub sij hawm AOI tshuaj ntsuam xyuas, txawm tias me me vibrations yuav ua rau deviations nyob rau hauv cov kev soj ntsuam xyuas. Qhov zoo khawb, voids thiab lwm yam tsis xws luag nyob rau saum npoo ntawm lub nti yog feem ntau nyob rau hauv lub micrometer los yog txawm nanometer theem. Optical lo ntsiab muag ntawm cov cuab yeej tshawb nrhiav yuav tsum tau ntes cov ntsiab lus no nrog kev ua haujlwm siab heev. Ib qho kev vibration kis los ntawm lub hauv paus yuav ua rau lub lens hloov los yog co, ua rau pom qhov muag tsis pom duab thiab yog li cuam tshuam rau qhov tseeb ntawm qhov tsis xws luag.
Cov ntaub ntawv hlau cam khwb cia ib zaug tau siv dav hauv lub hauv paus ntawm AOI tshuaj xyuas cov cuab yeej vim tias lawv muaj qee lub zog thiab kev ua haujlwm, thiab tus nqi kuj tsawg. Txawm li cas los xij, nyob rau hauv cov nqe lus ntawm kev vibration suppression, cam khwb cia hlau muaj qhov tsis txaus ntseeg. Cov qauv sab hauv ntawm cam khwb cia hlau muaj ntau cov nplooj ntawv graphite, uas sib npaug rau cov voids me me hauv thiab cuam tshuam cov khoom txuas ntxiv. Thaum cov cuab yeej ua haujlwm thiab tsim kev vibration, lossis cuam tshuam los ntawm ib puag ncig ib puag ncig kev co, lub zog vibration tsis tuaj yeem ua tau zoo nyob rau hauv cov hlau cam tab sis yog lossi cuam tshuam thiab superimposed ntawm daim ntawv graphite thiab cov matrix, uas ua rau cov propagation tsis tu ncua ntawm kev co. Cov kev sim cuam tshuam qhia tau hais tias tom qab lub hauv paus hlau cam khwb cia zoo siab los ntawm kev co sab nraud, lub sijhawm vibration attenuation tuaj yeem kav ntev li ob peb vib nas this, uas yuav muaj kev cuam tshuam loj rau kev tshawb pom qhov tseeb ntawm lub sijhawm no. Tsis tas li ntawd, lub elastic modulus ntawm cam khwb cia hlau yog kuj tsawg. Raws li kev ua haujlwm ntev ntawm cov khoom siv lub ntiajteb txawj nqus thiab kev vibration kev nyuaj siab, nws yog feem ntau deformation, ntxiv zog rau kev co kis tau tus mob. cov
Qhov zais cia tom qab 92% nce hauv kev vibration suppression efficiency ntawm granite hauv paus
Granite, raws li ib hom pob zeb ntuj, tau tsim ib qho kev tsim tawm ntom ntom ntom thiab tsis muaj zog sab hauv los ntawm cov txheej txheem ntawm cov ntau ntau lab xyoo. Nws yog tsim los ntawm cov pob zeb hauv av xws li quartz thiab feldspar zoo sib xyaw, thiab cov tshuaj sib txuas ntawm cov muaju muaj zog thiab ruaj khov. Cov qauv no endows granite nrog zoo heev vibration suppressing peev xwm. Thaum lub vibration yog kis mus rau lub hauv paus granite, cov pob zeb hauv pob zeb hauv nws tuaj yeem hloov lub zog vibration mus rau hauv lub zog kub thiab dissipate nws. Cov kev tshawb fawb pom tau hais tias qhov damping ntawm granite yog ob peb zaug siab dua li cov hlau cam khwb cia, uas txhais tau hais tias nws tuaj yeem nqus tau lub zog vibration zoo dua, txo qhov amplitude thiab lub sijhawm ntawm kev co. Tom qab kev sim, nyob rau hauv tib lub vibration excitation tej yam kev mob, lub vibration attenuation lub sij hawm ntawm lub granite puag tsuas yog 8% ntawm cov cam khwb cia hlau, thiab kev co stabilization efficiency tau nce los ntawm 92%. cov
Lub siab hardness thiab siab elastic modulus ntawm granite kuj pab tau zoo heev. Lub siab hardness xyuas kom meej tias lub hauv paus yuav tsis tshua muaj deform thaum bearing qhov hnyav ntawm cov khoom siv thiab lwm yam quab yuam cuam tshuam, thiab ib txwm tuav ib qho kev txhawb nqa ruaj khov. Lub siab elastic modulus xyuas kom meej tias lub hauv paus tuaj yeem rov qab mus rau nws cov qauv qub thaum raug kev co, txo cov tsub zuj zuj ntawm kev co. Tsis tas li ntawd, granite muaj kev ruaj ntseg zoo heev thiab yuav luag tsis cuam tshuam los ntawm kev hloov pauv ntawm ib puag ncig qhov kub thiab txias, tsis txhob thermal expansion thiab contraction deformation los ntawm qhov kub thiab txias, yog li ntxiv kom muaj kev ruaj ntseg ntawm kev vibration kev ua haujlwm. cov
Kev lag luam hloov pauv thiab kev cia siab tau coj los ntawm granite hauv paus
AOI cov cuab yeej tshuaj xyuas nrog lub hauv paus granite tau txhim kho nws qhov kev tshawb pom qhov tseeb. Nws tuaj yeem txheeb xyuas qhov tsis xws luag hauv cov chips me me, txo qhov kev txiav txim siab tsis zoo rau hauv 1% thiab txhim kho cov txiaj ntsig ntawm cov chips ntau lawm. Lub caij no, kev ruaj ntseg ntawm cov khoom siv tau raug txhim kho, txo cov kev kaw haujlwm rau kev saib xyuas los ntawm cov teeb meem kev co, ncua kev pab cuam lub neej ntawm cov cuab yeej, thiab txo cov nqi khiav lag luam tag nrho. cov
Post lub sij hawm: May-14-2025