Nyob rau hauv cov teb ntawm high-end manufacturing thiab txiav-ntim kev tshawb fawb, precision static siab cua floating txav platform yog cov cuab yeej tseem ceeb kom ua tiav ultra-precision lag luam. Lub hauv paus granite precision yog lub hauv paus txhawb nqa ib feem ntawm lub platform, thiab nws cov kev ua tau zoo muaj feem xyuam rau qhov chaw ua haujlwm. Kev nkag siab thiab ua tau raws li cov kev cai ib puag ncig no tuaj yeem tsis tsuas yog ua kom muaj kev ua haujlwm siab ntawm lub platform, tab sis kuj yog ib feem tseem ceeb ntawm kev lag luam txhawm rau txhim kho nws cov kev sib tw hauv cov haujlwm muaj feem xyuam, uas tau piav qhia hauv qab no.
1. Kub: kev tswj kom meej kom ruaj ntseg
Txawm hais tias granite paub txog nws qhov kev ruaj ntseg, nws cov coefficient ntawm thermal expansion tsis yog xoom, thiab cov kev hloov kub me me tseem tuaj yeem cuam tshuam rau nws qhov raug. Feem ntau hais lus, thermal expansion coefficient ntawm granite yog 5-7 × 10⁻⁶ / ℃. Nyob rau hauv daim ntawv thov scenario ntawm precision static siab cua floating txav platform, qhov kev hloov me ntsis no yog amplified los ntawm lub platform, uas tej zaum yuav ua rau lub deviation ntawm txav raug. Piv txwv li, nyob rau hauv cov txheej txheem semiconductor nti, cov txheej txheem lithography rau qhov tseeb qhov yuav tsum tau muaj ntawm qib danami, qhov kub thiab txias hloov ntawm 1 ° C, sab ntev ntawm 1 meter granite puag yuav tsim 5-7 microns ntawm linear expansion lossis contraction, uas yog txaus los ua kom cov nti lithography sib txawv, txo cov yield. Yog li ntawd, lub precision static siab huab cua floating platform nruab nrog granite precision puag, qhov zoo tagnrho chaw ua hauj lwm kub yuav tsum nruj me ntsis tswj ntawm 20 ° C ± 1 ° C, cov tuam txhab muaj peev xwm nruab high-precision qhov kub thiab txias cua txias system, tsis tu ncua saib xyuas thiab kho qhov kub thiab txias, tswj qhov loj ntawm granite puag stability, kom ntseeg tau tias lub platform high-precision ua haujlwm.
2.humidity: tsim nyog tswj, tiv thaiv lub hauv paus kev ua tau zoo
Humidity kuj muaj qhov cuam tshuam tseem ceeb ntawm precision granite bases. Nyob rau hauv ib puag ncig high humidity, granite yog ib qho yooj yim rau nqus dej vapor, thiab tej zaum yuav muaj condensation nyob rau saum npoo, uas yuav tsis tsuas cuam tshuam rau cov kev ua hauj lwm ntawm huab cua flotation system, tab sis kuj ua rau lub sij hawm ntev yaig ntawm granite nto, txo nws cov raug thiab kev pab cuam lub neej. Ua piv txwv, yog tias cov av noo siab dua 60% RH ntev, cov dej vapor adsorbed rau saum npoo ntawm granite yuav rhuav tshem qhov sib xws ntawm cov huab cua ntab zaj duab xis, uas ua rau txo qis ntawm qhov sib tsoo qhov tseeb thiab qhov chaw tsis zoo. Yog li, qhov txheeb ze av noo ntawm qhov chaw ua haujlwm yuav tsum tau tswj ntawm 40% -60% RH. Cov lag luam tuaj yeem siv cov dehumidifiers, av noo sensors thiab lwm yam khoom siv los saib xyuas thiab tswj cov av noo nyob rau lub sijhawm, tsim kom muaj cov av noo tsim nyog rau lub hauv paus precision granite, thiab xyuas kom ruaj khov ua haujlwm ntawm precision static siab huab cua floating txav platform.
3. huv huv: nruj me ntsis tswj, tshem tawm particle cuam tshuam
Plua plav hais yog "tus yeeb ncuab" ntawm qhov tseeb static siab huab cua ntab txav platform, thiab ua rau muaj kev phom sij zoo rau granite precision puag. Thaum cov khoom me me nkag mus rau qhov sib txawv ntawm cov pa roj carbon monoxide ntawm cov roj av ntab slider thiab lub hauv paus granite, lawv tuaj yeem rhuav tshem qhov sib xws ntawm cov yeeb yaj kiab roj, ua kom muaj kev sib txhuam, thiab txawm khawb qhov chaw ntawm lub hauv paus, cuam tshuam rau qhov tseeb ntawm lub platform txav. Nyob rau hauv lub ultra-precision machining rhiav ntawm aerospace qhov chaw, yog hais tias cov plua plav hais nyob rau hauv cov huab cua poob rau ntawm granite puag, lub zog trajectory ntawm lub machining cuab tam yuav deviated, cuam tshuam lub machining raug ntawm qhov chaw. Yog li ntawd, thaj chaw ua haujlwm yuav tsum tau ceev kom huv si thiab ncav cuag tus qauv kev huv ntawm 10,000 lossis siab dua. Cov lag luam tuaj yeem lim tawm cov plua plav hauv huab cua los ntawm kev txhim kho cov huab cua lim (HEPA), thiab xav kom cov neeg ua haujlwm hnav cov khaub ncaws tsis muaj plua plav, khau npog, thiab lwm yam, kom txo tau cov plua plav coj los ntawm tib neeg, thiab tswj hwm qhov kev ua haujlwm siab ntawm granite puag thiab precision siab zoo li qub huab cua floating txav platform.
4. Kev vibration: Kev sib cais zoo los tsim qhov chaw du
Kev co sab nraud yuav cuam tshuam rau qhov tseeb ntawm qhov tseeb ntawm qhov siab zoo li qub huab cua ntab platform, txawm hais tias qhov tseeb granite puag muaj qee qhov kev co attenuation muaj peev xwm, tab sis lub zog siab vibration tseem tuaj yeem ua txhaum nws qhov txwv tsis pub. Kev vibration tsim los ntawm kev khiav tsheb nyob ib ncig ntawm lub Hoobkas thiab kev ua haujlwm ntawm cov cuab yeej siv tshuab loj yog xa mus rau granite puag hauv av, uas yuav cuam tshuam qhov tseeb ntawm lub platform txav. Nyob rau hauv high-end CMM, kev co yuav ua rau kev sib cuag ntawm lub ntsuas ntsuas thiab lub workpiece yuav tsum ntsuas tsis ruaj, ua rau deviation ntawm cov ntaub ntawv ntsuas. Yuav kom daws tau qhov teeb meem no, nws yog ib qho tsim nyog yuav tsum tau txais kev ntsuas kev vibration kom zoo, xws li tso cov kev co cais tawm hauv cov khoom siv hauv cheeb tsam, lub hauv paus kev co kev sib cais, los yog siv cov kev vibration cais tawm kom muaj zog cuam tshuam rau sab nraud kev co, thiab tsim kom muaj qhov chaw nyob ntsiag to thiab ruaj khov ua haujlwm rau granite precision puag thiab precision static siab cua ntab txav platform.
Ua tau raws li qhov xav tau ntawm ib puag ncig saum toj no, txhawm rau muab kev ua si tag nrho rau qhov zoo ntawm granite precision puag nyob rau hauv qhov tseeb zoo li qub siab huab cua floating txav platform, kom ntseeg tau tias lub platform muab cov kev pabcuam siab-siab thiab ruaj khov rau ntau yam kev lag luam. Yog tias cov tuam txhab tuaj yeem mloog cov ntsiab lus no hauv ib puag ncig tsim khoom, lawv yuav txeeb lub sijhawm hauv kev tsim khoom, kev tshawb fawb thiab lwm yam kev lag luam, txhim kho lawv cov kev sib tw, thiab ua tiav txoj kev loj hlob.
Lub sij hawm xa tuaj: Plaub Hlis-10-2025