Hauv cov teb ntawm kev tsim khoom siab thiab kev tshawb fawb txog kev tshawb fawb tshiab, lub platform txav mus los uas muaj lub zog siab zoo li qub yog cov khoom siv tseem ceeb los ua kom tiav kev ua haujlwm zoo heev. Lub hauv paus granite precision yog lub hauv paus tseem ceeb ntawm lub platform, thiab nws cov kev ua tau zoo muaj feem cuam tshuam nrog qhov chaw ua haujlwm. Kev nkag siab thiab ua tau raws li cov kev cai ib puag ncig no tsis yog tsuas yog ua kom muaj kev ua haujlwm siab ntawm lub platform xwb, tab sis kuj yog ib feem tseem ceeb ntawm lub tuam txhab los txhim kho nws txoj kev sib tw hauv cov teb cuam tshuam, uas tau piav qhia meej hauv qab no.
1. Kub: kev tswj kom meej kom ntseeg tau tias muaj kev ruaj khov ntawm qhov ntev
Txawm hais tias granite paub txog nws qhov ruaj khov, nws cov coefficient ntawm thermal expansion tsis yog xoom, thiab qhov kub me me hloov pauv tseem yuav cuam tshuam rau nws qhov tseeb. Feem ntau hais lus, qhov thermal expansion coefficient ntawm granite yog 5-7 × 10⁻⁶ / ℃. Hauv daim ntawv thov scenario ntawm precision static pressure air floating movement platform, qhov kev hloov pauv me me no yog amplified los ntawm lub platform, uas yuav ua rau qhov sib txawv ntawm qhov tseeb txav mus los. Piv txwv li, hauv cov txheej txheem semiconductor chip manufacturing, cov txheej txheem lithography rau qhov chaw raug qhov yuav tsum tau ntawm danami theem, qhov kub ambient fluctuation ntawm 1 ° C, sab ntev ntawm 1 meter granite puag yuav tsim 5-7 microns ntawm linear expansion lossis contraction, uas yog txaus los ua rau cov qauv chip lithography deviation, txo cov txiaj ntsig. Yog li ntawd, lub precision static pressure air floating platform nruab nrog granite precision puag, qhov kub zoo tagnrho ua haujlwm yuav tsum tau tswj hwm nruj me ntsis ntawm 20 ° C ± 1 ° C, cov lag luam tuaj yeem nruab high-precision tas li kub cua txias system, tas li saib xyuas thiab kho qhov kub ambient kom raug, tswj qhov loj ntawm granite puag ruaj khov, kom ntseeg tau tias lub platform high-precision ua haujlwm.
2. av noo: kev tswj hwm tsim nyog, tiv thaiv kev ua tau zoo ntawm lub hauv paus
Cov av noo kuj muaj feem cuam tshuam loj rau cov hauv paus granite precision. Hauv qhov chaw muaj av noo siab, granite yooj yim nqus cov dej noo, thiab tej zaum yuav muaj cov dej noo ntawm qhov chaw, uas yuav tsis tsuas yog cuam tshuam rau kev ua haujlwm ib txwm ntawm lub tshuab cua ntab, tab sis kuj ua rau lub ntsej muag granite puas tsuaj mus sij hawm ntev, txo nws qhov tseeb thiab lub neej ua haujlwm. Piv txwv li, piv txwv li, yog tias cov av noo siab dua 60% RH ntev, cov dej noo uas nqus rau ntawm qhov chaw ntawm lub hauv paus granite yuav ua rau puas tsuaj ntawm cov zaj duab xis ntab cua, ua rau qhov tseeb ntawm kev sib tsoo lens thiab qhov tsis zoo ntawm qhov chaw. Yog li ntawd, qhov av noo ntawm qhov chaw ua haujlwm yuav tsum tau tswj ntawm 40% -60% RH. Cov lag luam tuaj yeem siv cov tshuab dehumidifiers, cov cuab yeej ntsuas av noo thiab lwm yam khoom siv los saib xyuas thiab tswj cov av noo hauv lub sijhawm tiag tiag, tsim kom muaj ib puag ncig av noo rau lub hauv paus granite precision, thiab xyuas kom meej tias kev ua haujlwm ruaj khov ntawm lub platform txav mus los precision static pressure.
3. kev huv: tswj hwm nruj me ntsis, tshem tawm cov khoom cuam tshuam
Cov hmoov av me me yog "tus yeeb ncuab" ntawm lub platform txav mus los uas muaj zog thiab ruaj khov, thiab ua rau lub hauv paus granite raug mob hnyav. Thaum cov hmoov av me me nkag mus rau hauv qhov sib txawv ntawm cov roj zaj duab xis ntawm lub slider thiab lub hauv paus granite, lawv yuav ua rau lub roj zaj duab xis puas tsuaj, ua rau muaj kev sib txhuam ntau ntxiv, thiab txawm tias khawb qhov chaw ntawm lub hauv paus, ua rau muaj kev cuam tshuam loj heev rau qhov tseeb ntawm lub platform txav mus los. Hauv lub chaw ua haujlwm machining ultra-precision ntawm cov khoom siv aerospace, yog tias cov hmoov av hauv huab cua poob rau ntawm lub hauv paus granite, txoj kev txav mus los ntawm cov cuab yeej machining yuav raug hloov pauv, cuam tshuam rau qhov tseeb ntawm cov khoom. Yog li ntawd, thaj chaw ua haujlwm yuav tsum tau khaws cia kom huv si thiab ncav cuag tus qauv kev huv ntawm 10,000 lossis siab dua. Cov lag luam tuaj yeem lim cov hmoov av hauv huab cua los ntawm kev teeb tsa cov lim cua ua haujlwm zoo (HEPA), thiab xav kom cov neeg ua haujlwm hnav khaub ncaws tsis muaj hmoov av, khau npog, thiab lwm yam, kom txo cov hmoov av uas tib neeg coj los, thiab tswj hwm qhov chaw ua haujlwm siab ntawm lub hauv paus granite thiab lub platform txav mus los uas muaj zog thiab ruaj khov.
4. Kev co: Kev rho tawm zoo los tsim kom muaj qhov chaw du
Kev co sab nraud yuav cuam tshuam loj heev rau qhov tseeb ntawm lub platform precision static pressure air floating, txawm hais tias lub hauv paus granite precision muaj qee qhov kev co attenuation peev xwm, tab sis lub zog siab vibration tseem yuav tawg nws qhov txwv buffer. Kev co tsim los ntawm kev tsheb khiav ib puag ncig lub Hoobkas thiab kev ua haujlwm ntawm cov khoom siv loj yog xa mus rau lub hauv paus granite los ntawm hauv av, uas yuav cuam tshuam rau qhov tseeb ntawm kev txav mus los ntawm lub platform. Hauv high-end CMM, kev co yuav ua rau qhov kev sib cuag ntawm qhov ntsuas thiab qhov workpiece kom tsis ruaj khov, ua rau muaj kev hloov pauv ntawm cov ntaub ntawv ntsuas. Txhawm rau daws qhov teeb meem no, nws yog qhov tsim nyog los siv cov kev ntsuas kev co zoo, xws li tso cov ntaub thaiv kev co hauv thaj chaw teeb tsa khoom siv, tsim lub hauv paus kev co, lossis siv lub kaw lus kev co nquag los cuam tshuam kev co sab nraud, thiab tsim kom muaj qhov chaw ua haujlwm ntsiag to thiab ruaj khov rau lub hauv paus granite precision thiab precision static pressure air floating movement platform.
Ua kom tau raws li cov kev cai ib puag ncig saum toj no, txhawm rau muab kev ua si tag nrho rau qhov zoo ntawm granite precision base hauv lub precision static pressure air floating movement platform, kom ntseeg tau tias lub platform muab kev pabcuam tswj kev txav mus los siab thiab ruaj khov rau ntau yam lag luam. Yog tias cov tuam txhab lag luam tuaj yeem ua tib zoo mloog cov ntsiab lus no hauv qhov chaw tsim khoom, lawv yuav siv lub sijhawm hauv kev tsim khoom raug, kev tshawb fawb thiab lwm yam teb, txhim kho lawv qhov kev sib tw, thiab ua tiav kev txhim kho ruaj khov.
Lub sijhawm tshaj tawm: Plaub Hlis-10-2025