Kev lag luam semiconductor thoob ntiaj teb tam sim no tab tom koom nrog kev ua raws li "Angstrom Era," qhov twg qhov ntev ntawm transistor raug ntsuas hauv qhov dav ntawm ob peb lub atoms. Thaum lithography thiab cov cuab yeej tshuaj xyuas hloov mus rau cov nplai me me no, qhov kev thov rau kev ruaj khov ntawm cov qauv tau hloov pauv ntawm "macro" mus rau "nano." Hauv plawv ntawm qhov kev hloov pauv no yog cov khoom siv uas qub npaum li lub ntiaj teb nws tus kheej: Precision Granite.
Txawm hais tias ntau tus neeg pom granite ua pob zeb yooj yim, hauv cov ntsiab lus ntawm ib qhotheem nanopositioninglos yog lub kaw lus tshuaj xyuas wafer ceev ceev, nws yog ib qho khoom siv ua vaj tse zoo heev. Kev nkag siab txog qhov sib txawv ntawm cov cuab yeej ntsuas yooj yim thiab cov platform txav mus los siab heev yog qhov tseem ceeb rau OEMs uas tab tom nrhiav kev thawb cov ciam teb ntawm qhov ua tau hauv kev tsim silicon.
Granite CMM vs. Granite Surface Plate: Nkag Siab Txog Kev Hloov Pauv Engineering
Hauv ntau lub chaw soj nstuam zoo, covGranite Nto Phajyog ib qho khoom siv uas siv tau txhua qhov chaw - ib qho kev siv tau zoo, tiaj tus rau kev ntsuas tes. Txawm li cas los xij, muaj kev nkag siab yuam kev tias lub phaj nto thiab lub hauv paus Granite CMM (Coordinate Measuring Machine) yog sib pauv tau. Los ntawm kev xav txog engineering, lawv sawv cev rau ob qib sib txawv ntawm qhov nyuaj.
Ib lub phaj nto yog tsim los rau kev ruaj khov zoo li qub. Nws txoj haujlwm tseem ceeb yog kom nyob tiaj tus hauv qab lub nra hnyav. Qhov sib txawv, lub hauv paus granite rau CMM lossis theem precision yuav tsum tswj cov nra hnyav dynamic. Thaum lub choj ntawm CMM txav mus los lossis lub cev muaj zog linear ua kom nrawm dua theem wafer ntawm ntau Gs, lub granite yuav tsum tiv taus tsis yog tsuas yog khoov, tab sis kuj tseem torsion thiab harmonic resonance.
Cov kws ua haujlwm ZHHIMG xaiv tshwj xeeb "Black Granite" rau cov ntawv thov dynamic vim nws qhov ceev dua thiab cov qauv noob zoo dua. Txawm hais tias lub phaj nto txheem yuav siv ntau yam porous, lub hauv paus CMM xav tau Young's Modulus siab tshaj plaws kom ntseeg tau tias "snap" ntawm kev txav mus los ceev ceev tsis txhais ua lub suab nrov uas yuav ua rau cov ntaub ntawv ntsuas puas tsuaj.
Cov Theem Kev Ntsuas Tseeb hauv Kev Tsim Khoom Semiconductor: Lub Hauv Paus ntawm Kev Ua Tau Zoo
Hauv kev tsim khoom semiconductor, throughput thiab yield yog ob qho tseem ceeb tshaj plaws. Ob qho tib si yog nyob ntawm kev ua tau zoo ntawmcov theem ua kom raugTxawm hais tias nws yog theem wafer hauv lub tshuab DUV / EUV lithography lossis lub kaw lus tso rau hauv lub cuab yeej Automated Optical Inspection (AOI), cov khoom siv hauv paus yuav tsum pab txhawb kev rov ua dua sub-nanometer.
Qhov teeb meem tseem ceeb hauv lub Hoobkas yog cua sov. Cov cav linear thiab cov actuators tsim cov zog thermal loj heev. Yog tias lub hauv paus theem tau ua los ntawm txhuas lossis hlau, qhov kev nthuav dav thermal yuav ua rau lub wafer txav tawm ntawm qhov sib dhos, ua rau "overlay errors" uas ua rau tag nrho cov chips puas tsuaj.
Granite tus coefficient qis heev ntawm thermal expansion (CTE) ua kom ntseeg tau tias txawm tias lub cev muaj zog kub, lub cev "daim ntawv qhia" ntawm theem tseem nyob ruaj khov. Ntxiv mus, ZHHIMG muab cov khoom granite tshwj xeeb nrog cov kev sib xyaw ua ke ntawm huab cua. Vim tias granite tuaj yeem raug lapped rau qhov tiaj tiaj zoo li daim iav, nws ua haujlwm ua lub ntsej muag zoo meej rau cov huab cua bearings, tso cai rau theem kom "ntab" ntawm ib zaj duab xis nyias ntawm huab cua nrog xoom kev sib txhuam thiab xoom stiction.
Lub Physics ntawm Nanopositioning Theem Base
Thaum peb nkag mus rau hauv lub ntiaj teb ntawm kev ua tsov ua rogtheem nanopositioning, peb tab tom cuam tshuam nrog kev txav me dua li cov plaub hau tib neeg los ntawm qhov sib piv ntawm 10,000. Ntawm qib no, kev co yog tus yeeb ncuab. Cov plag tsev lag luam ib txwm co tas li vim yog HVAC systems, kev taug kev, thiab cov tshuab nyob ze.
Granite ua haujlwm ua lub lim dej loj heev uas tsis muaj zog. Vim nws qhov hnyav thiab kev cuam tshuam sab hauv siab, nws nqus cov kev co siab ua ntej lawv tuaj yeem ncav cuag cov sensors rhiab heev lossis lub wafer nws tus kheej. Qhov "kev cais tawm tsis siv neeg" no yog qhov laj thawj vim li cas cov neeg muab khoom lithography hauv ntiaj teb thiaj li cia siab rau ZHHIMG los muab cov hauv paus hnyav, ruaj khov rau lawv cov theem sib xws nrog lub tshuab nqus tsev. Peb cov granite tau kho tshwj xeeb kom ntseeg tau tias tsis muaj pa tawm, ua rau nws haum rau cov chaw muaj pa tawm siab uas xav tau rau cov txheej txheem electron-beam thiab EUV.
Lapping mus rau qhov txwv: Qhov zoo ntawm ZHHIMG
Kev hloov pauv ntawm ib lub pob zeb nyoos mus rau ib qho khoom siv semiconductor-qib yog ib txoj kev taug kev ntawm kev ua siab ntev heev. Thaum CNC sib tsoo ua rau peb nyob ze, qib "Super-Precision" kawg yog ua tiav los ntawm kev siv tes-lapping. Qhov no yog ib qho txheej txheem uas cov kws tshaj lij ZHHIMG siv cov nplaum abrasive thiab kev txav tes los txiav cov feem ntawm ib lub micron ib zaug.
Rau ib qhotheem nanopositioning, qhov tiaj tiaj tsis yog qhov yuav tsum tau ua xwb; kev sib luag thiab kev sib ncaj ntawm cov nplaim qhia kuj tseem ceeb ib yam. Peb lub chaw siv cov laser trackers thiab cov theem hluav taws xob nrog kev daws teeb meem ntawm 0.1 arc-seconds los xyuas kom meej tias txhua lub axis tau sib dhos zoo meej. Qib kev ua haujlwm no ua kom ntseeg tau tias thaum tus neeg siv khoom teeb tsa lawv cov motors linear thiab encoders, lub hauv paus kho tshuab yog ze rau "zoo meej" raws li physics tso cai.
Kev Txhim Kho Yav Tom Ntej ntawm Fab
Thaum kev lag luam txav mus rau 2nm nodes thiab dhau mus, qhov yuav tsum tau ua rau cov khoom siv huv thiab qhov ruaj khov ntawm qhov ntev tsuas yog yuav ua rau muaj zog ntxiv. Kev koom ua ke ntawm granite nrog lwm cov ntaub ntawv siab heev - xws li cov choj carbon fiber lossis cov khoom siv nqus tsev ceramic - yog ciam teb tom ntej hauv kev tswj kev txav mus los.
ZHHIMG tseem cog lus tias yuav ua ntau tshaj li tus neeg muab khoom xwb; peb yog tus khub koom tes hauv kev xa khoom thoob ntiaj teb. Los ntawm kev muab cov hauv paus ruaj khov uas xav tau rau tiam tom ntej ntawm cov theem precision, peb tab tom pab tsim cov tshuab uas tsim lub neej yav tom ntej.
Lub sijhawm tshaj tawm: Lub Ob Hlis-02-2026