Nyob rau hauv tus txheej txheem ntawm kev lag luam semiconductor txav mus rau nanoscale manufacturing txheej txheem, wafer txiav, raws li ib tug tseem ceeb txuas nyob rau hauv nti manufacturing, muaj tsis tshua muaj yuav tsum tau nruj me ntsis rau cov khoom stability. Lub hauv paus granite, nrog nws zoo heev kev co kuj thiab thermal stability, tau dhau los ua ib qho tseem ceeb ntawm wafer txiav cov cuab yeej, muab ib tug txhim khu kev qha guarantee rau ua tiav high-precision thiab high-efficiency wafer ua. cov
High damping thiab anti-vibration yam ntxwv: Safeguarding nano-theem txiav raug
Thaum lub wafer txiav cov cuab yeej ua haujlwm, qhov kev sib hloov ceev ntawm cov ntxaiv, qhov kev vibration siab ntawm cov cuab yeej txiav, thiab ib puag ncig kev co tsim los ntawm cov cuab yeej nyob ib puag ncig yuav muaj kev cuam tshuam loj rau kev txiav raug. Lub damping kev ua tau zoo ntawm cov tsoos hlau puag yog txwv, ua rau nws nyuaj rau sai attenuate vibrations, uas ua rau micron-theem jitter ntawm cov cuab yeej txiav thiab ncaj qha ua rau tsis xws luag xws li chipped npoo thiab tawg ntawm wafers. Lub siab damping yam ntxwv ntawm lub hauv paus granite muaj peev xwm daws tau qhov teeb meem no. cov
Cov ntxhia pob zeb hauv cov pob zeb ntawm granite yog sib cuam tshuam zoo sib xws, tsim kom muaj lub zog ua kom muaj zog. Thaum lub vibration yog kis mus rau lub hauv paus, nws cov microstructure sab hauv tuaj yeem hloov lub zog vibration mus rau hauv thermal zog, ua tiav kev co attenuation. Kev sim cov ntaub ntawv qhia tau hais tias nyob rau hauv tib lub vibration ib puag ncig, lub hauv paus granite tuaj yeem attenuate lub vibration amplitude los ntawm ntau tshaj 90% nyob rau hauv 0.5 vib nas this, thaum lub hauv paus hlau yuav tsum tau 3 mus rau 5 vib nas this. Qhov zoo tshaj plaws damping kev ua tau zoo ua kom ntseeg tau tias cov cuab yeej txiav tau ruaj khov thaum lub sij hawm txiav nanoscale, lav lub npoo du ntawm cov wafer txiav thiab ua tau zoo txo tus nqi chipping. Piv txwv li, nyob rau hauv cov txheej txheem 5nm wafer txiav, cov khoom siv nrog lub hauv paus granite tuaj yeem tswj cov chipping loj hauv 10μm, uas yog ntau dua 40% siab dua li cov khoom siv nrog lub hauv paus hlau. cov
Ultra-low coefficient ntawm thermal expansion: Resistant mus rau qhov cuam tshuam ntawm qhov kub thiab txias
Thaum lub sij hawm wafer txiav cov txheej txheem, cua sov tsim los ntawm kev sib txhuam ntawm cov cuab yeej txiav, cua sov dissipation los ntawm kev ua haujlwm ntev ntawm cov cuab yeej, thiab kev hloov pauv hauv qhov chaw ua haujlwm kub tuaj yeem ua rau thermal deformation ntawm cov khoom siv. Cov coefficient ntawm thermal expansion ntawm cov khoom siv hlau yog qhov siab (kwv yees li 12 × 10⁻⁶ / ℃). Thaum qhov kub hloov pauv los ntawm 5 ℃, 1-meter-ntev hlau puag yuav raug deformation ntawm 60μm, ua rau txoj haujlwm txiav hloov pauv thiab cuam tshuam rau qhov raug txiav. cov
Lub coefficient ntawm thermal expansion ntawm granite puag tsuas yog (4-8) × 10⁻⁶ / ℃, uas yog tsawg tshaj li ib feem peb ntawm cov ntaub ntawv hlau. Nyob rau hauv tib qhov kev hloov kub, nws qhov kev hloov pauv yuav luag tsis quav ntsej. Cov ntaub ntawv ntsuas ntawm ib qho kev lag luam semiconductor qhia tau hais tias thaum lub sij hawm 8-teev nruam high-siv wafer txiav ua hauj lwm, thaum lub ambient kub fluctuates los ntawm 10 ℃, txiav txoj hauj lwm offset ntawm cov khoom siv nrog ib tug granite puag yog tsawg tshaj li 20μm, thaum lub sij hawm ntawm cov khoom nrog ib tug hlau puag tshaj 60μm. Qhov kev ua haujlwm thermal ruaj khov no ua kom ntseeg tau tias qhov chaw txheeb ze ntawm cov cuab yeej txiav thiab cov wafer tseem muaj tseeb txhua lub sijhawm. Txawm tias nyob rau hauv lub sij hawm ntev ua hauj lwm tsis tu ncua los yog drastic hloov nyob rau hauv ib puag ncig kub, qhov sib xws ntawm kev txiav raug yuav tswj tau. cov
Rigidity thiab hnav tsis kam: Ua kom lub sijhawm ruaj khov ntawm cov khoom siv
Ntxiv nrog rau qhov zoo ntawm kev co kuj thiab thermal stability, lub siab rigidity thiab hnav tsis kam ntawm granite puag ntxiv txhim khu kev ntseeg ntawm cov khoom siv wafer txiav. Granite muaj hardness ntawm 6 mus rau 7 ntawm Mohs nplai thiab lub zog compressive tshaj 120MPa. Nws tuaj yeem tiv taus lub siab loj heev thiab cuam tshuam lub zog thaum lub sijhawm txiav thiab tsis ua rau deformation. Meanwhile, nws cov qauv ntom endows nws nrog zoo heev hnav tsis kam. Txawm hais tias lub sijhawm ua haujlwm ntau zaus, qhov saum npoo ntawm lub hauv paus tsis tuaj yeem hnav, kom ntseeg tau tias cov cuab yeej tswj hwm kev ua haujlwm siab rau lub sijhawm ntev. cov
Hauv kev siv cov tswv yim, ntau lub tuam txhab tsim khoom lag luam wafer tau txhim kho cov khoom lag luam thiab kev ua haujlwm zoo los ntawm kev siv cov cuab yeej txiav nrog granite hauv paus. Cov ntaub ntawv los ntawm lub ntiaj teb ua lag luam foundry qhia tau hais tias tom qab qhia cov khoom siv hauv granite, wafer txiav tawm tau nce los ntawm 88% mus rau ntau dua 95%, cov khoom siv tu lub voj voog tau txuas ntxiv peb zaug, txo cov nqi tsim khoom thiab txhim kho kev lag luam kev sib tw. cov
Hauv kev xaus, lub hauv paus granite, nrog nws zoo heev kev co kuj, thermal stability, siab rigidity thiab hnav tsis kam, muab kev ua tau zoo guarantees rau wafer txiav khoom. Raws li semiconductor thev naus laus zis tau nce mus rau qhov siab dua, granite hauv paus yuav ua lub luag haujlwm tseem ceeb hauv kev lag luam wafer, txhawb kev txhim kho tshiab ntawm kev lag luam semiconductor.
Post lub sij hawm: May-20-2025