Nyob rau hauv cov txheej txheem ntawm kev lag luam semiconductor txav mus rau nanoscale manufacturing processes, wafer txiav, ua ib qho tseem ceeb hauv kev tsim chips, muaj cov kev cai nruj heev rau kev ruaj khov ntawm cov khoom siv. Lub hauv paus granite, nrog nws qhov kev tiv thaiv kev co thiab kev ruaj khov thermal, tau dhau los ua ib feem tseem ceeb ntawm cov khoom siv txiav wafer, muab kev lees paub txhim khu kev qha rau kev ua tiav qhov tseeb thiab kev ua haujlwm siab wafer.
Cov yam ntxwv ntawm kev co thiab kev tiv thaiv kev co siab: Tiv thaiv qhov tseeb ntawm kev txiav nano-level
Thaum cov khoom siv txiav wafer ua haujlwm, qhov kev sib hloov ceev ntawm lub spindle, qhov kev co siab ntawm cov cuab yeej txiav, thiab qhov kev co ib puag ncig uas tsim los ntawm cov khoom siv ib puag ncig yuav muaj kev cuam tshuam loj rau qhov tseeb ntawm kev txiav. Kev ua haujlwm damping ntawm cov hlau ib txwm muaj tsawg, ua rau nws nyuaj rau kev txo qhov kev co sai, uas ua rau micron-level jitter ntawm cov cuab yeej txiav thiab ncaj qha ua rau muaj qhov tsis zoo xws li cov npoo tawg thiab cov kab nrib pleb ntawm cov wafers. Cov yam ntxwv damping siab ntawm cov granite puag tau daws qhov teeb meem no.
Cov pob zeb granite sab hauv muaj cov pob zeb sib xyaw ua ke, ua rau lub zog ntuj tsim tawm. Thaum lub zog co mus rau lub hauv paus, nws cov qauv sab hauv tuaj yeem hloov lub zog co mus rau hauv lub zog thermal sai sai, ua kom muaj kev co zoo. Cov ntaub ntawv sim qhia tau tias nyob rau hauv tib qho chaw co, lub hauv paus granite tuaj yeem txo qhov kev co ntau dua 90% hauv 0.5 vib nas this, thaum lub hauv paus hlau xav tau 3 txog 5 vib nas this. Qhov kev ua tau zoo no ua kom ntseeg tau tias lub cuab yeej txiav tseem ruaj khov thaum lub sijhawm txiav nanoscale, lav qhov ntug du ntawm kev txiav wafer thiab txo qhov nrawm ntawm chipping. Piv txwv li, hauv cov txheej txheem txiav wafer 5nm, cov khoom siv nrog lub hauv paus granite tuaj yeem tswj qhov loj me ntawm chipping hauv 10μm, uas yog ntau dua 40% dua li cov khoom siv nrog lub hauv paus hlau.
Cov coefficient ntawm thermal expansion qis heev: Tiv taus kev cuam tshuam ntawm qhov kub thiab txias hloov pauv
Thaum lub sijhawm txiav wafer, cua sov tsim los ntawm kev sib txhuam ntawm cov cuab yeej txiav, cua sov tawm ntawm kev ua haujlwm ntev ntawm cov khoom siv, thiab kev hloov pauv ntawm qhov kub thiab txias hauv chaw ua haujlwm tuaj yeem ua rau muaj kev hloov pauv thermal ntawm cov khoom siv. Tus coefficient ntawm thermal expansion ntawm cov khoom siv hlau yog qhov siab heev (kwv yees li 12 × 10⁻⁶ / ℃). Thaum qhov kub hloov pauv los ntawm 5 ℃, lub hauv paus hlau 1-meter ntev yuav raug hloov pauv ntawm 60μm, ua rau qhov chaw txiav hloov pauv thiab cuam tshuam loj heev rau qhov tseeb ntawm kev txiav.
Tus coefficient ntawm thermal expansion ntawm lub granite puag tsuas yog (4-8) × 10⁻⁶/℃, uas yog tsawg dua ib feem peb ntawm cov khoom siv hlau. Nyob rau hauv tib qho kev hloov pauv kub, nws qhov kev hloov pauv loj yuav luag tsis quav ntsej. Cov ntaub ntawv ntsuas ntawm ib qho kev lag luam semiconductor qhia tau hais tias thaum lub sijhawm 8-teev txuas ntxiv mus txiav wafer siab, thaum qhov kub ntawm ib puag ncig hloov pauv los ntawm 10 ℃, qhov chaw txiav offset ntawm cov khoom siv nrog lub hauv paus granite yog tsawg dua 20μm, thaum ntawm cov khoom siv nrog lub hauv paus hlau tshaj 60μm. Qhov kev ua haujlwm thermal ruaj khov no ua kom ntseeg tau tias qhov chaw sib piv ntawm cov cuab yeej txiav thiab wafer tseem raug txhua lub sijhawm. Txawm tias nyob rau hauv kev ua haujlwm txuas ntxiv mus ntev lossis kev hloov pauv loj heev ntawm qhov kub ib puag ncig, qhov sib xws ntawm kev txiav raug tuaj yeem tswj tau.
Kev ruaj khov thiab kev hnav tsis kam: Xyuas kom meej tias cov khoom siv ua haujlwm ruaj khov mus sij hawm ntev
Ntxiv rau qhov zoo ntawm kev tiv taus kev co thiab kev ruaj khov thermal, qhov siab rigidity thiab hnav tsis kam ntawm lub hauv paus granite ntxiv txhim kho kev ntseeg siab ntawm cov khoom siv txiav wafer. Granite muaj qhov nyuaj ntawm 6 txog 7 ntawm Mohs nplai thiab lub zog compressive tshaj 120MPa. Nws tuaj yeem tiv taus qhov siab loj heev thiab lub zog cuam tshuam thaum lub sijhawm txiav thiab tsis yooj yim rau deformation. Lub caij no, nws cov qauv ntom ntom muab nws nrog kev tiv taus hnav zoo heev. Txawm tias thaum lub sijhawm txiav ntau zaus, qhov chaw ntawm lub hauv paus tsis yooj yim hnav, kom ntseeg tau tias cov khoom siv tswj hwm kev ua haujlwm siab rau lub sijhawm ntev.
Hauv kev siv tiag tiag, ntau lub tuam txhab tsim cov wafer tau txhim kho cov khoom tsim tau zoo thiab kev ua haujlwm tau zoo los ntawm kev siv cov khoom siv txiav nrog cov hauv paus granite. Cov ntaub ntawv los ntawm lub tuam txhab ua khoom siv thoob ntiaj teb qhia tau tias tom qab qhia cov khoom siv granite, cov txiaj ntsig txiav wafer tau nce ntxiv los ntawm 88% mus rau ntau dua 95%, lub voj voog txij nkawm tau ntev dua peb zaug, ua rau cov nqi tsim khoom txo qis thiab txhim kho kev sib tw ua lag luam.
Xaus lus, lub hauv paus granite, nrog nws txoj kev tiv thaiv kev co zoo heev, kev ruaj khov thermal, kev ruaj khov siab thiab kev tiv thaiv kev hnav, muab kev lees paub kev ua tau zoo rau cov khoom siv txiav wafer. Raws li thev naus laus zis semiconductor nce qib mus rau qhov tseeb dua, cov hauv paus granite yuav ua lub luag haujlwm tseem ceeb hauv kev tsim khoom wafer, txhawb kev txhim kho tshiab ntawm kev lag luam semiconductor.
Lub sijhawm tshaj tawm: Tsib Hlis-20-2025