Hauv kev tsim khoom niaj hnub thiab kev tshawb fawb txog kev tshawb fawb siab heev, qhov kev thov rau kev tswj hwm kev txav mus los siab dua. Precision static pressure air float platform, ua cov khoom siv tseem ceeb ntawm kev tswj hwm kev txav mus los ultra-precision, tau dhau los ua qhov kev pab tseem ceeb rau ntau lub lag luam kom ua tiav kev tawg nrog nws cov kev ua tau zoo heev.
Ua ntej, cov thev naus laus zis tseem ceeb: kev txhawb nqa huab cua ntab, kev tsav tsheb siab zoo li qub
Lub platform no siv cov thev naus laus zis siab heev los ua kom cov pa roj siab ruaj khov, thiab nws yuav tsum tau dai kom ruaj khov. Cov txheej txheej no zoo li lub "cushion cua" zoo li lub hauv ncoo cua, yog li ntawd lub platform tsis muaj kev sib cuag ncaj qha nrog lub hauv paus thaum lub sijhawm txav mus los, ua rau cov coefficient ntawm kev sib txhuam tsawg heev, thiab yuav luag tshem tawm cov teeb meem hnav thiab nkag los ntawm kev sib cuag ib txwm muaj. Tib lub sijhawm, lub tshuab tsav tsheb zoo li qub ua kom lub platform ua tau raws li qhov tseeb thiab ruaj khov ntawm kev txav mus los ntawm kab lossis kev sib hloov raws li txoj kev teeb tsa, thiab qhov tseeb ntawm qhov chaw tuaj yeem ncav cuag nanometers, muab lub hauv paus ruaj khov rau ntau yam kev ua haujlwm raug.
Qhov thib ob, qhov tseeb siab heev: micron lossis txawm tias nanometer qib kev teeb tsa
Hauv kev tsim cov chip semiconductor, cov txheej txheem lithography xav tau qhov tseeb siab. Nrog nws lub peev xwm tswj tau qhov tseeb zoo heev, lub platform precision static pressure air float tuaj yeem tswj qhov yuam kev ntawm cov khoom siv lithography hauv nanometer kev txiav txim, hloov cov qauv circuit mus rau wafer kom raug, pab tsim cov chips me dua thiab sib xyaw ua ke, thiab txhawb kev lag luam semiconductor kom txuas ntxiv mus rau qib siab dua. Hauv kev sib tsoo lens optical, lub platform tuaj yeem tswj tau txoj kev txav mus los ntawm cov cuab yeej sib tsoo, kom qhov tseeb ntawm qhov chaw lens tuaj yeem ncav cuag micron lossis txawm tias sub-micron, thiab tsim cov lens optical siab thiab qis aberration kom ua tau raws li cov kev cai nruj ntawm cov koob yees duab siab, telescopes, microscopes thiab lwm yam cuab yeej optical.
Kev ruaj khov zoo heev: kev cuam tshuam cais, kev ua haujlwm tas li
Kev co sab nraud thiab kev hloov pauv kub yog ob qho "neeg ua txhaum" tseem ceeb uas cuam tshuam rau qhov tseeb ntawm cov khoom siv precision. Lub precision static pressure air floating platform muaj lub kaw lus cais kev co siab ua haujlwm siab, uas tuaj yeem thaiv kev cuam tshuam kev co los ntawm ib puag ncig, xws li kev ua haujlwm ntawm cov khoom siv loj hauv lub Hoobkas rhiav, kev co tsheb, thiab lwm yam, kom ntseeg tau tias lub platform tseem tuaj yeem khiav ruaj khov hauv ib puag ncig nyuaj. Tib lub sijhawm, lub platform txais cov khoom siv thiab cov qauv tsim nrog kev ruaj khov thermal zoo heev, uas tsis rhiab rau kev hloov pauv kub, thiab tseem tuaj yeem tswj tau qhov ntev thiab kev txav mus los siab hauv ib puag ncig ntawm qhov kub hloov pauv, muab kev lees paub txhim khu kev qha rau kev ua haujlwm raug thiab kev sim.
Plaub, ntau yam kev siv: ntau qhov kev ua si precision
Hauv kev tsim khoom siv dav hlau, lub platform cua ntsawj uas muaj zog heev yog siv rau kev ua kom raug ntawm cov khoom siv dav hlau, xws li kev txiav cov hniav ntawm lub cav dav hlau, kev khawb cov khoom siv dav hlau, thiab lwm yam, kom ntseeg tau tias qhov ua tiav ntawm cov khoom thiab txhim kho kev ua tau zoo thiab kev nyab xeeb ntawm dav hlau. Hauv kev tshawb fawb txog kev kho mob, lub platform pab cov khoom siv noob caj noob ces txav cov qauv kom raug kom nyeem tau cov ntaub ntawv txog noob caj noob ces; Hauv kev tswj hwm lub hlwb, cov cuab yeej xws li microneedles thiab micropipettes raug tswj hwm kom ua tiav cov haujlwm zoo ntawm cov hlwb ib leeg thiab txhawb kev tshawb fawb txog kev kho mob tob zuj zus. Tsis tas li ntawd, hauv kev tsim khoom siv hluav taws xob, kev tsim khoom siv siab thiab lwm yam kev lag luam, lub platform cua ntsawj uas muaj zog heev kuj tseem ua lub luag haujlwm tseem ceeb.
Thib tsib, cov kev pabcuam tshwj xeeb: kom tau raws li tus kheej xav tau
Paub tias ntau yam lag luam thiab cov neeg siv khoom sib txawv muaj cov kev xav tau sib txawv rau cov platforms cua static pressure flotation, peb muab ntau yam kev pabcuam tshwj xeeb. Txij li qhov loj me thiab lub peev xwm thauj khoom ntawm lub platform mus rau qhov kev txav mus los thiab qib raug, kev tsim qauv thiab kev tsim khoom tshwj xeeb tuaj yeem ua tiav raws li cov xwm txheej siv tiag tiag thiab cov txheej txheem xav tau ntawm cov neeg siv khoom. Pab pawg R & D tshaj lij yuav ua haujlwm nrog cov neeg siv khoom kom ntseeg tau tias txhua lub platform cua static pressure precision tuaj yeem ua tau raws li cov neeg siv khoom xav tau thiab tsim kom muaj txiaj ntsig zoo tshaj plaws rau cov neeg siv khoom.
Kev xaiv lub platform precision static pressure air float yog xaiv cov kev daws teeb meem zoo heev ntawm kev tswj hwm kev txav mus los ultra-precision, qhib tshooj tshiab ntawm kev tsim khoom siab thiab kev tshawb fawb, pab koj sawv tawm hauv kev lag luam sib tw, thiab paub txog ob npaug ntawm thev naus laus zis thiab kev lag luam.
Lub sijhawm tshaj tawm: Plaub Hlis-10-2025