Yuav ua li cas los sib sau ua ke, sim thiab calibrate Granite tshuab puag rau Wafer Processing Equipment khoom

Granite tshuab hauv paus yog siv ntau hauv wafer ua cov khoom siv vim lawv cov khoom zoo xws li siab tawv, ruaj khov, thiab precision.Sib sau ua ke, kuaj, thiab ntsuas lub tshuab granite hauv paus yog txheej txheem tseem ceeb uas yuav tsum tau ua tib zoo saib xyuas kom meej, meej, thiab raug.Hauv tsab xov xwm no, peb yuav tham txog cov txheej txheem ib ntus ntawm kev sib dhos, kev sim, thiab ntsuas lub tshuab granite rau cov khoom siv wafer.

Kev sib dhos

Thawj kauj ruam yog npaj cov granite nto phaj, hauv paus, thiab kem rau kev sib dhos.Xyuas kom txhua qhov chaw huv si, qhuav, thiab tsis muaj cov khib nyiab, plua plav, lossis roj.Ntxig cov leveling studs rau hauv lub hauv paus thiab tso cov phaj saum npoo rau saum nws.Kho cov qib qib studs kom lub phaj saum npoo yog kab rov tav thiab theem.Xyuas kom tseeb tias cov phaj saum npoo yog ntws nrog lub hauv paus thiab kem.

Tom ntej no, nruab kab rau ntawm lub hauv paus thiab ruaj ntseg nrog bolts.Siv lub torque ciaj ntswj kom nruj cov bolts rau cov chaw tsim tshuaj paus tus nqi torque pom zoo.Txheeb xyuas qib ntawm kab thiab kho cov qib qib yog tias tsim nyog.

Thaum kawg, nruab lub spindle los ua ke nyob rau sab saum toj ntawm kem.Siv lub torque ciaj ntswj kom nruj lub bolts rau cov chaw tsim tshuaj paus tus nqi torque pom zoo.Txheeb xyuas qib ntawm cov spindle sib dhos thiab kho cov qib qib yog tias tsim nyog.

Kev sim

Tom qab sib sau ua ke lub hauv paus tshuab, cov kauj ruam tom ntej yog sim nws cov haujlwm thiab qhov tseeb.Txuas lub hwj huam mov thiab qhib lub tshuab.Nco ntsoov tias tag nrho cov khoom xws li lub cev muaj zog, lub zog, txoj siv sia, thiab cov kabmob ua haujlwm tau zoo thiab tsis muaj qhov txawv txav lossis tsis muaj suab nrov.

Txhawm rau kuaj qhov tseeb ntawm lub tshuab, siv lub ntsuas ntsuas qhov tseeb los ntsuas qhov khiav tawm ntawm lub spindle.Teem lub dial taw qhia ntawm lub phaj nto, thiab tig lub spindle.Qhov siab tshaj plaws tso cai yuav tsum tsawg dua 0.002 hli.Yog tias qhov kev khiav tawm ntau dua li qhov tso cai txwv, kho cov qib qib studs thiab xyuas dua.

Calibration

Calibration yog cov kauj ruam tseem ceeb hauv kev ua kom qhov tseeb thiab qhov tseeb ntawm lub hauv paus tshuab.Cov txheej txheem calibration suav nrog kev sim thiab kho lub tshuab tsis zoo, xws li kev ceev, qhov chaw, thiab qhov tseeb, kom ntseeg tau tias lub tshuab ua tau raws li cov neeg tsim khoom tshwj xeeb.

Txhawm rau ntsuas lub tshuab, koj yuav xav tau cov cuab yeej ntsuas ntsuas, uas suav nrog laser interferometer, laser tracker, lossis ballbar.Cov cuab yeej no ntsuas lub tshuab txav, txoj hauj lwm, thiab kev sib dhos nrog cov neeg siab.

Pib los ntawm kev ntsuas lub tshuab linear thiab angular axes.Siv cov cuab yeej calibration los ntsuas lub tshuab lub zog thiab txoj hauj lwm nyob rau hauv ib qho kev ncua deb los yog lub kaum sab xis.Sib piv cov nqi ntsuas nrog cov chaw tsim khoom tshwj xeeb.Yog tias muaj qhov sib txawv, kho lub tshuab tsis zoo, xws li lub cev muaj zog, lub zog, thiab cov tsav tsheb, kom coj tau cov nqi ntsuas nyob rau hauv qhov kev tso cai txwv.

Tom ntej no, sim lub tshuab lub voj voog interpolation muaj nuj nqi.Siv cov cuab yeej calibration los tsim ib txoj hauv kev ncig thiab ntsuas lub tshuab txav thiab txoj hauj lwm.Ntxiv dua thiab, piv cov ntsuas qhov tseem ceeb nrog cov chaw tsim khoom tshwj xeeb thiab kho qhov ntsuas yog tias tsim nyog.

Thaum kawg, sim lub tshuab repeatability.Ntsuas qhov chaw ntawm lub tshuab ntawm cov ntsiab lus sib txawv nyob rau lub sijhawm teev tseg.Sib piv cov ntsuas qhov ntsuas thiab xyuas seb muaj qhov sib txawv.Yog tias muaj qhov sib txawv, kho lub tshuab tsis muaj thiab rov ua qhov kev sim.

Xaus

Sib sau ua ke, kuaj, thiab ntsuas lub tshuab granite hauv paus rau wafer ua cov khoom siv yog cov txheej txheem tseem ceeb uas yuav tsum tau ua siab ntev, saib xyuas kom meej, thiab precision.Los ntawm kev ua raws li cov kauj ruam no, koj tuaj yeem xyuas kom meej tias lub tshuab ua tau raws li cov chaw tsim khoom tshwj xeeb thiab ua haujlwm nrog qhov tseeb, ruaj khov, thiab raug.

precision granite03


Post lub sij hawm: Dec-28-2023