Hauv lub chaw ua haujlwm tsim khoom semiconductor, cov kev cai ntawm cov txheej txheem tsim cov chip rau cov xwm txheej ib puag ncig thiab qhov tseeb ntawm cov khoom siv yog qhov hnyav heev, thiab txhua qhov kev hloov pauv me me tuaj yeem ua rau muaj kev poob qis ntawm cov txiaj ntsig ntawm cov chip. Lub platform txav mus los ntawm XYZT precision gantry vam khom cov khoom granite los koom tes nrog lwm qhov ntawm lub platform los tsim lub hauv paus ruaj khov rau kev ua tiav qhov tseeb nanoscale.
Cov khoom tiv thaiv kev co zoo heev
Hauv lub chaw ua haujlwm tsim khoom semiconductor, kev ua haujlwm ntawm cov khoom siv peripheral thiab cov neeg ua haujlwm taug kev ncig yuav ua rau muaj kev co. Cov qauv sab hauv ntawm cov khoom granite yog ntom thiab sib xws, nrog cov yam ntxwv damping siab ntuj, zoo li lub zog vibration "barrier". Thaum lub zog vibration sab nraud raug xa mus rau XYZT platform, cov khoom granite tuaj yeem ua kom zoo dua 80% ntawm lub zog vibration thiab txo qhov cuam tshuam ntawm kev co ntawm lub platform txav mus los raug. Tib lub sijhawm, lub platform muaj lub tshuab qhia cua ntab siab, uas ua haujlwm ua ke nrog cov khoom granite. Lub tshuab qhia cua ntab siv cov roj ruaj khov uas tsim los ntawm cov roj siab siab kom paub txog kev txav mus los tsis sib cuag ntawm cov khoom txav mus los ntawm lub platform thiab txo qhov kev co me me los ntawm kev sib txhuam tshuab. Ua ke, ob qho tib si xyuas kom meej tias qhov tseeb ntawm qhov chaw platform yeej ib txwm tswj hwm ntawm qib nanometer hauv cov txheej txheem tseem ceeb xws li chip lithography thiab etching, thiab zam kev hloov pauv ntawm cov qauv chip circuit los ntawm kev co.
Kev ruaj khov thermal zoo heev
Qhov kub thiab av noo hloov pauv hauv lub chaw ua haujlwm muaj feem cuam tshuam loj rau qhov tseeb ntawm cov khoom siv tsim chip. Cov coefficient thermal expansion ntawm granite yog qis heev, feem ntau yog 5-7 × 10⁻⁶ / ℃, qhov loj me yuav luag tsis hloov pauv thaum qhov kub hloov pauv. Txawm tias qhov sib txawv ntawm qhov kub thiab txias ntawm hnub thiab hmo ntuj hauv lub chaw ua haujlwm lossis kev tsim cua sov ntawm cov khoom siv ua rau qhov kub thiab txias hloov pauv, cov khoom granite tuaj yeem ruaj khov kom tiv thaiv kev hloov pauv ntawm lub platform vim yog thermal nthuav dav thiab kev cog lus. Tib lub sijhawm, lub kaw lus tswj kub ntse nruab nrog lub platform saib xyuas qhov kub thiab txias hauv lub sijhawm tiag tiag, kho cov cua txias thiab cov khoom siv cua sov, thiab tswj qhov kub hauv chaw ua haujlwm ntawm 20 ° C ± 1 ° C. Ua ke nrog qhov zoo ntawm granite cua sov ruaj khov, xyuas kom meej tias lub platform hauv kev ua haujlwm ntev, qhov tseeb ntawm kev txav mus los ntawm txhua lub axis ib txwm ua tau raws li cov qauv nanometer precision ntawm chip tsim, kom ntseeg tau tias qhov loj me ntawm cov qauv lithography yog qhov tseeb, qhov tob ntawm etching yog sib xws.
Ua kom tau raws li qhov xav tau ntawm ib puag ncig huv si
Lub khw tsim khoom semiconductor yuav tsum tswj kom huv si kom tiv thaiv cov hmoov av kom tsis txhob ua rau cov chip puas tsuaj. Cov khoom siv granite nws tus kheej tsis tsim cov hmoov av, thiab qhov chaw du, tsis yooj yim rau nqus cov hmoov av. Lub platform tag nrho siv cov qauv kaw tag nrho lossis ib nrab kaw kom txo cov hmoov av sab nraud nkag. Lub tshuab cua sab hauv txuas nrog lub tshuab cua txias huv ntawm lub chaw ua haujlwm kom ntseeg tau tias cov huab cua sab hauv huv si mus txog qib uas xav tau los ntawm kev tsim chip. Hauv qhov chaw huv si no, cov khoom granite yuav tsis cuam tshuam rau kev ua haujlwm vim muaj hmoov av yaig, thiab cov khoom tseem ceeb xws li cov sensors thiab cov motors ntawm lub platform kuj tuaj yeem ua haujlwm ruaj khov, muab kev lees paub qhov tseeb nanoscale tas mus li thiab txhim khu kev qha rau kev tsim chip, thiab pab kev lag luam semiconductor txav mus rau qib siab dua.
Lub sijhawm tshaj tawm: Plaub Hlis-14-2025