Nyob rau hauv lub semiconductor manufacturing Rhiav, qhov yuav tsum tau ntawm cov txheej txheem chip manufacturing rau ib puag ncig tej yam kev mob thiab cov khoom raug raug yog heev, thiab ib tug me ntsis sib txawv yuav ua rau ib tug tseem ceeb poob rau hauv lub nti tawm los. XYZT precision gantry txav platform tso siab rau cov khoom siv granite los koom tes nrog lwm qhov ntawm lub platform los tsim lub hauv paus ruaj khov rau kev ua tiav nanoscale raug.
Zoo heev vibration thaiv cov khoom
Nyob rau hauv lub semiconductor manufacturing rhiav, kev khiav hauj lwm ntawm peripheral cov khoom thiab cov neeg ua hauj lwm taug kev nyob ib ncig ntawm yuav ua rau kev co. Cov qauv sab hauv ntawm cov khoom siv granite yog ntom thiab tsis sib xws, nrog rau cov yam ntxwv ntawm kev ua haujlwm siab, zoo li kev vibration "barrier". Thaum cov kev co sab nraud raug xa mus rau XYZT platform, cov khoom siv granite tuaj yeem ua kom muaj zog ntau dua 80% ntawm lub zog vibration thiab txo cov kev cuam tshuam ntawm kev co ntawm lub platform kom raug. Nyob rau tib lub sijhawm, lub platform tau nruab nrog lub siab-precision cua ntab cov lus qhia, uas ua haujlwm nrog cov khoom siv granite. Daim ntawv qhia huab cua ntab siv cov yeeb yaj kiab uas ruaj khov uas tsim los ntawm cov pa hluav taws xob siab kom paub txog qhov tsis sib cuag ncua kev txav ntawm qhov txav ntawm lub platform thiab txo qhov kev vibration me me los ntawm kev sib txhuam. Ua ke, ob qho tib si xyuas kom meej tias lub platform muab qhov tseeb yog ib txwm khaws cia ntawm qib nanometer hauv cov txheej txheem tseem ceeb xws li nti lithography thiab etching, thiab zam qhov sib txawv ntawm cov qauv chip Circuit Court los ntawm kev co.
Zoo heev thermal stability
Kev hloov pauv ntawm qhov kub thiab av noo nyob rau hauv lub rooj cob qhia muaj kev cuam tshuam zoo rau qhov tseeb ntawm cov khoom siv chip. Lub thermal expansion coefficient ntawm granite yog tsawg heev, feem ntau nyob rau hauv 5-7 × 10⁻⁶ / ℃, qhov loj yuav luag tsis hloov thaum kub hloov. Txawm hais tias qhov kub thiab txias sib txawv ntawm nruab hnub thiab hmo ntuj hauv kev cob qhia lossis cov khoom siv hluav taws xob ua rau qhov kub thiab txias, cov khoom siv granite tuaj yeem nyob ruaj khov los tiv thaiv qhov deformation ntawm lub platform vim thermal expansion thiab contraction. Nyob rau tib lub sij hawm, lub ntse tswj qhov kub thiab txias nruab nrog lub platform saib lub ambient kub nyob rau hauv lub sij hawm ntawm lub sij hawm, cia li kho cov cua txias thiab cua sov dissipation khoom, thiab tuav lub rhiav kub ntawm 20 ° C ± 1 ° C. yog, etching qhov tob yog uniform.
Ua tau raws li qhov xav tau ntawm ib puag ncig huv
Lub khw tsim khoom semiconductor yuav tsum tswj kom muaj kev huv huv kom tsis txhob muaj plua plav tawm ntawm cov nti. Granite cov khoom nws tus kheej tsis tsim cov plua plav, thiab qhov chaw yog du, tsis yooj yim rau nqus plua plav. Lub platform raws li ib tug tag nrho txais ib tug tag nrho kaw los yog semi-kaw qauv tsim kom txo tau qhov nkag ntawm cov plua plav sab nraud. Lub tshuab cua sab hauv yog txuas nrog lub tshuab cua huv ntawm lub rooj cob qhia kom paub meej tias cov cua hauv tsev huv si mus txog qib uas yuav tsum tau ua los ntawm kev tsim cov chips. Nyob rau hauv qhov chaw huv si no, granite Cheebtsam yuav tsis cuam tshuam rau kev ua tau zoo vim cov plua plav yaig, thiab cov khoom tseem ceeb xws li high-precision sensors thiab motors ntawm lub platform kuj tseem tuaj yeem ua haujlwm ruaj khov, muab kev ruaj khov thiab txhim khu kev qha nanoscale raug lav rau chip manufacturing, thiab pab kev lag luam semiconductor txav mus rau qib txheej txheem siab dua.
Post lub sij hawm: Apr-14-2025