Hauv ntiaj teb ntawm kev tsim khoom siv thev naus laus zis siab, qhov twg qhov loj me ntawm cov yam ntxwv me me mus rau hauv lub ntiaj teb nanometer, qhov kev ntseeg siab ntawm kev tswj xyuas zoo nyob ntawm qhov tseeb thiab kev ruaj khov ntawm cov cuab yeej ntsuas. Tshwj xeeb, Cov Khoom Siv Ntsuas Dav Dav Tsis Siv Neeg - lub cuab yeej tseem ceeb hauv semiconductor, microelectronics, thiab cov khoom siv tso saib tiaj tus - yuav tsum ua haujlwm nrog kev ncaj ncees tag nrho. Thaum cov optics siab heev thiab cov algorithms ceev ceev ua qhov kev ntsuas nquag, nws yog lub hauv paus tsis siv neeg, tseem ceeb, cov qauv uas hais txog lub qab nthab ua haujlwm zoo tshaj plaws ntawm lub kaw lus. Lub hauv paus no feem ntau yog Cov Khoom Siv Ntsuas Dav Dav Tsis Siv Neeggranite tshuab puagthiab nws cov khoom siv ntsuas qhov dav ntawm kab tsis siv neeg sib xws granite sib dhos.
Kev xaiv cov khoom siv hauv tsev tsis yog qhov kev txiav txim siab yooj yim; nws yog ib qho kev cai lij choj engineering. Ntawm qhov kev daws teeb meem loj heev uas xav tau rau kev ntsuas qhov dav ntawm kab, cov yam ntxwv ib puag ncig uas tsis tseem ceeb hauv lub neej txhua hnub dhau los ua qhov ua rau muaj kev ua yuam kev loj heev. Cov yam ntxwv xws li thermal drift, ambient vibration, thiab structural creep tuaj yeem yooj yim thawb kev ntsuas sab nraud ntawm qhov kev lees txais tau. Qhov kev sib tw no yog vim li cas cov kws ua haujlwm precision feem ntau tig mus rau granite ntuj los tsim cov khoom tseem ceeb tshaj plaws ntawm lawv cov khoom siv metrology.
Lub Physics ntawm Precision: Vim li cas Granite thiaj li kov yeej Hlau
Yuav kom nkag siab txog qhov tsim nyog ntawm cov khoom siv ntsuas qhov dav ntawm kab tsis siv neeg granite tshuab puag, ib tug yuav tsum txaus siab rau lub physics tswj kev ntsuas siab. Qhov tseeb yog ib qho haujlwm ntawm kev ruaj khov ntawm lub thav duab siv. Lub hauv paus yuav tsum xyuas kom meej tias qhov chaw sib piv ntawm lub sensor (lub koob yees duab, laser, lossis probe) thiab cov qauv tseem nyob ruaj khov thaum lub sijhawm ntsuas, feem ntau kav ntev li milliseconds xwb.
1. Kev Ruaj Khoov Kub yog Qhov Tseem Ceeb Tshaj Plaws: Cov hlau xws li hlau thiab txhuas yog cov khoom siv hluav taws xob zoo thiab muaj cov Coefficients of Thermal Expansion (CTE) siab heev. Qhov no txhais tau tias lawv kub sai, txias sai, thiab hloov pauv qhov loj me nrog rau qhov kub thiab txias me ntsis. Kev hloov pauv ntawm ob peb degrees xwb tuaj yeem ua rau muaj kev hloov pauv qhov loj me hauv cov qauv hlau uas ntau dua li qhov kev ntsuas yuam kev hauv sub-micron.
Granite, tshwj xeeb tshaj yog cov granite dub zoo, muab cov kev daws teeb meem zoo tshaj plaws. Nws cov CTE yog tsib txog kaum npaug qis dua li cov hlau ib txwm muaj. Qhov kev nthuav dav qis no txhais tau tias cov khoom siv ntsuas qhov dav ntawm kab tsis siv neeg granite sib dhos tswj nws cov qauv geometric txawm tias thaum qhov kub ntawm lub Hoobkas hloov pauv me ntsis lossis thaum cov khoom sab hauv tsim cua sov. Qhov kev kub ntxhov thermal tshwj xeeb no muab kev ruaj khov mus sij hawm ntev uas tseem ceeb rau kev rov ua dua, kev ntsuas txhim khu kev qha, txhua hnub.
2. Kev Tiv Thaiv Kev Co kom Pom Tseeb: Kev co, txawm tias kis tau los ntawm hauv pem teb lossis tsim los ntawm lub tshuab cov theem txav mus los thiab cov kiv cua txias, yog tus yeeb ncuab ntawm kev thaij duab siab thiab kev teeb tsa. Yog tias lub taub hau ntsuas lossis theem co thaum lub sijhawm thaij duab, daim duab yuav tsis meej, thiab cov ntaub ntawv qhov chaw yuav raug cuam tshuam.
Cov qauv siv lead ua sab hauv ntawm Granite muab cov khoom siv damping zoo dua li cov hlau cam khwb cia lossis hlau. Nws nqus thiab tshem tawm lub zog kho tshuab sai sai, tiv thaiv kev co los ntawm kev nthuav dav los ntawm cov qauv thiab cuam tshuam rau kev ntsuas. Qhov damping siab no tso cai rau lub hauv paus granite los muab lub platform ntsiag to, ruaj khov, ua rau muaj kev xa khoom sai dua thaum tswj hwm cov qauv raug nruj tshaj plaws.
Kev Tsim Kho Lub Rooj Sib Tham Granite: Tshaj Li Ib Lub Thaiv Xwb
Kev siv granite nthuav dav tshaj li lub platform yooj yim; nws suav nrog tag nrho cov khoom siv ntsuas qhov dav ntawm cov khoom siv granite sib dhos. Qhov no feem ntau suav nrog lub hauv paus tshuab, cov kem ntsug, thiab, qee zaum, tus choj lossis cov qauv gantry. Cov khoom no tsis yog tsuas yog txiav pob zeb xwb; lawv yog cov khoom siv tsim kho siab heev, cov khoom siv precision heev.
Ua tiav Sub-Micron Flatness: Cov txheej txheem ntawm kev hloov cov granite nyoos mus rau hauv ib qho khoom metrology-qib yog ib qho kev kos duab thiab kev tshawb fawb. Cov khoom siv raug rau kev sib tsoo tshwj xeeb, lapping, thiab polishing cov txheej txheem uas tuaj yeem ua tiav qhov chaw tiaj tus thiab kev ncaj ncees ntsuas hauv feem pua ntawm micrometer. Qhov chaw tiaj tus no yog qhov tseem ceeb rau cov txheej txheem tswj kev txav mus los niaj hnub no, xws li cov theem cua, uas ntab rau ntawm ib daim nyias nyias ntawm huab cua thiab xav tau qhov chaw siv ze li ntawm tiaj tus kom ua tiav kev sib txhuam tsis muaj kev sib txhuam, kev txav mus los meej heev.
Qhov tawv ntawm lub tshuab granite loj heev uas siv los ntsuas qhov dav ntawm kab yog lwm yam uas tsis tuaj yeem sib tham tau. Qhov tawv ua kom lub qauv tiv taus qhov deflection nyob rau hauv cov zog dynamic ntawm cov high-speed linear motors thiab qhov hnyav ntawm lub pob optics. Txhua qhov deflection uas ntsuas tau yuav ua rau muaj qhov yuam kev geometric, xws li qhov tsis sib npaug ntawm cov axes, uas yuav cuam tshuam ncaj qha rau qhov tseeb ntawm kev ntsuas.
Kev Koom Ua Ke thiab Tus Nqi Mus Ntev
Qhov kev txiav txim siab siv lub hauv paus granite yog qhov kev nqis peev tseem ceeb mus sij hawm ntev rau kev ua haujlwm thiab lub neej ntev ntawm cov khoom siv. Lub tshuab uas muaj lub hauv paus granite uas ruaj khov thiab ruaj khov tsis yooj yim daws teeb meem dhau sijhawm thiab tswj nws cov qauv geometry uas tau teeb tsa los ntawm lub Hoobkas tau ntau xyoo, txo qhov zaus thiab qhov nyuaj ntawm kev rov teeb tsa dua.
Hauv kev sib dhos ua ntej, cov khoom sib dhos ua ke, xws li cov xov ntxig, cov koob dowel, thiab cov kab hlau bearing, yuav tsum tau epoxie rau hauv cov qauv granite. Cov txheej txheem no xav tau cov txheej txheem sib txuas lus kom ntseeg tau tias qhov sib txuas ntawm cov hlau thiab granite khaws cov khoom siv ruaj khov thiab tsis ua rau muaj kev ntxhov siab hauv zos lossis kev tsis sib xws ntawm thermal. Yog li ntawd, tag nrho cov khoom siv ntsuas kab dav dav tsis siv neeg granite sib dhos ua ib qho qauv, sib koom ua ke tsim los rau kev ruaj khov tshaj plaws thiab kev tiv thaiv ib puag ncig.
Thaum cov chaw tsim khoom thawb kom muaj cov txiaj ntsig siab dua thiab cov lus qhia nruj dua - xav tau kev ntsuas kom raug kom phim lub peev xwm tsim khoom - kev vam khom rau cov khoom siv kho tshuab ntawm granite tsuas yog yuav tob zuj zus. Cov Khoom Siv Ntsuas Dav Dav Kab Tsis Siv Neeg sawv cev rau qhov siab tshaj plaws ntawm kev ntsuas kev lag luam, thiab nws lub hauv paus ntawm kev ruaj khov, lub hauv paus granite, tseem yog tus saib xyuas ntsiag to kom ntseeg tau tias txhua qhov kev ntsuas tau ua yog qhov tseeb thiab raug ntawm cov khoom zoo. Kev nqis peev hauv lub hauv paus granite zoo, yooj yim, yog kev nqis peev hauv kev ntseeg siab tag nrho.
Lub sijhawm tshaj tawm: Lub Kaum Ob Hlis-03-2025