Puas Yog Ib Lub Cuab Yeej Pob Zeb Yooj Yim Txhais Tau Geometry ntawm Nanometer-Scale Manufacturing?

Hauv lub ntiaj teb uas siv tshuab ntau heev ntawm kev tsim kho tshuab uas muaj kev ua haujlwm siab heev, qhov twg cov txheej txheem laser taug qab nyuaj thiab cov algorithms zoo heev tswj kev tswj hwm kev txav mus los, nws yuav zoo li tsis sib haum xeeb tias qhov tseeb ntawm geometric tseem nyob ntawm cov cuab yeej uas tau tsim los txij li thaum ub ntawm metrology. Txawm li cas los xij, thaum kev lag luam thawb mus tob dua rau hauv sub-micron thiab nanometer domains, lub luag haujlwm tseem ceeb ntawm cov cuab yeej granite precision - tshwj xeeb tshaj yog cov granite ncaj pas ntsuas nrog Qib 00 precision, lub granite square, thiabgranite tri square—tsis yog tsuas yog txhawb nqa xwb, tab sis kuj ua kom loj dua. Cov cuab yeej static, passive no yog cov ntsiab lus siv tsis hloov pauv uas ua pov thawj qhov kev ua tau zoo ntawm cov txheej txheem dynamic siab tshaj plaws.

Qhov tsim nyog ntawm cov cuab yeej siv granite no yog los ntawm lub hauv paus ntsiab lus tseem ceeb: kev ruaj khov ntawm thermal thiab mechanical. Txhua lub tshuab uas tsim los rau qhov tseeb siab yuav tsum xyuas kom meej tias nws cov dav hlau ntsuas thiab kev mus ncig linear yog qhov tseeb, ncaj, thiab perpendicular. Thaum cov khoom siv niaj hnub xav tau kev ruaj khov ntawm qhov ntev uas tsis cuam tshuam los ntawm kev hloov pauv kub lossis kev co sab nraud, cov ntaub ntawv xws li hlau lossis hlau cam khwb cia - nrog lawv cov coefficient siab ntawm thermal expansion (CTE) thiab muaj peev xwm damping qis - tsis dhau qhov kev xeem.

Ntawm qhov tod tes, Granite muab qhov chaw zoo tshaj plaws rau kev ruaj khov. Nws cov CTE qis txhais tau tias qhov kev hloov pauv kub ua rau muaj qhov sib txawv me me, ua rau nws yog cov khoom siv zoo meej rau kev txhais lub dav hlau siv uas tseem kwv yees tau. Ntxiv mus, nws lub peev xwm damping siab nqus cov kev co sai sai, tiv thaiv kev sib tham thiab resonance uas cov cuab yeej hlau yuav kis mus, uas yog qhov tseem ceeb hauv cov chaw kuaj metrology thiab cov chaw sib dhos uas suab nrov ib puag ncig yog qhov nyuaj tas li.

Lub Hauv Paus ntawm Linearity: Granite Ncaj Ruler nrog Qib 00 Precision

Kev ntsuas qhov ncaj yog lub hauv paus tseem ceeb ntawm kev ntsuas qhov ntev. Txhua txoj kab qhia kab, kev coj ua huab cua, thiab CMM axis vam khom txoj kev txav mus los ncaj nraim uas tuaj yeem txheeb xyuas tau. Rau cov ntawv thov uas xav tau tiag tiag, tus kav ncaj granite nrog Qib 00 qhov tseeb ua rau muaj hwj chim tag nrho.

Qhov kev xaiv ntawm Qib 00 (lossis qib Master sib npaug) qhia txog qib siab tshaj plaws ntawm qhov tseeb uas ua tau sab nraum lub tebchaws cov chaw soj nstuam qauv. Qib kev raug no yuav tsum tau ntsuas qhov ncaj ncaj ntawm tag nrho ntug ua haujlwm ntawm tus pas ntsuas hauv feem pua ​​ntawm ib micron. Kev ua tiav qib no ntawm kev ua kom zoo nkauj geometric tsis yog tsuas yog xav tau cov khoom siv zoo tagnrho xwb tab sis kuj tseem muaj cov txheej txheem tsim khoom tswj hwm zoo.

Cov txheej txheem tsim khoom yuav tsum ua raws li cov lus qhia thoob ntiaj teb nruj, xws li DIN, JIS, ASME, lossis GB cov qauv. Cov qauv thoob ntiaj teb no qhia txog cov txheej txheem kuaj, cov xwm txheej ib puag ncig, thiab kev kam rau siab. Rau cov chaw tsim khoom uas pabcuam cov neeg siv khoom thoob ntiaj teb - los ntawm cov tuam txhab semiconductor Nyiv mus rau cov neeg tsim khoom siv tshuab German - lub peev xwm los lees paub tus pas ntsuas ncaj granite tawm tsam ntau tus qauv tib lub sijhawm yog qhov qhia txog kev paub txog kev txawj ntse thiab kev ua haujlwm zoo. Tus pas ntsuas no lub luag haujlwm yooj yim: los muab ib txoj kab tsis hloov pauv, tsis hloov pauv uas qhov yuam kev ncaj ntawm lub tshuab dynamic axis tuaj yeem mapped thiab them rov qab.

Txhais Perpendicularity: Lub Granite Square thiab Granite Tri Square

Txawm hais tias qhov ncaj qha qhia txog qhov zoo ntawm kev txav mus los linear, perpendicularity (lossis squareness) qhia txog qhov geometry ntawm lub tshuab. Qhov kev sib tshuam ntawm cov axes txav mus los (xws li X thiab Y axes, lossis Z axis piv rau lub dav hlau puag) yuav tsum yog 90 °. Txhua qhov kev hloov pauv ntawm no, hu ua squareness error, txhais ncaj qha mus rau qhov yuam kev ntawm qhov chaw, ua rau muaj kev nyuaj ntawm kev ua tiav qhov chaw tshwj xeeb.

Lub granite square thiab granite tri square yog cov cuab yeej tseem ceeb siv los xyuas qhov lub kaum sab xis no.

  • Lub granite square feem ntau yog siv los xyuas qhov squareness ntawm lub tshuab axes piv rau lub phaj nto lossis los xyuas qhov perpendicularity ntawm cov khoom thaum lub sijhawm sib dhos. Nws cov geometry L-puab robust ua kom ntseeg tau tias ob lub ntsej muag ua haujlwm tau tswj hwm ntawm lub kaum sab xis 90 °.

  • Lub granite tri square (lossis master square) muaj qhov tshwj xeeb peb-lub ntsej muag geometric configuration, tso cai rau kev kuaj xyuas ntau dua ntawm cov duab cubic hauv lub tshuab thav duab. Qhov kev teeb tsa no yog qhov tshwj xeeb tshaj yog rau kev tsim cov ciam teb cubic ntawm CMMs lossis cov thav duab tshuab loj, kom ntseeg tau tias txhua lub dav hlau yog square rau ib leeg thiab rau lub hauv paus.

Ib yam li tus kav ncaj, cov plaub fab no yuav tsum ua tiav daim ntawv pov thawj Qib 00, xav kom cov ces kaum yuav tsum muaj tseeb hauv arc-seconds. Qhov no yog ib txoj haujlwm nyob ntawm qhov ruaj khov ntawm cov khoom siv granite thiab cov txuj ci tseem ceeb ntawm cov kws ua tes ua haujlwm uas siv ntau xyoo ntawm kev paub dhau los hauv cov txheej txheem tes-lapping kom ua tiav qhov kawg, flawless geometry ntawm qhov chaw.

Tus Kav Hlau Ncaj Qha

Lub Ecosystem ntawm Kev Ua Tes Ua Taw: Ntau Tshaj Li Pob Zeb Xwb

Lub hwj chim ntawm cov cuab yeej ntsuas granite no tsis yog nyob rau hauv cov khoom siv xwb, tab sis nyob rau hauv tag nrho lub ecosystem txhawb nqa lawv daim ntawv pov thawj thiab kev tsim khoom. Cov tuam txhab uas ua thawj coj hauv daim teb no nkag siab tias qhov tseeb yog ib kab lis kev cai, tsis yog ib qho khoom tshwj xeeb xwb.

Nws pib nrog cov kws txawj ua tes ua taw. Hauv cov chaw ua haujlwm tshwj xeeb, tswj hwm zoo, cov kws txawj sib tsoo feem ntau muaj peb caug lossis ntau dua xyoo ntawm kev paub. Cov tib neeg no txawj siv cov phaj lapping tshwj xeeb thiab cov khoom sib xyaw abrasive los kho qhov tsis zoo me me, feem ntau ua haujlwm rau kev kam rau siab uas lawv txhais tes tuaj yeem ntes tau zoo dua li feem ntau cov sensors hluav taws xob. Lawv cov kev paub uas tau khaws cia tso cai rau lawv kom ua tiav qhov tiav ntawm qhov chaw uas thawb cov ciam teb ntawm qhov tiaj tus thiab ncaj, qee zaum ncav cuag mus rau qhov ntsuas nanometer rau qhov tiav du tshaj plaws uas xav tau los ntawm cov ntawv thov huab cua. Qhov kev txawj ntse ntawm tib neeg no yog qhov sib txawv tseem ceeb hauv kev ua tiav cov kev cai nruj Qib 00.

Cov khoom siv tes ua no tau raug tshuaj xyuas thiab lees paub zoo. Qhov chaw tsim khoom yuav tsum ruaj khov heev, muaj cov chav huv uas tswj tau huab cua, cov hauv paus pob zeb tiv thaiv kev co, thiab cov khoom siv ntsuas tshwj xeeb xws li laser interferometers thiab cov theem hluav taws xob uas lawv tus kheej tau ntsuas tas li thiab taug qab mus rau lub chaw soj nstuam qauv hauv tebchaws. Qhov kev cog lus no ua kom ntseeg tau tias cov khoom siv tau ntawv pov thawj geometry tseem muaj tseeb txij li thaum nws tawm hauv pem teb Hoobkas.

Qhov kev vam khom rau cov cuab yeej qub tab sis zoo tag nrho no qhia txog qhov tseeb tob hauv kev tsim kho kom raug: kev nrhiav kev ceev ceev thiab kev suav lej nyuaj yuav tsum tau khi rau qhov tseeb geometric uas ruaj khov thiab txheeb xyuas tau. Tus kav granite ncaj nrog Qib 00 precision, lub granite square, thiab granite tri square tsis yog cov khoom qub qub; lawv yog cov qauv tsim nyog, tsis muaj zog uas lav qhov kev ncaj ncees geometric ntawm yav tom ntej. Los ntawm kev ua raws li DIN, JIS, ASME, thiab GB cov qauv nruj tshaj plaws, cov chaw tsim khoom tshwj xeeb ua kom ntseeg tau tias ib daim pob zeb yooj yim tseem yog cov cuab yeej zoo tshaj plaws rau kev txhais qhov tseeb ntawm qhov ntev.


Lub sijhawm tshaj tawm: Lub Kaum Ob Hlis-08-2025