Lub granite platform, raws li cov cuab yeej siv rau kev ntsuas thiab kev ua tiav, nws qhov kev saib xyuas raug ncaj qha cuam tshuam rau kev tsim khoom zoo. Cov hauv qab no muab cov phiaj xwm kev saib xyuas uas suav nrog kev tswj hwm ib puag ncig, kev saib xyuas txhua hnub thiab kev ntsuas kev ua haujlwm kom ntseeg tau tias lub platform tswj hwm nanometer-theem raug rau lub sijhawm ntev.
1. Kev Tswj Ib puag ncig: Tsim kom muaj kev tiv thaiv kev ruaj ntseg
Kev tswj kub thiab av noo
Qhov chaw ua haujlwm kub yuav tsum ruaj khov ntawm 20 ± 1 ℃. Txhua 1 ℃ hloov pauv yuav ua rau thermal deformation ntawm granite platform ntawm 0.5-1μm / m. Qhov ntsuas kub tsis tu ncua tuaj yeem ntsia tau rau hauv lub rooj cob qhia kom tiv thaiv cov cua txias qhov hluav taws xob los ntawm tshuab ncaj qha mus rau lub platform.
Cov av noo yuav tsum tau tswj ntawm 40% thiab 60%. Cov av noo ntau dhau tuaj yeem ua rau xeb ntawm cov hlau, thaum cov av qis dhau yuav ua rau muaj hluav taws xob zoo li qub cuam tshuam hauv kev ntsuas.
Kev sib cais ntawm kev vibration
Lub platform yuav tsum tau khaws cia kom deb ntawm qhov chaw vibration xws li tshuab stamping thiab milling tshuab. Nws raug nquahu kom tswj qhov deb ntawm ntau tshaj 3 meters los ntawm cov khoom siv vibration.
Yog tias kev co tsis tuaj yeem zam tau, lub caij nplooj ntoos hlav poob siab absorbers tuaj yeem ntsia tau rau hauv qab ntawm lub platform kom txo tau qhov cuam tshuam ntawm ib puag ncig kev co ntawm lub platform (uas tuaj yeem txo qis kev co sab nraud ntau dua 80%).
2. Kev Saib Xyuas Txhua Hnub: Kev tswj xyuas kom zoo los ntawm kev ntxuav mus rau kev tiv thaiv
Nto huv specification
Kev tshem tawm plua plav: So saum npoo nrog deerskin los yog ib daim ntaub tsis muaj lint nyob rau tib qho kev taw qhia txhua hnub kom tsis txhob muaj plua plav (≥5μm) los ntawm khawb lub platform. Cov stains tawv tawv tuaj yeem maj mam so nrog cov dej tsis huv ethanol (purity ≥99.7%). Cov kuab tshuaj muaj zog xws li acetone yuav tsum tsis txhob siv.
Degreasing: Yog hais tias nws los rau hauv kev sib cuag nrog cov roj stains, so nws nrog ib tug diluted nruab nrab nqus tsev vacuum, ces yaug nrog deionized dej thiab cua qhuav kom tsis txhob muaj cov ntxhia roj los ntawm kev nkag mus rau lub me me pores ntawm lub platform.
Load thiab kev sib tsoo tiv thaiv
Lub peev xwm thauj khoom ntawm lub platform yuav tsum tau tswj tsis pub dhau 70% ntawm qhov ntsuas load (piv txwv li, rau lub platform 1000kg, nws raug pom zoo tias cov khoom thauj yuav tsum yog 700kg) kom tsis txhob muaj kev puas tsuaj tas mus li los ntawm lub zos overload.
Nws yog nruj me ntsis txwv tsis pub ntaus workpieces ntawm lub platform. Thaum tuav cov cuab yeej, hnav cov hnab looj tes mos los tiv thaiv cov khoom ntse los ntawm khawb ntawm qhov chaw (s khawb nrog qhov tob tshaj 20μm yuav cuam tshuam rau kev ntsuas ntawm txoj kev pom lub teeb).
3. Professional Calibration: Lub hauv paus ntawm kev tshawb fawb tswj kom raug
Calibration cycle setting
Kev siv cov xwm txheej: Calibrate ib zaug txhua lub hlis twg thiab siv lub laser interferometer los xyuas qhov flatness (nrog qhov tseeb ntawm ± 0.5μm / m).
Kev siv ntau zaus lossis ib puag ncig hnyav: Kev ntsuas txhua hli, nrog rau kev tsom mus rau kev saib xyuas qhov kub thiab txias (xws li ntug ntawm lub platform ze ntawm qhov chaw sov).
Tom qab calibration processing
Yog tias pom qhov sib txawv ntawm qhov sib txawv (xws li> ± 1μm / m), nws yuav tsum tau ua hauv av thiab kho los ntawm tus kws tshaj lij uas siv W1.5 micro-powder. Kev sib tsoo tus kheej nrog cov ntawv xuab zeb yog nruj me ntsis txwv.
Tom qab calibration, cov ntaub ntawv yuav tsum tau muab sau tseg thiab archived, thiab ib tug platform qhov tseeb attenuation nkhaus yuav tsum tau tsim los twv seb yuav tsum tau tu ua ntej.
4. Kev khaws cia thiab kev thauj mus los: Tsis txhob zais qhov tseeb poob
Cov ntsiab lus tseem ceeb rau kev khaws cia ntev
Thaum khaws cia, nws yuav tsum tau npog nrog cov ntaub ntawv noo noo thiab plua plav pov thawj. Hauv qab yuav tsum tau txais kev txhawb nqa los ntawm peb lub ntsiab lus (lub ntsiab lus txhawb nqa yog nyob ntawm 2/9 ntawm lub platform ntev) txhawm rau tiv thaiv kev khoov deformation los ntawm lub ntiajteb txawj nqus (1-meter platform yuav sag los ntawm 0.3μm vim kev txhawb nqa ib leeg mus ntev).
Txav mus rau txoj hauj lwm ntawm lub platform txhawb cov ntsiab lus tsis tu ncua (ib hlis) kom tsis txhob muaj kev kub ntxhov hauv zos mus ntev.
Kev tiv thaiv kev thauj mus los
Kev thauj mus los luv luv: qhwv nrog kev poob siab-absorbing ua npuas ncauj, txhim kho nyob rau hauv ib tug nruj thav duab, thiab ua kom lub acceleration nyob rau hauv 2g.
Kev thauj mus los ntev: Nws yuav tsum muaj lub tshuab nqus tsev thiab ntim nrog cov nitrogen qhuav. Tom qab tuaj txog, nws yuav tsum tau tso tseg kom sawv ntsug li 24 teev kom txog thaum qhov ntsuas kub nce mus txog qhov sib npaug ua ntej unpacking los tiv thaiv cov dej condensation los ntawm kev cuam tshuam qhov raug.
5. Kev Txiav Txim Siab: Cov txheej txheem los txheeb xyuas cov teeb meem thaum ntxov
Kev tshuaj xyuas qhov pom: Tsis tu ncua saib saum npoo nrog lub iav 40x magnifying. Yog tias pom qhov khawb tsis tu ncua lossis qhov txo qis hauv gloss, nws yuav qhia tau tias qhov poob qis hauv qhov tseeb.
Suab nrhiav kom tau: Coj mus rhaub lub platform maj mam. Yog tias lub suab nrov nrov (feem ntau nws yuav tsum yog lub suab meej), tej zaum yuav muaj micro-cracks sab hauv. Tsis txhob siv tam sim ntawd txhawm rau kuaj pom.
Los ntawm qhov kev saib xyuas no, ZHHIMG® granite platform tuaj yeem tswj tau qhov tiaj tus ntawm ± 1μm / m rau 10 xyoo, uas yog ntau tshaj peb zaug ntev dua li lub neej ntawm cov platforms uas tsis raug tswj xyuas kom zoo. Kev xyaum tau ua pov thawj tias tom qab qee lub koom haum semiconductor tau txais qhov kev daws teeb meem no, qhov zaus ntawm lub platform calibration raug txo los ntawm 50%, thiab tus nqi tu txhua xyoo tau txais kev cawmdim ntau dua 150,000 yuan.
Post lub sij hawm: Jun-18-2025